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[发明专利]薄膜晶体管基板及其制造方法-CN201780089090.8在审
发明人：山林弘也;古畑武夫;井上和式 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供抑制LED等的入射光入射到半导体沟道层的光强度、光量的构造的薄膜晶体管基板。而且，作为本发明的TFT基板(100)具有遮光膜(50A)，该遮光膜(50A)在漏极电极(8)的下方，在与漏极电极(7)在俯视时重叠的区域，与共同电极(5)邻接而连续地设置。TFT基板(100)还具有遮光膜(50B)，该遮光膜(50B)在源极电极(8)的下方，设置于源极电极(8)与共同电极(5)在俯视时重叠的区域。除此之外，TFT基板(100)在栅极端子部(30)，在栅极电极(2)的上方具备具有导电性的遮光膜(50C)。遮光膜(50C)电连接于栅极电极(2)，且在俯视时与栅极电极(2)重叠。
遮光膜栅极电极俯视漏极电极源极电极电极薄膜晶体管基板半导体沟道层导电性栅极端子电连接入射光邻接光量入射

[发明专利]薄膜晶体管基板及其制造方法-CN201780087013.9在审
发明人： 古畑武夫;藤野俊明;井上和式 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：目的在于提供一种能够抑制有害的波长的光到达活性层的技术。薄膜晶体管基板具备：活性层(5)，配置于栅极绝缘膜(2)上，在俯视时与栅电极(3)重叠，包含氧化物半导体；源电极(4)及漏电极(6)，与活性层(5)分别连接；保护绝缘膜(8)，配置于活性层(1)、源电极(4)及漏电极(6)上；以及像素电极(7)，配置于包括栅极绝缘膜(2)或者栅极绝缘膜(2)及保护绝缘膜(8)的绝缘膜上且吸收层(1)上方，与漏电极(6)连接。
活性层栅极绝缘膜漏电极薄膜晶体管基板保护绝缘膜源电极配置氧化物半导体像素电极绝缘膜吸收层栅电极波长俯视制造

[发明专利]太阳能电池的制造方法及太阳能电池-CN201580062722.2有效
发明人：山林弘也;森冈孝之;古畑武夫 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2015-11-16 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池的制造方法及太阳能电池。所述制造方法包括：第1工序：在第1导电型的半导体基板的一面形成将第2导电型的杂质以第1浓度扩散的第1掺杂层及将第2导电型的杂质以比第1浓度低的第2浓度扩散且表面粗糙度与第1掺杂层不同的第2掺杂层；及在第1掺杂层形成与第1掺杂层电连接的金属电极第2工序。在第2工序中，基于由于第1掺杂层与第2掺杂层的表面粗糙度的差而产生的第1掺杂层与第2掺杂层中的光反射率的差来检测第1掺杂层的位置，依据检测的第1掺杂层的位置来形成金属电极。
太阳能电池制造方法

[发明专利]薄膜太阳能电池及其制造方法-CN201080051932.9有效
发明人：仲村惠右;时冈秀忠;古畑武夫 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2010-04-08 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：一种薄膜太阳能电池(1)，在基板之上包括由透明导电性材料构成的第一电极层、光电转换层以及反射光的包含导电性材料的第二电极层，具有多个通过划线道(2)分割为多个的单位太阳能电池单元(3)，在形成于光电转换层的划线道(2)内，第二电极层与相邻的单位太阳能电池单元(3)的第一电极层相连接，从而多个单位太阳能电池单元(3)电串联连接，至少一个单位太阳能电池单元(3)的两侧的划线道(2)形成为夹在划线道(2)间的单位太阳能电池单元(3)在规定方向上具有固定的宽度来蛇行，并且具有在沿规定方向平行移动的情况下重合的同一形状。
薄膜太阳能电池及其制造方法

[发明专利]薄膜太阳能电池及其制造方法-CN201080029500.8有效
发明人： 古畑武夫;仲村惠右 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2010-04-23 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：具备：透光性绝缘基板(1)；第1透明导电膜(2)，通过准晶质的透明导电膜形成在所述透光性绝缘基板(1)上，在表面具有凹凸构造；第2透明导电膜(3)，通过透明导电膜形成在所述第1透明导电膜(2)上，在表面具有比所述第1透明导电膜(2)的凹凸构造缓和的凹凸构造；发电层(5)，形成在所述第2透明导电膜(3)上，至少具有一层准晶质层而进行发电；以及背面电极层(6)，通过反射光的导电膜形成在所述发电层(5)上，在所述第1透明导电膜(2)的凹凸构造中的相邻的凸部(2a)之间，具有从所述透光性绝缘基板(1)向所述发电层(5)方向突出的大致凸状的空洞部(4)。
薄膜太阳能电池及其制造方法

