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[发明专利]一种衬底的加工工艺-CN202310314570.7在审
发明人：周志豪;李贤途;曾柏翔;王海呈;刘增伟 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底的加工工艺，通过两次上蜡确保衬底与载盘贴合的第一表面整面涂覆有蜡，衬底的侧边缘处具有一由蜡形成的斜坡，在后续的抛光工艺中，衬底侧边缘处的蜡对衬底第一表面的蜡形成保护作用，使衬底第一表面上的蜡在抛光过程中不会因表面摩擦产生的热而融化，确保衬底在抛光过程中第一表面上始终附着有蜡以使衬底抛光后的平坦度较佳，从而提高衬底的使用率和良率。
一种衬底加工工艺

[发明专利]上研磨盘、上研磨盘组件以及研磨装置-CN202211679002.9在审
发明人：李志宇;周志豪;廖志翔;李贤途;王海呈 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本申请涉及蓝宝石衬底加工技术领域，特别涉及上研磨盘、上研磨盘组件以及研磨装置，该上研磨盘包括上研磨盘体以及第一环向围挡组件；上研磨盘体设置有第一盘内连接部和第一环形盘部，第一环形盘部围绕第一盘内连接部的外周设置并邻接第一盘内连接部；第一环向围挡组件与第一环形盘部围合成第一环形积液槽，第一环形积液槽沿第一环形盘部的环向设置且位于第一环形盘部的上侧；其中，第一环形盘部设置有与第一环形积液槽连通的N组向下注液孔，每组向下注液孔具有绕第一环形盘部的环向分布的多个向下注液孔；其中，N大于或等于1。本申请能够提高晶片研磨后的平整度及一致性。
研磨组件以及装置

[发明专利]一种金刚石线开刃方法-CN202211348791.8在审
发明人：周志豪;李贤途;李志宇;黄建烽;王海呈 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B24C1/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种金刚石线开刃方法。本发明通过喷砂去除金刚石线表面的金属层，使金刚石微粉均匀的裸露在外，开刃率高，在金刚石线使用初期也能达到较好的切割效果，能大幅减小切割后的衬底的翘曲程度，有利于衬底后续的加工流程，提高衬底的质量，另外，喷砂所使用的的砂粒可以回收利用，节省物料，降低加工成本。
一种金刚石线开刃方法

[发明专利]一种蓝宝石衬底的加工方法-CN202211328688.7在审
发明人：周志豪;李贤途;王海呈;李志宇 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种蓝宝石衬底的加工方法，区别于传统切割、双面研磨及单面抛光等方式，本发明为线切后先进行退火，去除蓝宝石衬底的切割应力并降低翘曲度，之后一面使用喷砂制作粗糙度，粗糙表面利于后续的表面涂蜡，于另外一面贴蜡并进行铜抛与抛光。此加工方法可大幅减小衬底所移除的厚度，减少成本，提升加工效率。
一种蓝宝石衬底加工方法

[发明专利]可降低形变应力的衬底加工方法及衬底-CN202210977056.7在审
发明人：李志宇;周志豪;王云云;黄建烽;李贤途 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种可降低形变应力的衬底加工方法及衬底，包括：将晶棒切割为晶片，并对晶片进行研磨，以改善晶片的平整度；利用开槽部件在晶片的第一表面上开设多个与第一方向平行的第一沟槽，第一方向与晶片的平边方向平行，多个第一沟槽在晶片的第一径向方向上间隔设置，且多个第一沟槽沿第一径向方向布满晶片的第一表面；利用开槽部件在晶片的第一表面上开设多个与第一沟槽垂直的第二沟槽，多个第二沟槽在晶片的第二径向方向上间隔设置，且多个第二沟槽沿第二径向方向布满晶片的第一表面；对开设有第一沟槽和第二沟槽的晶片进行高温退火；利用抛光设备对开设有第一沟槽和第二沟槽的晶片的第二表面进行抛光。该方法减小了晶片的翘曲和变形程度。
降低形变应力衬底加工方法

[实用新型]蓝宝石衬底-CN202221637277.1有效
发明人：周志豪;李贤途;黄建烽;郭慧慧 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蓝宝石衬底，所述蓝宝石衬底上具有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部为设置在所述蓝宝石衬底外边沿第一位置处的第一定位平边或定位缺口，过所述第一定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第一直线与过所述第二定位部的中心和所述蓝宝石衬底的中心的第二直线之间具有夹角，且所述夹角大于0度。该蓝宝石衬底提高了定位的精确度。
蓝宝石衬底

[发明专利]一种LED蓝宝石衬底的自动装片装置-CN202010352309.2有效
发明人：周志豪;李贤途;钟后芳 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种LED蓝宝石衬底的自动装片装置，包括晶舟盒、卡槽盖板，卡槽盖板设有落料槽，卡槽盖板设有装载盒，装载盒上设有内缩小勾，内缩小勾的头部均外露出装载盒的右侧板，内缩小勾上设有推动条，装载盒底部设有落料口，装载盒设有支撑板，支撑板连接有转动轴，转动轴设有行走齿轮、从动齿轮，支撑板右侧连接有横向转轴，横向转轴设有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮啮合连接，横向转轴设有手摇柄，横向转轴一端设有连杆二，连杆二连接有连杆一，连杆一的另一端与连接杆连接，卡槽盖板设有卡槽。采用上述技术方案后，本发明提供的自动装片装置，可自动将晶片放入至对应的晶舟盒的落料槽内，提高工作效率，节省了人工成本和时间成本。
一种 led 蓝宝石衬底自动装置

