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[发明专利]一种音圈电机的控制方法及系统-CN201711423561.2有效
发明人：贺云波;张昌;陈新;高健;杨志军;陈桪;张凯;陈云;汤晖;叶文涛;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： H02P25/034 文献下载
摘要：本发明公开了一种音圈电机的控制方法及系统，包括接收预设位置信息和根据预设作用力信息确定的预设电流信息；根据预设位置信息通过位置闭环和基于高电流增益的电流闭环驱动音圈电机到达给定位置，其中，高电流增益为第一预设增益值到第二预设增益值范围内的增益；获取音圈电机的电流，并判断电流是否大于预设电流阈值；若是，则根据预设电流信息通过基于低电流增益的电流闭环驱动音圈电机形成的作用力达到指定作用力，其中，低电流增益为第一预设增益值到第三预设增益值范围内的增益，第二预设增益值小于第三预设增益值。本发明能够同时满足位置控制阶段和力控制阶段的不同要求，使音圈电机可以完成复杂的工艺，大大拓宽了音圈电机的应用范围。
一种电机控制方法系统

[实用新型]一种设备之间配合误差的辅助标记装置-CN201820676040.1有效
发明人：贺云波;叶文涛;陈新;高健;杨志军;陈桪;张凯;陈云;汤晖;张昌;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-05-07 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01V8/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种设备之间配合误差的辅助标记装置，包括支撑连杆、标记连杆、激光测距传感器以及计算机。其中，支撑连杆和标记连杆设置于工作台且水平方向上相互垂直，激光测距传感器安装在机械手上，在测量过程中，标记连杆处于激光测距传感器的扫描范围内，计算机与激光测距传感器连接，用于接收激光测距传感器返回的测试数据以确定机械手与工作台之间的配合误差。可见，本装置结构简单，能够标记机械手与工作台之间的配合误差，可广泛应用。另外，由于采用了激光测距传感器，相对于其它测距传感器来说，其具有固定的扫描范围的特性，如果被扫描物体与激光传感器的距离过大或者过小，激光测距传感器不能扫描到物体，从而提高了测量的精度。
激光测距传感器工作台辅助标记装置支撑连杆机械手扫描配合本实用新型测距传感器激光传感器测量过程测试数据扫描物体装置结构固定的计算机测量垂直返回应用

[实用新型]一种多设备间配合偏差的检测系统-CN201820872388.8有效
发明人：贺云波;叶文涛;陈新;高健;杨志军;陈桪;崔成强;张凯;陈云;汤晖;张昌;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开一种多设备间配合偏差的检测系统，包括安装于晶圆工作台的激光发射器和安装于机器人夹持端的误差显示器，误差显示器上设置有基准点，基准点与机器人夹持端的中心重合。本实用新型提供的检测系统，在晶圆工作台上可拆卸地设置有激光发射器，同时在晶圆搬运机器人机械手位置可替换地设置有误差显示器，应用时将激光发射器和误差显示器分别安装到晶圆工作台和搬运机器人上，激光发射器的光斑至误差显示器上，误差显示器显示激光点位置，可进一步调整搬运机器人和晶圆工作台相对位置的误差，保证了晶圆在晶圆工作台上的位置精准。
误差显示器激光发射器晶圆搬运机器人晶圆工作台检测系统本实用新型多设备基准点夹持机器人机械手位置激光点位置位置精准中心重合光斑可拆卸可替换配合应用保证

[实用新型]一种校正晶圆盘的校准系统-CN201820872341.1有效
发明人：贺云波;叶文涛;陈新;高健;杨志军;陈桪;崔成强;张凯;陈云;汤晖;张昌;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开一种校正晶圆盘的校准系统，包括上端支撑盘，设置于上端支撑盘上、用于获取待校正晶圆盘位置信息的传感器，用于固定待校正晶圆盘的校准平台，用于调整待校正晶圆盘位置的滑动支撑平台，且校准平台位于滑动支撑平台的滑槽内。本实用新型所提供的校准系统通过将待校准晶圆盘顶起离开校准平台，通过电机带动滑动支撑平台移动待校准晶圆盘，直到传感器接收不到反馈信号为止，实现检测并调整晶圆盘与校准平台之间误差的功能，与现有技术当中通过手移动待校准晶圆盘的方式相比，避免了出现静电的情况，自动化程度高，有效地提高校准精度。
晶圆盘校准校正滑动支撑校准系统本实用新型支撑盘上端传感器电机带动反馈信号平台移动静电手移动有效地滑槽自动化检测

