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[发明专利]静电喷雾产生装置和带电水粒子喷洒装置-CN201780044316.2有效
发明人：辻利秀;吉田哲雄 -专利权人：报知机股份有限公司
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： B05B5/025 文献下载
摘要：提供静电喷雾产生装置和带电水粒子喷洒装置，能够使平均粒径为几μm以下的微粒带电并释放。静电喷雾产生装置(10)具有：液体喷嘴部(20)，其向开放空间释放液体柱(38)；液体导管部(18)，其将被加压的液体引导至液体喷嘴部；液体侧电极(16)，其配置于液体导管部的内部，并与液体接触；以及气体导管部(36)，其具有配置在液体喷嘴部的周围的气体喷嘴部(24)，该气体导管部(36)通过使来自气体喷嘴部的气流作用于液体柱的雾化点(P)处，使液体柱微粒化而生成喷雾流(40)，该气体导管部(36)用绝缘体材质制成；以及感应电极(26)，其配置成包围位于开放空间的雾化点，该感应电极是利用绝缘体材质包覆由导体材质制成的电极导体(28)而形成的，并呈环形，该静电喷雾产生装置(10)通过从电源部(54)对液体侧电极与感应电极之间施加规定电压而释放带电的微粒的喷雾流。
静电喷雾产生装置带电粒子喷洒

[发明专利]带电喷洒喷头-CN201310394867.5有效
发明人：辻利秀;林龙也;吉田哲雄 -专利权人：报知机股份有限公司
申请日： 2009-04-27 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： A62C31/07 文献下载
摘要：一种带电喷洒喷头，延长从喷头带电喷洒的灭火剂粒子的飞行距离从而能够确保广阔的防护范围。经由配管加压供给水系灭火剂的灭火剂供给设备和通过配管向设置在防护区域A的带电喷洒喷头（10）加压供给水系灭火剂，由带电喷洒喷头（10）使灭火剂的喷射粒子带电地进行喷洒。带电喷洒喷头（10），将来自小粒子喷射喷嘴（38a）的包含在30μm～200μm的范围的较小粒径和来自小粒子喷射喷嘴（38b）的包含在200μm～2000μm的范围的较大粒径混合地进行喷洒，通过大粒径的灭火剂粒子群的喷洒所产生的气流搬运粒径小的灭火剂粒子群。
带电喷洒喷头

[发明专利]防火设备-CN200980158983.9有效
发明人：辻利秀;林龙也;吉田哲雄 -专利权人：报知机股份有限公司
申请日： 2009-04-27 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： A62C31/05 文献下载
摘要：一种防火设备，延长从喷头带电喷洒的灭火剂粒子的飞行距离从而能够确保广阔的防护范围。经由配管加压供给水系灭火剂的灭火剂供给设备和通过配管向设置在防护区域A的带电喷洒喷头(10)加压供给水系灭火剂，由带电喷洒喷头(10)使灭火剂的喷射粒子带电地进行喷洒。带电喷洒喷头(10)，将来自小粒子喷射喷嘴(38a)的包含在30μm～200μm的范围的较小粒径和来自小粒子喷射喷嘴(38b)的包含在200μm～2000μm的范围的较大粒径混合地进行喷洒，通过大粒径的灭火剂粒子群的喷洒所产生的气流搬运粒径小的灭火剂粒子群。
防火设备

[发明专利]等离子体处理装置-CN200810005545.6有效
发明人：兴石公;广濑润;小笠原正宏;平野太一;佐佐木宽充;吉田哲雄;斋藤道茂;石原博之;大薮淳;沼田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-11-25 - 公布日： 2008-07-30 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，其具有：可以设置成有真空气氛的处理容器；与在所述处理容器内配置在规定位置的被处理基板相对向而环状地配置的第一上部电极；在所述第一上部电极的半径方向内侧以与其电绝缘状态配置的第二上部电极；向所述处理容器内提供处理气体的处理气体供给部；输出第一高频的第一高频电源；把来自所述第一高频电源的所述第一高频以第一功率值提供给所述第一上部电极的第一供电部；把来自所述第一高频电源的所述第一高频，从所述第一供电部分出，以比所述第一功率值小的第二功率值提供给所述第二上部电极的第二供电部，所述第一上部电极具有与所述第二上部电极的下面相比还向下方突出的突出部分。
等离子体处理装置

[发明专利]等离子体处理装置和方法-CN200380104292.3有效
发明人：兴石公;广瀬润;小笠原正宏;平野太一;佐佐木宽充;吉田哲雄;斋藤道茂;石原博之;大薮淳;沼田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-11-25 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置，包含可设定成具有真空气氛的处理容器(10)。与在处理容器(10)内配置的被处理基板(W)相对面地配置上部电极(36、38)。具有与上部电极(36)在周围方向上实质上连续连接的第一筒形导电部件(50)的供电部，将来自第一高频电源(52)的第一高频供给上部电极(36)。
等离子体处理装置方法

