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[发明专利]一种太阳能电池片刻蚀设备及生产线-CN202310947412.5在审
发明人：樊选胜;宛正 -专利权人：安徽美达伦光伏科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片刻蚀设备及生产线，涉及电池片刻蚀技术领域，包括送料机构，送料机构包括：机架；料架，料架内由上而下地叠放有多个电池片；两下料板，两下料板分别呈对称地转动连接在料架的两侧，每一下料板均具有上抵板和下抵板；驱动机构，其设置在料架上，用于驱动两下料板同步且相向转动；推片机构，其设置在机架上，用于将料架上最下方的电池片推离料架；联动机构，其设置在机架上，用于将驱动机构的动力传输给推片机构。通过在料架上转动连接有下料板，能够将料架最下方的电池片取下，同时对料架内余下的各电池片进行支撑，使待取出的电池片与料架内余下的电池片之间保持一定间距，避免电池片在取出过程中划伤。
一种太阳能电池刻蚀设备生产线

[实用新型]一种新型管式PECVD设备-CN202121793419.9有效
发明人：赵洪俊;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型为太阳能光伏电池制造技术领域，具体涉及一种新型管式PECVD设备，包括多个水平放置的石墨舟片，所述石墨舟片上设置有至少两个用于固定硅片的固定部；所述固定部沿石墨舟片的长度方向并排且间隔设置；所述固定部的四周设置有固定组件，所述固定组件上设置有卡点和卡槽，所述卡点在卡槽内部滑动；所述卡点与卡槽之间设置有弹性体；所述固定部的内缘设置有用于固定硅片的固定台，用于将硅片固定于所述固定部内部；相邻的两个石墨舟片通过紧固装置连接。本实用新型所述设备可以根据电池片的尺寸，对影响装载电池片尺寸的石墨舟卡点位置进行可以移动设计，从而能放置不同尺寸的电池片。
一种新型 pecvd 设备

[实用新型]一种平板式PECVD石墨框-CN202120126354.6有效
发明人：赵洪俊;宛正;李影 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平板式PECVD石墨框，包括石墨框本体，在所述石墨框本体的凹槽底部的一侧直角边或平行的一组直角边的位置设置为倾斜面，在所述凹槽的顶部，沿着所述石墨框本体的四周边框还设置了一对直角三棱柱挡板，位于两侧的所述三棱柱挡板的斜面朝向凹槽的内侧设置。本实用新型的PECVD石墨框一方面通过在凹槽的底边的一侧边缘将底部的直角加工为倾斜面，从而将硅片向上抬高，改善边缘色差问题；另一方面通过在凹槽的顶部的边框设置三角形挡板，避免传输过程中的硅片的跳片现象，从而降低了导致发生镀膜不良问题的几率。
一种平板 pecvd 石墨

[发明专利]一种去除硅片油污的方法-CN201910608069.5有效
发明人：樊选胜;宛正;缪云展;曹磊 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种去除硅片油污的方法，首先对硅片进行烘烤处理，能够通过高温烘烤将主要油污炭化，油污的主要成分就是有机物，有机物在高温通氧的情况下会发会发生氧化反应，产生二氧化碳、水。碱性清洗剂溶液能够与残留在硅片表面的金属粉末反应并将其溶解，然后用水清洗太阳能电池硅片，进而能够去除残留在太阳能电池硅片表面的金属粉末。双氧水溶液能够将残留在太阳能电池硅片表面的有机溶剂氧化并将其溶解；然后用水清洗太阳能电池硅片，进而能够去除残留在太阳能电池硅片表面的有机溶剂。然后在用水清洗、烘干得较干净的太阳能电池硅片，硅片油污被有效去除、硅片无需降级处理，有效提高了硅片生产效率。
一种去除硅片油污方法

[实用新型]一种PECVD特气管路-CN201920978763.1有效
发明人：赵洪俊;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型为太阳电池领域，具体涉及一种PECVD特气管路，包括特气管，与其相连通的管道组件，所述特气管上均匀开设气孔；所述气孔面积相同，呈直线排列，其开孔方向面向硅片；所述管道组件包括相连通的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件和三通接头；所述气孔包括气孔本体和气流引导装置，所述气流引导装置位于气孔本体外侧，所述气流引导装置从上到下横截面逐渐缩小，包括第一引导装置和第二引导装置，所述第一引导装置位于第二引导装置下方，所述第二引导装置的高度为第一引导装置的一半。本实用新型所述的PECVD特气管路能够优化气流的均匀性，减少生产过程中的气孔堵塞，降低设备维护成本。
一种 pecvd 管路

