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- [发明专利]一种晶舟盒暂存装置及半导体设备-CN202310325613.1有效
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安礼余;肖山竹
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-03-30
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2023-10-27
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H01L21/673
- 本申请提供一种晶舟盒暂存装置及半导体设备，涉及半导体技术领域。一种晶舟盒暂存装置包含盒体，所述承载板固接于所述底盒以及所述上盒，所述压板分别滑动于所述底盒和所述上盒，所述连接杆固接于所述压板，所述连接杆滑动贯穿所述承载板，所述升降板固接于所述连接杆，所述第一弹簧套设于所述连接杆，所述顶板限位滑动于所述承载板，晶圆放置于顶板上，上盒和底盒卡合，压板分别受到承载板的挤压，带动压板上各自对应的升降板发生同步位移，使得晶圆、顶板和升降板之间形成负压，继而完成对每个晶圆的吸附，使晶圆可以稳定的吸附在顶板上，避免了晶圆和顶板之间存在错位以及在转运过程中出现晶圆和顶板之间存在晃动，继而导致晶圆受损的现象。
- 一种晶舟盒暂存装置半导体设备
- [发明专利]旋转结构及半导体轨道-CN202310969943.4在审
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安礼余;王定国
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-08-03
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2023-10-13
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B65G65/40
- 本申请实施例提供一种旋转结构及半导体轨道，涉及半导体加工技术领域。该旋转结构，包括落料斗、支撑架以及限位机构；所述落料斗底部固定有电推杆；所述电推杆的活动端与所述支撑架固定连接，所述支撑架上端转动安装有转盘，所述支撑架固定安装有减速电机，所述减速电机的驱动轴与所述转盘传动连接；所述支撑架底部安装有用于驱动转杆转动的驱动器，所述转杆与所述支撑架转动连接。支撑架底部安装有用于驱动转杆转动的驱动器，便于控制转杆旋转，不仅可以使半导体运送至导轨末端，完成落料作业，较传统方式使用重力原理，提高落料稳定性，避免产生卡料，能够调整半导体的朝向，从而适应半导体不同位置的检测需求。
- 旋转结构半导体轨道
- [实用新型]一种涂胶显影设备的易拆卸电路板-CN202320995519.2有效
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安礼余;肖山竹
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-04-27
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2023-10-13
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H05K3/00
- 本实用新型属于涂胶显影机电路板技术领域，且公开了一种涂胶显影设备的易拆卸电路板，包括安装座；通过启动旋转马达带动螺杆以及多个对称的矩形空板一进行移动，由于每个螺杆是由两段对称的螺纹杆所构成的，所以每个螺杆旋转时会带动对称的矩形空板一进行同步反方向移动，同时会带动每个直齿轮一、直齿轮二、转杆一以及斜齿轮一、斜齿轮二和斜齿轮二底端连接的转杆二进行旋转，由此带动旋转带以及旋转带上的多个吸盘同步旋转，可对由U形板夹持的电路板进行吸附旋转下移，达到安装限位效果，每个矩形空板一的相互反方向移动而带动每个矩形空板二内的弹簧以及U形板同步移动，由此可对电路板进行夹持限位。
- 一种涂胶显影设备拆卸电路板
- [实用新型]一种涂胶显影设备的涂胶速度控制泵-CN202320943294.6有效
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安礼余;肖山竹
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-04-24
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2023-10-13
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B05C11/10
- 本实用新型属于涂胶显影机的涂胶技术领域，且公开了一种涂胶显影设备的涂胶速度控制泵，包括涂胶泵；首先通过拉动转杆二带动T形环杆下移卡接进下方的卡槽中，分开斜齿轮一和斜齿轮二，而后启动电机带动转杆一以及转杆一上的多个刮板进行旋转，可对涂胶泵内壁出胶口筒上方的区域进行持续旋转刮壁，防止涂胶下料时沾附在涂胶泵内壁中，而后可拉动转杆二带动T形环杆上移卡接进上方的卡槽中，转杆二的旋转可带动转杆三以及阀芯球进行旋转，由此来调控阀芯球中下料阀芯的角度，即可改变其涂胶的下流量，避免出料过多或过少，箭头会在带动阀芯球进行旋转时，实时指向出胶口筒外壁上的刻度表，用于提示工作人员阀芯球的旋转角度，精准掌握其旋转角度。
- 一种涂胶显影设备速度控制
- [实用新型]一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构-CN202321242657.X有效
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安礼余;肖山竹
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-05-22