[发明专利]等离子体处理方法和装置-CN200380104294.2有效
发明人：兴石公;广瀬润;小笠原正宏;平野太一;佐佐木宽充;吉田哲雄;斋藤道茂;石原博之;大薮淳;沼田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-11-25 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种等离子体处理方法，向配置有被处理基板(W)的等离子体生成空间(10)内供给规定的处理气体、使所述处理气体等离子体化。而且，由等离子体对基板(W)实施规定的等离子体处理。这里，由与基板(W)相对向的对向部(34)，对基板(W)分别独立地控制等离子体的密度空间分布与等离子体中的自由基的密度空间分布，在基板(W)的整个被处理面上得到规定的处理状态。
等离子体处理方法装置

[发明专利]等离子体处理装置和方法以及等离子体处理装置的电极板-CN200380104293.8有效
发明人：兴石公;广瀬润;小笠原正宏;平野太一;佐佐木宽充;吉田哲雄;斋藤道茂;石原博之;大薮淳;沼田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-11-25 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的等离子体处理装置包括可以设置成有真空气氛的处理容器(10)。第一上部电极(36)被配置成与配置在处理容器(10)内的被处理基板(W)相面对并成环状。在第一上部电极(36)的半径方向内侧以与其电绝缘状态配置第二上部电极(38)。第一供电部(50)把来自第一高频电源(52)的第一高频以第一功率值提供给第一上部电极(36)。从第一供电部(50)分出的第二供电部(76)把来自第一高频电源的所述第一高频，以比第一功率值小的第二功率值提供给所述第二上部电极(38)。
等离子体处理装置方法以及极板

[发明专利]半导体处理系统中的端口机构-CN03803618.5无效
发明人： 吉田哲雄;佐佐木义明;佐伯弘明;谷山育志;泷泽浩士 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-02-17 - 公布日： 2005-06-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：在半导体处理系统(2)的端口机构(16A)中，在立壁(52、54)上形成的端口(12A)上设置滑门(20A)。在系统的外面靠近端口处设置台(48)。在台上形成装载被处理基板(W)的开放型盒子(18A)的装载区(76)。对台设置可转动的护罩(50)，在关闭位置上，护罩形成包围装载区和端口的封闭空间，具有能够收纳盒子的大小。在立壁和门中的至少一边形成第一通气孔(58)，使气体从系统内部导向端口内的封闭空间。在台上形成第二通气孔(72)，使气体从封闭空间排到外部。
半导体处理系统中的端口机构

[发明专利]气体绝缘金属封闭开关-CN97117452.0有效
发明人：宫川胜;吉田哲雄;佐藤章;堀切和仁;阪口修;平本武;正木信男;乡富夫;児玉良一;池田顺一 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 1997-07-18 - 公布日： 2001-10-17 - 主分类号： H02B1/20 文献下载
摘要：一种气体绝缘金属封闭开关，其包括一配电箱，用以接收多个电路设备，三个第一绝缘套管，其贯穿所述配电箱的外壁，三个第二绝缘套管，其贯穿所述配电箱的外壁，和三根电缆，其与配电箱外壁相邻相互平行地定位，其每根分别连接在第一绝缘套管之一和第二绝缘套管之一之间。每个第一和第二绝缘套管在其两侧上形成有四边形头部，并且在四边形的至少一侧上连接有电缆之一，用以分别连接电路设备。
气体绝缘金属封闭开关

[发明专利]开关用导电连接器-CN94105717.8无效
发明人：宫川胜;正木信男;佐藤章;吉田哲雄;野野下忠;佐藤健一;木下晋;永田恭文;圆部浩;小岛谅一;加濑正;长谷川尚也 -专利权人：株式会社东芝;昭和电线电缆株式会社
申请日： 1994-05-11 - 公布日： 2000-04-12 - 主分类号： H02B13/02 文献下载
摘要：具有多个柜的开关用导电连接器。该导电连接器包括下套管和上套管。下套管包括具有在垂直于中心轴方向上提供第一半管形槽的头的Ｔ形绝缘层，沿该中心轴方向，埋在Ｔ形绝缘层中的中心导体，及一个半管形下电极，安放在Ｔ形绝缘层的头的第一半管形槽中，与中心导体的方向垂直，并与其电气连接。面对下套管的头，提供上套管，在其底部，沿垂直于中心轴的方向，提供第二半管形槽，与Ｔ形绝缘层一起形成通孔。导电连接器还包括半管形压紧电极和紧固件。
开关导电连接器

[发明专利]母线连接装置-CN94104315.0无效
发明人：佐藤健一;木下晋;吉田哲雄;野野下忠;正木信男;宫川胜;园部浩;小岛谅一;加濑正;长谷川尚也 -专利权人：株式会社东芝;昭和电线电缆株式会社
申请日： 1994-03-11 - 公布日： 1995-02-22 - 主分类号： H02G15/00 文献下载
摘要：构成母线连接器管套的组成是分裂式的组装而成。当分裂的管套被组装时，容放母线接头的接收槽在管套中形成。相应地，用于母线的接头排放在一个适当的位置中，其中接收槽是在管套的分离状态下形成的。然后装配套管从而得到将母线接头容纳在接收槽中的母线连接器。
母线连接装置

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