[实用新型]一种PERC电池的石墨框-CN201920961116.X有效
发明人：赵洪俊;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型为本实用新型属于太阳电池领域，具体涉及一种PERC电池的石墨框。所述PERC电池的石墨框包括长方形石墨框，所述长方形石墨框中设置有多个用于承载硅片的载片单元，所述载片单元呈行列排布，所述载片单元由位于长方形石墨框四周的边缘边框和位于石墨框中间的中间边框纵横交错构成，所述载片单元四周的边框上均设置有多个下沉槽，所述下沉槽设置为3个，从上到下依次为第一下沉槽、第二下沉槽和第三下沉槽；所述载片单元边缘边框上设有多个长方形的挡板，所述挡板与其对应的载片单元之间形成四周边框，所述四周边框的宽度等于所述中间边框的宽度。本实用新型所述的石墨框能放置不同尺寸的电池片，提高了石墨框的使用范围。
一种 perc 电池石墨

[实用新型]一种硅片烘干装置-CN201920959492.5有效
发明人：陆春阳;樊选胜;宛正;缪云展;曹磊 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： F26B5/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片烘干装置，包括：花篮、连接板和烘干槽，花篮包括前支撑板、后右支撑板和多个固定杆，多个固定杆固定在前支撑板和后支撑板之间，多个固定杆用于固定硅片；连接板的底面上固定有连接支架，花篮连接在连接支架上；烘干槽用于对硅片进行烘干，烘干槽的一侧固定有支撑装置，支撑装置上转动连接有转动杆，转动杆的外周上固定有吸水滚轮，吸水滚轮顶面的高度比花篮中水平高度最低的若干个固定杆高0.1‑2.5mm；吸水滚轮一方面对水平高度最低的两个固定杆进行吸水；另一方面由于两者的接触作用，使水平高度最低的两个固定杆上的水分布均匀，两方面共同作用减少了后续烘干的时间。
一种硅片烘干装置

[实用新型]一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置-CN201920978650.1有效
发明人：江顺钦;顾成阳;刘雷;宛正;缪云展 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置，包括外表面上绕设有电阻加热丝的镀膜石英管，镀膜石英管内设有石墨舟，用于放置待加热硅片；石墨舟底端与镀膜石英管内壁之间还设有加热组件。加热组件包括第二石英管和在第二石英管内的钨丝，钨丝与外连接线一端连接，外连接线与电源和信号源连接。通过在镀膜石英管外绕设电阻加热丝加热、内加装加热组件进行加热，使硅片受热全面。通过外连接线使钨丝加热并发出红外光，实现石墨舟内硅片受红外辐射均匀，在较短时间内达到管内温度均匀、稳定，保证了热量在被加热空间上分布的均匀性和有效性，从而使氮化硅镀膜生长速率均一，减少管式PECVD色差片，实现高效、低成本生产。
一种改善镀膜均匀辅助加热装置

[实用新型]用于改善黑硅制绒气流印的装置-CN201920949966.8有效
发明人：樊选胜;宛正;缪云展;曹磊 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于改善黑硅制绒气流印的装置，储液槽内设有浸泡槽，浸泡槽底部铺设有供液管，供液管的管壁上开设有若干出液孔，浸泡槽内设置两组面对面的支撑柱，支撑柱上设置阻流板，所述阻流板的底面为弧形凸面，阻流板顶面设有置物篮，用于插放待挖孔的硅片。阻流板有效阻挡了槽内气泡和液体流动，使得阻流板以上的硅片在浸泡挖孔时不受影响，有效避免了挖孔不均匀的问题。阻流板的底面为弧形凸面，能够更好的进行导流，出液孔处出来的液体和气泡更好的向阻流板的两边流出。
用于改善黑硅制绒气流装置

[实用新型]一种改善电注入均匀性的吹气板-CN201921349216.3有效
发明人：金国兵;刘雷;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改善电注入均匀性的吹气板，吹气板为中空体，并嵌在电注入腔体侧壁中；吹气板包括面对面设置的出气面和进气面，出气面位于电注入腔体内，进气面位于电注入腔体外；进气面连通进气管，进气管用于向吹气板的中空体内吹入冷气；出气面包括垂直段和倾斜段，垂直段和倾斜段上均开设有若干吹气孔；倾斜段内表面上连接电机，电机输出端连接挡气片，挡气片以电机输出端为中心作圆周运动，挡气片用于遮挡倾斜段上的部分吹气孔。通过倾斜段设计、以及倾斜段内表面上运动的挡气片设计使电注入腔体内的温度均匀，达到了腔体上、中、下层硅片光衰、硅片效率增益稳定性的效果。
一种改善注入均匀吹气