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2023-10-13
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G03F7/16
- 本实用新型公开了一种光刻胶烘烤单元的盖盘机构，包括底座，所述底座的表面固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有第一直齿轮，所述底座的表面固定连接有两个侧板，两个所述侧板相对面的一侧转动连接有转动轴，所述转动轴、的表面固定连接有轴座。本实用新型通过启动伺服电机，第一张紧轮通过皮带带动第二张紧轮和齿轮轴旋转，齿轮轴带动第三直齿轮旋转，第三直齿轮通过齿槽带动滑杆沿着滑轨内壁滑动，滑杆通过连接板带动放置台向外侧进行移动，从而便于将烘干完成的光刻胶快速取出，并且当关闭盖盘时，还能够自动将放置台向内侧移动，便于将新的光刻胶从外侧放入，提高装置的安全性能。
- 一种光刻烘烤单元机构
- [发明专利]一种输送结构及半导体轨道装置-CN202310313800.8有效
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安礼余;王定国
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-03-28
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2023-10-10
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B65G35/00
- 本申请提供一种输送结构及半导体轨道装置，涉及半导体检测装置技术领域。一种输送结构包含承托板，所述承托板上设置有两组滑道，两组所述滑道互相靠近的一侧分别和所述承托板固接，所述滑道上设置有滑槽，所述承托板上滑动插接有载物板，所述载物板的两侧分别对称设置有内定位块和外定位块，所述内定位块和所述外定位块分别和所述滑槽滑动配合，所述载物板上均匀设置有多个置物槽，所述置物槽内置半导体晶圆，将多个半导体晶圆进行事先存放，而后将载有半导体晶圆的载物板通过两组滑道卡接在承托板上，可实现载物板在承托板上的快速安装或者拆卸，在整个半导体检测输送的工作中，可一定程度上减少工装数量，并提升输送效率。
- 一种输送结构半导体轨道装置
- [发明专利]一种半导体轨道及涂胶胶盘-CN202311096895.9在审
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安礼余;王定国
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-08-29
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2023-09-29
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H01L21/67
- 本申请实施例提供一种半导体轨道及涂胶胶盘，涉及半导体传输轨道技术领域。该半导体轨道包括：前段输送部、后段输送部、中段输送部、胶盘承托组件、前端压持组件和后端定位组件。前段输送部和后段输送部结构规格均相同，且前段输送部和后段输送部对称设置，前段输送部包括第一支架和第一带式传输组件，第一带式传输组件安装在第一支架内部；中段输送部位于前段输送部和后段输送部中部。根据本申请当需要拆卸胶盘时，向第一支撑臂方向按压支撑杆，第一压块与胶盘表面脱离，此时可沿着纵向位置推出胶盘，实现胶盘快速拆卸。与传统的螺栓固定拆卸胶盘的方式，此拆装方式更为快捷高效。
- 一种半导体轨道涂胶
- [实用新型]一种涂胶平整的涂胶显影机-CN202320310475.5有效
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安礼余;王定国
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-02-24
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2023-09-26
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G03F7/16
- 本实用新型涉及涂胶显影机技术领域，具体为一种涂胶平整的涂胶显影机，包括涂胶显影机箱体，所述涂胶显影机箱体的内部活动连接有两个旋转吸盘装置，位于所述涂胶显影机箱体内部的中间且位于两个所述旋转吸盘装置的中间设置有双头喷嘴管件，所述涂胶显影机箱体靠近背面的内部活动连接有挡板门；该涂胶平整的涂胶显影机中，通过在外箱壳内设有旋转吸盘装置和双头喷嘴管件的结构，其中喷嘴胶管上设有的注胶口连接液压注胶管，螺纹柱连接的螺纹槽管可调节喷嘴胶管的高度，等于间接调节了喷嘴的喷射直径，在晶圆吸附盘底部设置伺服电机至大齿轮结构，实现了通过调节喷嘴胶管距离晶圆吸附盘的高度来控制喷射直径的大小。
- 一种涂胶平整显影
- [发明专利]一种自动矫正式晶圆料盒上料载具-CN202311083063.3在审
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安礼余;肖山竹
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-08-28
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2023-09-22
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H01L21/68
- 本发明公开了一种自动矫正式晶圆料盒上料载具，属于晶圆上料相关技术领域，包括上料载具本体；所述上料载具本体的后方固定设置有阻料防尘板；还包括：所述上料载具本体的顶面左右两侧均通过轴承转动设置有双向螺纹杆，且左右两侧双向螺纹杆的前后两侧外壁均螺纹连接于纠偏导向板的底端；其中，阻料防尘板内部的推送槽口中部滑动设置有防尘遮蔽板；其中，对称设置的所述纠偏导向板的顶面中部均固定安装有驱动盒体。该自动矫正式晶圆料盒上料载具，上料托举平台与定位横板对晶圆料盒进行定位，由纠偏导向板与纠偏导轮防止晶圆料盒在供料时不会发生偏移，并通过防尘遮蔽板的后移与下降，进而便于晶圆料盒后续针对晶圆体的供料工作。