[发明专利]半导体器件及其制造方法-CN200310115499.2无效
发明人： 古畑武夫;水岛一郎;关原章子;岸田基也;原田翼;中尾隆 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2003-11-26 - 公布日： 2004-06-16 - 主分类号： H01L27/108 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种可靠地与沟槽内的第1导体和第2导体连接，满足高集成化以及细微化要求的半导体器件及其制造方法。解决方案是，半导体器件(100)具备：半导体基板(110)；被形成在半导体基板(110)上的沟槽(135)；被堆积在沟槽(135)内部比较下方的，在上面具有凹坑的第1导体层(150)；埋入第1导体层(135)的凹坑，由比第1导体层(135)熔点还低的导电性材料构成的埋入层(199)；在沟槽(135)内部被设置在埋入层(199)上的，与第1导体层(150)电连接的第2导体层(152)。
半导体器件及其制造方法

[发明专利]旋转机的寿命预测系统、旋转机的寿命预测方法和具有旋转机的制造装置-CN03134791.6无效
发明人：佐俣秀一;牛久幸广;山本明人;中尾隆;古畑武夫 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2003-09-29 - 公布日： 2004-05-19 - 主分类号： F04B49/10 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种以廉价的装置，简单、稳定且高精度地对旋转机的寿命进行预测的寿命预测系统。该系统包括：测定旋转机(3)的振动的时间序列加速度数据的振动仪(7)；用含有以包括旋转机的转子的叶片扇数的公式与旋转机固有的基准振动频率的乘积表示的第1解析频率的频带、对所测定的模拟信号的时间序列加速度数据进行滤波的带通滤波器(8)；以及根据经滤波的上述第1解析频率的时间序列加速度数据的特征量，预测上述旋转机的寿命的数据处理单元(6)。
旋转寿命预测系统方法具有制造装置

[发明专利]旋转机的寿命预测方法及具有旋转机的制造装置-CN03154494.0无效
发明人：佐俣秀一;牛久幸广;中尾隆;古畑武夫 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2003-09-30 - 公布日： 2004-05-19 - 主分类号： F04B49/10 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供高灵敏度且稳定的高精度的旋转机的寿命预测方法。其包括以下步骤：根据监视器用制造工序中使用的监视器用旋转机的特征量的监视时间序列数据，判定上述监视器用旋转机即将停止之前的异常状态的开始时刻，统计地对监视时间序列数据进行解析，将上述特征量的上述异常状态的开始时刻的值作为异常判断的阈值而求出；在制造工序中测定诊断对象旋转机的马达电流的特征量的时间序列数据；根据上述制造工序中上述特征量变动的时间序列数据作成评价用诊断数据；将上述评价用诊断数据超过上述阈值的时刻，判定为上述诊断对象旋转机的寿命。
旋转寿命预测方法具有制造装置

[发明专利]制造装置及旋转机的寿命预测方法-CN03160083.2无效
发明人：佐俣秀一;古畑武夫;牛久幸广;山本明人;中尾隆 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2003-09-26 - 公布日： 2004-04-21 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种具有能够进行高灵敏度且稳定的高精度的寿命预测的旋转机的制造装置。在旋转机(3)中，在旋转机的振动的变动不同的位置配置有测定时间序列振动数据的加速度计(36a、36b)。借助频率解析装置(37)，对由加速度计(36a、36b)所测定的时间序列振动数据进行频率解析。在时间序列数据记录部(5)中，根据经频率解析的时间序列振动数据，将与解析对象频率对应的特征量的变动制作成评价用诊断数据，并记录评价用诊断数据。用寿命判定单元(6)，利用评价用诊断数据预测旋转机(3)的寿命。
制造装置旋转寿命预测方法

[发明专利]半导体制造装置用旋转机的寿命预测方法和半导体制造装置-CN02160293.X无效
发明人：佐俣秀一;牛久幸広;古畑武夫;中尾隆;石井贤 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2002-08-30 - 公布日： 2003-05-21 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：提供一种高灵敏度且稳定的半导体制造装置用旋转机的寿命预测方法。方案是测定旋转机(干式泵)的加速度，获得时间系列数据(步骤S101)；将时间系列数据进行频率分析，得到频率频谱(步骤S102)；决定分析对象频率(步骤S103)；将对应于分析对象频率的加速度峰值的基准用时间系列数据和加速度峰值的评价用时间系列数据进行抽样测定(步骤S104)；使用基准用时间系列数据和评价用时间系列数据作成旋转机的寿命评价用数据，在所含步骤(步骤S105)进行旋转机的寿命确定。
半导体制造装置旋转寿命预测方法

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