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- [发明专利]炉顶盘升降旋转机构-CN202210059225.9有效
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黎志欣;廖亚;张瑶勇;李佳明;李占贤
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连城凯克斯科技有限公司
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2022-01-19
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2023-01-17
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C30B29/36
- 本发明属于半导体生产技术领域,具体的说是炉顶盘升降旋转机构,包括调整平台和旋转固定架;所述调整平台上固接有导向筒;所述导向筒中活动连接有炉盖提升轴;所述炉盖提升轴下端通过关节轴承连接有电缸;所述炉盖提升轴上端固接有炉盖连接架;所述炉盖连接架远离炉盖提升轴的一端安装有炉盖;所述旋转固定架上安装有旋转单元;通过电缸推动炉盖提升轴上移,带动炉盖上升,使得炉盖与碳化硅单晶生长炉脱离,之后通过旋转单元带动炉盖提升轴转动,将炉盖旋转移开,便于后续对炉体内部情况进行检测,以及对炉体内部进行清扫,该操作解决了碳化硅单晶生长炉的炉盖自动提升和自动旋转这两个技术难题,保证了碳化硅单晶生长炉功能的完整性。
- 炉顶升降旋转机构
- [发明专利]长晶炉-CN202110524237.X有效
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黎志欣;逯占文;胡动力;李占贤
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连城凯克斯科技有限公司
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2021-05-13
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2022-08-09
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C30B15/20
- 本发明的目的在于提出一种长晶炉,长晶炉包括坩埚,坩埚用于承载硅液,漏硅检测装置,漏硅检测装置设置在坩埚下方,漏硅检测装置包括:检测线,检测线为导电金属丝,检测线设置在坩埚正下方投影区域,并在坩埚的投影区域进行排布;检测单元,检测单元与检测线的入线端和出线端相连接,用于检测检测线的电性能参数值。通过在坩埚正下方投影区域设置漏硅检测装置,当硅液从坩埚中漏出,会直接滴落在检测线上,检测单元感知到检测线的电性能参数的变化,及时反馈给长晶炉,从而使得漏硅被实时监控,进而避免危险的发生。
- 长晶炉
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