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- [实用新型]一种真空镀膜机料架-CN202321223705.0有效
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马永超
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2023-05-19
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2023-09-26
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C23C14/50
- 本申请涉及一种真空镀膜机料架,包括罐体和罐门,所述罐体的内部转动连接有转盘,罐体上方设置有电机,所述罐体的顶部轴线位置处固定连接有中间套件,所述转盘的顶部固定连接有永磁转子,且永磁转子轴向限位转动连接于中间套件内侧,所述中间套件外侧轴线限位转动连接有导磁转子,且导磁转子和电机输出轴套设固定,所述导磁转子和永磁转子之间组合成耦合器结构。本方案,通过在罐体顶部设置一体成型的中间套件,中间套件内外均分别转动连接永磁转子和导磁转子,相互之间形成磁力耦合结构,以此实现电机对转盘传动的同时,不会对罐体造成影响,相较于现有技术中采用密封结构,提升了装置的耐久度。
- 一种真空镀膜机料架
- [实用新型]一种真空镀膜机腔体冷却装置-CN202222723057.7有效
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张硕堂
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2022-10-17
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2023-06-02
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C23C14/50
- 本申请涉及真空镀膜机技术领域,且公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括腔体,腔体正面侧开设有开口,腔体正面侧开口处铰接有封闭门,腔体内底壁中部固定连接有工件盘,腔体顶部的一端焊接有固定架,固定架顶端粘接有空调,腔体顶端中部固定贯穿有自带手动阀门的导管,空调出风口处粘接有连接罩,导管的一端固定套设有喇叭罩,喇叭罩的内部设置有风扇。本方案通过启动空调,并打开导管的阀门,使得连接罩和喇叭罩处于连通状态,空调会将冷气从出风口排到连接罩中,并经连接罩传输给导管,而后风扇将导管中的冷气抽出并排到工件盘上,实现对工件盘上的基片进行冷却。
- 一种真空镀膜机腔体冷却装置
- [实用新型]一种真空电子束蒸发镀膜机-CN202222722912.2有效
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吴平
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2022-10-17
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2023-02-03
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C23C14/30
- 本申请涉及一种真空电子束蒸发镀膜机,其包括机箱,所述机箱内设置有真空腔与设备腔,所述真空腔内设置有装载机构,装载机构包括工件盘,所述工件盘内设置有基材板,且真空腔的一侧内壁上铰接安装有电子枪,所述真空腔的底部内壁上固定连接有伸缩架,所述伸缩架上设置有坩埚,且伸缩架上设置有调节机构,调节机构包括调节螺纹筒,所述调节螺纹筒固定连接在伸缩架的底部,调节机构还包括调节螺杆,所述调节螺杆转动设置在真空腔内,且调节螺纹筒螺纹连接套设在调节螺杆上,本申请中,通过设置工件盘,可以方便装载基材板,同时通过调节螺纹筒可以推动伸缩架上下滑动便于调节坩埚的位置,方便与电子枪配合,热熔蒸发镀膜药材。
- 一种真空电子束蒸发镀膜
- [实用新型]一种真空镀膜机的腔体结构-CN202221077272.8有效
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马永超
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2022-05-07
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2022-08-23
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C23C14/22
- 本申请涉及一种真空镀膜机的腔体结构,其包括真空腔体,所述真空腔体的外壁开设有开口,所述开口处铰接有密封门,所述真空腔体内设置有固定组件,所述固定组件的底端设置有调节组件;本方案中的安装板、支杆和主杆可组成用以固定基片的非一体焊接成型的转笼,从而有利于实现调节功能,通过设置调节组件可实现对支杆与主杆之间的间距进行调节,从而使得固定组件的尺寸能够多样化,适用于不同规格的基片,通过设置挂具可达到固定组件的多功能化效果,使得固定组件不仅能够对较大面积的基片进行固定还能够对较小尺寸的基片进行固定。
- 一种真空镀膜结构
- [实用新型]一种真空腔室电极引出装置-CN202220852887.7有效
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张硕堂;吴平
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2022-04-13
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2022-08-23
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H01R13/639
- 本申请涉及一种真空腔室电极引出装置,包括密封固定块,所述密封固定块的一侧设置有底座,且底座的内侧嵌设有电极,所述密封固定块上环形阵列有若干个螺栓孔,且各螺栓孔的中段位置均嵌设有径向限位的螺母套,所述底座靠近密封固定块的一侧内部滑嵌有螺栓,且螺栓的外侧套设有挤压弹簧,并且挤压弹簧的两端分别和螺栓、底座之间转动连接,本方案,通过在密封固定块的内侧嵌设径向限位的螺母套,使其和螺栓对接,完成对底座位置的固定,螺栓孔不贯穿密封固定块设置,提升密封固定块内侧的密封效果,螺栓在挤压弹簧的作用下,提升对底座位置抵触的稳定性。
- 一种空腔电极引出装置
- [实用新型]一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜机-CN202122536501.X有效
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吴平
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2021-10-21
