专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]外接式精抛液交叉回收装置-CN202310053865.3在审
  • 张睿;夏威;张宏杰;叶成玉;孙晨光;郝小辉;叶星;杨晶莹;王彦君;郭红慧 - 中环领先半导体材料有限公司
  • 2023-02-03 - 2023-06-23 - B24B57/02
  • 本发明公开了外接式精抛液交叉回收装置,包括底板,所述底板的顶部横向等距排布设置有框架,所述框架的内侧设置有抛光液桶,所述底板顶部一侧的抛光液桶内部设置有冷却管路,所述抛光液桶的顶部设置有输送壳,所述输送壳的内侧设置有输液泵,所述输液泵的一端通过管道与抛光液桶连接,所述输液泵一侧的管道上设置有液位传感器,所述框架的顶部设置有pvc盒,所述pvc盒的内部设置有过滤器,且过滤器的一侧表面设置有透明门。该外接式精抛液交叉回收装置,通过安装一套精抛液回收装置,在保证回收液水液配比不受影响的同时,确保产品不出现划伤,颗粒增多等异常,有效的降低了回收液中的杂质对产品造成的异常影响,提高了硅片生产加工的质量。
  • 外接式精抛液交叉回收装置

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