- 一种自动矫正式晶圆料盒上料载具
- [实用新型]一种涂胶显影机的显影腔体-CN202320273636.8有效
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安礼余;王定国
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-02-21
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2023-09-22
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G03F7/16
- 本实用新型涉及半导体制造的涂胶显影机技术领域，具体为一种涂胶显影机的显影腔体，包括显影外腔体，所述显影外腔体的内部活动套接有显影内腔体，所述显影内腔体靠近上表面的顶端侧面活动连接有涂胶显影吸盘；所述显影内腔体的结构包括有内腔管，所述内腔管靠近下表面的底端侧面固定连接有螺纹环柱；该涂胶显影机的显影腔体中，通过在显影外腔体内设有螺纹槽和在内腔管上设置有螺纹环柱的结构，实现了显影腔体可调控的功能，达到了腔内压强可释放不会损坏腔体的效果，以及通过在内腔管上设置有压力传感器和电动旋转块结构，实现了涂胶腔管对腔内气压进行自动调控的功能，提高了吸附晶圆片的吸附力。
- 一种涂胶显影
- [实用新型]一种可移动的涂胶手臂-CN202321102032.3有效
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安礼余;肖山竹
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-05-09
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2023-09-19
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B05C11/00
- 本实用新型公开了一种可移动的涂胶手臂，涉及涂胶手臂技术领域。该可移动的涂胶手臂，包括安装座、可移动组件和稳定组件，所述安装座的下方设置有连接座，连接座的内侧顶部固定安装有液压缸，所述可移动组件位于安装座的内部，所述稳定组件位于连接座的内部，连接座的内部设置有涂胶装置，液压缸的自由端和涂胶装置固定连接。该可移动的涂胶手臂，通过连接杆；电动推杆和连接块的配合使用，可实现对连接座进行移动，提高了装置使用的灵活性，从而降低了装置使用的局限性，通过连接柱的使用，保障了移动的稳定，且可根据涂胶物件的大小对涂胶物件进行固定，提高了涂胶的稳定性，保障了涂胶的使用效果。
- 一种移动涂胶手臂
- [实用新型]一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽-CN202320221186.8有效
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安礼余;王定国
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-02-15
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2023-09-15
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G03F7/30
- 本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，包括防溅盖板件，所述防溅盖板件的下表面活动连接有涂胶显影液盛装槽体，所述涂胶显影液盛装槽体靠近背面和底部的右侧面活动套接有活塞件，所述防溅盖板件的结构包括有遮挡板，所述遮挡板下表面的四周固定连接有凸卡扣；该可防溅出的涂胶显影液盛装槽中，通过设置有防溅盖板件的结构，在涂胶显影液盛装槽体上表面增加了遮挡板的防溅阻挡板块，并在遮挡板上开设有透气孔，实现涂胶显影液盛装槽在工作过程中，不用敞口操作的同时，也能保证空气的流动性功能，达到了避免工作人员在操作过程中，涂胶显影液因振荡造成的液体飞溅而伤害人员皮肤的效果。
- 一种溅出涂胶显影液盛装
- [实用新型]一种涂胶显影机的加工机台-CN202320509239.6有效
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安礼余;王定国
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宇弘研科技（苏州）有限公司
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2023-03-16
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2023-09-12
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G03F7/16
- 本实用新型涉及制造和处理半导体晶圆的涂胶显影机技术领域，具体为一种涂胶显影机的加工机台，包括工作台，所述工作台下表面的四周均活动连接有轮毂，所述工作台上表面的内部从一端到另一端，依次设置有涂胶组件、显影光刻组件和清洗甩干组件，所述工作台上表面的内部且位于所述涂胶组件、显影光刻组件和清洗甩干组件的对面设置有机械手臂；该涂胶显影机的加工机台中，通过在工作台上设备有机械手臂的结构，以及在机台上设置排水槽和排水口结构，实现了图胶显影机加工流程均使用机械手臂操作完成，以及实现涂胶和清洗液体初步处理的功能，达到了减少人工劳动成本，涂胶显影机的加工机台机械化一体的效果。
- 一种涂胶显影加工机台
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