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2022-05-13
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C23C14/35
- 本申请涉及镀膜机技术领域,公开了一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜机,包括卷绕镀膜机本体,所述卷绕镀膜机本体作业端的一边处设置有用于膜卷上料的上料辊,且卷绕镀膜机本体靠近上料辊的一边处设置有用于加工完成后的膜卷下料的下料辊,所述卷绕镀膜机本体靠近上料辊的一边处设置有用于对基膜进行磁控溅射镀膜加工的加工腔室,所述加工腔室内设置有多个镀膜靶材,所述卷绕镀膜机本体靠近加工腔室的一边处设置有用于驱动基膜配合加工腔室作业的驱动辊,本申请便于避免前处理离子源对基膜表面进行清洁作业,而产生的含尘空气逸散在作业环境中对基膜造成二次污染,有利于提高基膜的镀膜加工质量。
- 一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜
- [实用新型]膜厚仪快速自适应加载力测试装置-CN202122813802.2有效
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张硕堂;吴平
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2021-11-17
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2022-04-08
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G01B7/06
- 本申请涉及膜厚仪快速自适应加载力测试装置,包括测试仪本体和探测头,所述测试仪本体的一端固定安装有探测头,所述测试仪本体的外侧安装有防护壳,所述防护壳的内腔一端通过转轴安装有凸轮,且凸轮位于测试仪本体的端部,所述凸轮的一端安装有电机,且电机固定于防护壳内腔一侧;在测试仪本体的外侧安装有防护壳,防护壳对测试仪本体具有保护作用,通过设置凸轮和电机,所以电机带动凸轮旋转,使其凸轮的突出部位挤压测试仪本体下降,从而自动施压使其探测头施压检测,这样自动施压检测解决传统人工挤压测试仪本体下降施压容易因为施压不均匀导致检测精准度偏差的问题,而且手握柄方便提拿测试装置,配合防护壳便于携带测试仪。
- 膜厚仪快速自适应加载测试装置
- [实用新型]一种有机蒸发镀膜机用冷却装置-CN201921078684.1有效
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张硕堂
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2019-07-11
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2020-04-14
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C23C14/12
- 本实用新型公开了一种有机蒸发镀膜机用冷却装置,包括镀膜机本体和水箱,镀膜机本体的外壁与内壁之间形成冷却腔,冷却腔的一侧底部固定设有进水口,冷却腔的一侧顶部固定设有出水口,镀膜机本体的背面固定设有散热机构,水箱的顶端固定安装有水泵,水箱的内部通过隔板分隔成冷却液回收腔和冷却液放置腔,本实用新型一种有机蒸发镀膜机用冷却装置,流进冷却腔的冷却液能够第一时间与镀膜机进行接触且沿着镀膜机的外壁进行流淌,从而达到快速为镀膜机进行降温,解决了传统镀膜机散热装置散热效率相对较低的问题;通过设置的冷却液回收腔能够回收冷却腔中的冷却液,通过设置的温控仪便于检测冷却液回收腔中冷却液的温度。
- 一种有机蒸发镀膜冷却装置
- [实用新型]一种机械真空泵喷油量定量自动检测系统-CN201020620914.5无效
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汪洪波;杨林生
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2010-11-23
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2011-12-14
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F04B51/00
- 本实用新型为一种机械真空泵喷油量定量检测自动系统,通过真空阀门连接于密封真空室的机械真空泵,石英晶振探头安装在机械泵的排气口,石英晶振探头输出端接控制器,控制器一个输出端接显示仪,另一个输出端接功率放大装置,功率放大装置输出端接机械真空泵,电源给石英晶振探头、控制器、显示仪、功率放大过载保护装置供电。石英晶振探头的石英高频振荡频率随着机械真空泵排气口喷油量的增加而减小,与喷油量成函数关系变化的石英晶体振荡的频率信号为石英晶振探头的输出信号;控制器对石英晶振探头输出的频率信号进行分析、处理,将喷油量信传给显示仪显示,控制器输出控制信号经功率放大过载保护装置控制机械真空泵启停。本系统喷油量定量检测精度高、自动化程度高,适用于单台和多台机械真空泵喷油量同时定量自动检测。
- 一种机械真空泵喷油量定量自动检测系统
- [实用新型]一种机械真空泵节能控制系统-CN201020620894.1无效
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汪洪波;杨林生
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安徽嘉硕真空科技有限公司
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2010-11-23
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2011-08-17
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F04B49/06
- 一种机械真空泵节能控制系统,本实用新型为一种机械真空泵节能控制系统,其真空计所接的真空度测量规管连接于真空室壁,真空计的真空度电信号输出端与控制器相连接,控制器接与电网连接的交流变频调速器,交流变频调速器的输出端接异步电动机。真空计将真空室的真空度信号送入控制器,控制器将接收的真空度信号实测值与设定值相比较,当真空度与设定值之间存在偏差大于一定范围时,控制器输出控制信号启动变频器,变频器通过交-交变频方式输出频率信号改变异步电动机的转速,以使机械真空泵按照负载载荷变化而调节抽速。本系统节能控制效果明显:适用于单台和多台的机械真空泵同时控制;而且当真空度高于设定值时,通过变频器使异步电动机低速运行,从而降低能耗。
- 一种机械真空泵节能控制系统
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