[实用新型]一种晶圆切割工作台-CN202122143659.0有效
发明人：莫康;周志豪;王海呈;李贤途;刘亚彬;李志宇 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆切割工作台，所述工作台包括固定工作台和第一活动工作台；其中，所述固定工作台的底部中间部位设有T型槽，所述第一活动工作台呈“工”字型结构，其包括与所述T型槽结构互补的T型连接部和位于所述T型连接部下方的底板，所述底板用于连接晶棒；所述第一活动工作台可一段或更多段并列地安装在所述固定工作台的T型槽中。该晶圆切割工作台通过将传统工作台分割两个部分，其上部为固定工作台，下部为活动工作台，该晶圆切割工作台可解决现有工作台的荷重问题，仅需拆卸活动工作台即可实现晶棒的装载和卸载。
一种切割工作台

[实用新型]一种用于双抛机台上的简易式浆料过滤装置-CN202020677271.1有效
发明人： 李贤途;周志豪;王海呈;李志宇;包满平 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B01D29/11 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于双抛机台上的简易式浆料过滤装置，其结构包括外杯体、设于外杯体内的内胆，外杯体的外侧面上设有溢流口，溢流口处连接有溢流管，外杯体的底部设有浆料出料口，外杯体设有固定板，固定板设在外杯体的顶部，固定板设有浆料入料口，内胆的顶部向外折弯90度形成卡边，内胆通过卡边挂设在外杯体上，内胆开设有若干过滤孔。采用上述技术方案后，本实用新型提供的浆料过滤装置，可以有效针对磨抛机台来料浆料进行有效过滤，防止因来料浆料有脏污、大颗粒等异物造成作业过程中出现爆盘、破裂片不良损失；生产过程中方便更换，可直接取出内部的内胆进行简易清洗，继续作业，大大提高作业效率，减少生产异常发生。
一种用于机台简易浆料过滤装置

[实用新型]一种线切割装置-CN201921710118.8有效
发明人：周志豪;李贤途;王海呈;梁彬彬;施明向 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：一种线切割装置，其包括：固定部件和切割部，所述的固定部件包括支架，支架的一侧固定有旋转组件、同步旋转组件、两个真空锁紧组件，旋转组件由电力带动旋转、同步旋转部件在旋转组件的带动下同步旋转，同步旋转组件和旋转组件分别连接有一真空锁紧组件，两个真空锁紧组件用于对晶棒的两端面真空夹持，所述的切割部包括切割线以及至少两个线辊通过旋转组件带动固定晶棒进行旋转切割，可以减切割时少晶棒与切割线之间的面积，提升切割速率。
一种切割装置

[发明专利]一种研磨废浆料中的碳化硼回收利用的方法及其应用方法-CN201910827417.8在审
发明人：周志豪;王海呈;李贤途;李志宇;梁彬彬 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： C01B32/991 文献下载
摘要：本发明公开了一种研磨废浆料中的碳化硼回收利用的方法，包括以下步骤：步骤1,研磨废浆料的收集：将蓝宝石研磨制程作业后的废浆料通过桶装的方式对其进行收集；步骤2,固液分离：将步骤1收集到的研磨废浆料，进行固液分离，沉淀后，提取底部的下层粉料备用；其中，固液分离采用的方式为重力沉淀法，沉淀时间为30～60min；步骤3，脱水烘干：提取步骤2的下层粉料至脱水机中进行脱水、烘干，获得含水率在5～10％的废弃旧干粉；其中脱水机的转速为600～2000rpm，脱水时间为10～20min，烘烤温度为80～120℃；步骤4，粒径筛分：将步骤3获得的废弃旧干粉放置到粒径分选机上进行分选，获得筛分后的碳化硼回收粉料。
研磨废浆固液分离碳化硼脱水机干粉粉料下层脱水沉淀废弃蓝宝石回收利用粒径分选脱水烘干重力沉淀含水率回收粉烘烤烘干分选粒径桶装制程备用

[实用新型]一种智能蓝宝石衬底LED-CN201620981892.2有效
发明人：林武庆;赖柏帆;王海呈;李贤途 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种智能蓝宝石衬底LED，包括晶片固定器、环氧树脂外壳和微型散热器，所述环氧树脂外壳下方安装有终端引脚，所述终端引脚上端安装有小型阳极杆，所述终端引脚通过小型阳极杆与微型散热器相连接，所述微型散热器一侧安装有晶片固定器，所述晶片固定器上端安装有连接导线，所述晶片固定器通过连接导线与可导电导线固定器相连接，所述可导电导线固定器下端安装有电流传输器，所述晶片固定器内部安装有小型LED晶片，所述小型LED晶片左右两端安装有可导电晶片固定架，所述可导电晶片固定架下端安装有智能控制器。本实用新型智能蓝宝石衬底LED，采用一体化智能蓝宝石衬底LED技术，达到智能蓝宝石衬底LED的效果。
一种智能蓝宝石衬底 led

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