[发明专利]一种硼扩后氧工艺-CN201910738935.2在审
发明人：顾成阳;江顺钦;李影;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-08-12 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种硼扩后氧工艺，包括以下步骤：将硅片至于扩散炉内准备、硼扩散沉积、推进、氧化、降温回压后取出。硼扩散沉积推进后再进行氧化，降低发射区浓度，减小了少数载流子的复合，进而提升开压、短流；通入后氧的过程中具有推结效果，进一步增加PN结结深，增加有效掺杂浓度，提升开压，最终提升电池片转换效率。
硼扩散沉积少数载流子有效掺杂转换效率电池片发射区扩散炉硅片短流回压减小结深推结取出复合

[发明专利]一种改善mark点隐裂的方法-CN201910617679.1在审
发明人：顾成阳;李影;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善mark点隐裂的方法，包括以下步骤：调整激光器参数，激光器的Power Factor 设置为50、PRF 设置为0；将激光器参数由外部控制设置为内部控制，避免了激光器参数与图形内部参数双重叠加，导致激光能量加重，打在硅片上时易造成隐裂。以激光扫描制备四个mark点，mark点由一条横线和两条竖线组成，两条竖线分别位于横线的两侧，竖线垂直于横线且位于横线的中心线上，两条竖线的靠近横线的端点到横线的垂直距离相等且大于零；mark点横向打一次，竖线分成两段与横向不重叠，分别打一次，有效避免了反复打而重叠处出现隐裂的缺陷，降低隐裂比率的同时也不影响印刷抓点。
横线竖线隐裂激光器参数垂直距离激光能量激光扫描内部参数内部控制外部控制不重叠激光器重叠处硅片两段相等制备叠加垂直印刷

[发明专利]一种PERC电池背钝化结构及制备方法-CN201910553483.0在审
发明人：赵洪俊;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明属于太阳电池领域，具体涉及一种PERC电池背钝化结构及制备方法。包括依次层叠的晶硅衬底、氧化铝层和复合氮化硅层；所述晶硅衬底为单晶或多晶硅片，为p型晶体硅片，厚度为180～200μm；所述氧化铝层为PECVD法沉积；所述复合氮化硅层包括第一氮化硅层、第二氮化硅层和第三氮化硅层；所述第一氮化硅层的厚度不大于第二氮化硅层的厚度，所述第二氮化硅层的厚度不大于第三氮化硅层的厚度。本发明提供的PERC电池背钝化结构及制备方法显著提高开路电压和短路电流，极大地提高了电池的转换效率。
氮化硅层背钝化结构氧化铝层电池衬底晶硅制备复合短路电流多晶硅片开路电压依次层叠转换效率沉积单晶硅片

[发明专利]一种使用BCL₃的硼扩工艺-CN201910564921.3在审
发明人：顾成阳;李影;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用BCL₃的硼扩工艺，通源时间短、通入BCL₃的流量小，且每两次通源之间插入一步吹扫步骤。缩短通源时间和降低BCL₃流量可以显著改善PECVD后外观发灰问题，本发明采用少量多次的原则，且在每次通源后加入一步吹扫过程，既解决了PECVD后外观发灰问题，也保证了扩散源量充足。有效避免了因通源时间缩短和BCL₃流量的降低导致扩散源量不足、扩散不充分、造成方阻偏大的缺陷，达到改善外观及提升电池效率的目的。
扩散源吹扫电池效率时间缩短方阻扩散保证

[发明专利]一种快速检测PERC电池背面叠加膜厚度的方法-CN201910553501.5在审
发明人：赵洪俊;宛正 -专利权人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明属于太阳电池领域，具体涉及一种检测PERC电池背面叠加膜厚度的装置，所述装置包括印刷有若干色块的标准比色卡，所述标准比色卡制备步骤如下：(1)采用80nm、90nm、100nm、110nm、120nm、130nm、140nm对应的参数在产线硅片背膜沉积氧化铝的基础上在分别沉积不同的厚度的氮化硅：(2)采用测色仪测定不同厚度氮化硅的PERC电池背面叠加膜的颜色，利用颜色模拟软件对色彩数据进行模拟，制作标准色块，将标准色块按氮化硅厚度依次排列，粘贴，制得标准比色卡。本发明提供了一种快速检测PERC电池背面叠加膜厚度的方法，能够快速检测背膜氮化硅厚度。
电池背面氮化硅叠加膜标准比色卡快速检测标准色块背膜沉积模拟软件色彩数据依次排列测色仪种检测氧化铝硅片产线色块粘贴制备印刷制作

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