[发明专利]一种校正晶圆盘的校准系统-CN201810573739.X在审
发明人：贺云波;叶文涛;陈新;高健;杨志军;陈桪;崔成强;张凯;陈云;汤晖;张昌;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开一种校正晶圆盘的校准系统，包括上端支撑盘，设置于上端支撑盘上、用于获取待校正晶圆盘位置信息的传感器，用于固定待校正晶圆盘的校准平台，用于调整待校正晶圆盘位置的滑动支撑平台，且校准平台位于滑动支撑平台的滑槽内。本发明所提供的校准系统通过将待校准晶圆盘顶起离开校准平台，通过电机带动滑动支撑平台移动待校准晶圆盘，直到传感器接收不到反馈信号为止，实现检测并调整晶圆盘与校准平台之间误差的功能，与现有技术当中通过手移动待校准晶圆盘的方式相比，避免了出现静电的情况，自动化程度高，有效地提高校准精度。
晶圆盘校准校正滑动支撑校准系统支撑盘上端传感器电机带动反馈信号平台移动静电手移动有效地滑槽自动化检测

[发明专利]一种多设备间配合偏差的检测系统-CN201810573862.1在审
发明人：贺云波;叶文涛;陈新;高健;杨志军;陈桪;崔成强;张凯;陈云;汤晖;张昌;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种多设备间配合偏差的检测系统，包括安装于晶圆工作台的激光发射器和安装于机器人夹持端的误差显示器，误差显示器上设置有基准点，基准点与机器人夹持端的中心重合。本发明提供的检测系统，在晶圆工作台上可拆卸地设置有激光发射器，同时在晶圆搬运机器人机械手位置可替换地设置有误差显示器，应用时将激光发射器和误差显示器分别安装到晶圆工作台和搬运机器人上，激光发射器的光斑至误差显示器上，误差显示器显示激光点位置，可进一步调整搬运机器人和晶圆工作台相对位置的误差，保证了晶圆在晶圆工作台上的位置精准。
误差显示器激光发射器晶圆搬运机器人晶圆工作台检测系统多设备基准点夹持机器人机械手位置激光点位置位置精准中心重合光斑可拆卸可替换配合应用保证

[发明专利]一种设备之间配合误差的辅助标记装置-CN201810426225.1在审
发明人：贺云波;叶文涛;陈新;高健;杨志军;陈桪;张凯;陈云;汤晖;张昌;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-05-07 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： G01V8/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种设备之间配合误差的辅助标记装置，包括支撑连杆、标记连杆、激光测距传感器以及计算机。其中，支撑连杆和标记连杆设置于工作台且水平方向上相互垂直，激光测距传感器安装在机械手上，在测量过程中，标记连杆处于激光测距传感器的扫描范围内，计算机与激光测距传感器连接，用于接收激光测距传感器返回的测试数据以确定机械手与工作台之间的配合误差。可见，本装置结构简单，能够标记机械手与工作台之间的配合误差，可广泛应用。另外，由于采用了激光测距传感器，相对于其它测距传感器来说，其具有固定的扫描范围的特性，如果被扫描物体与激光传感器的距离过大或者过小，激光测距传感器不能扫描到物体，从而提高了测量的精度。
激光测距传感器工作台辅助标记装置支撑连杆机械手扫描配合测距传感器激光传感器测量过程测试数据扫描物体装置结构固定的计算机测量垂直返回应用

[实用新型]一种晶圆盘定位装置-CN201721780591.4有效
发明人：贺云波;张昌;陈新;高健;杨志军;陈桪;张凯;陈云;汤晖;叶文涛;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆盘定位装置，包括支撑架和用于定位晶圆盘的定位块，支撑架内侧定位面的横截面的中心为定位中心，定位面用于与校准装置定位贴合连接，在定位状态下定位中心与校准装置的中心重合；定位块设于支撑架的上端面，定位块至少有两个且每个定位块到定位中心的距离均相同。本实用新型公开的晶圆盘定位装置在进行校准之前，使晶圆盘和校准装置同心得放置在一起，减小了晶圆盘与校准装置的偏心距离，提高了校准前晶圆盘在校准装置上的定位精度，同时提高校准效率。
晶圆盘校准装置定位块定位中心支撑架校准圆盘定位装置本实用新型种晶定位装置定位状态偏心距离贴合连接中心重合定位面上端面减小

[发明专利]一种晶圆盘定位装置-CN201711351389.4在审
发明人：贺云波;张昌;陈新;高健;杨志军;陈桪;张凯;陈云;汤晖;叶文涛;何作雄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆盘定位装置，包括支撑架和用于定位晶圆盘的定位块，支撑架内侧定位面的横截面的中心为定位中心，定位面用于与校准装置定位贴合连接，在定位状态下定位中心与校准装置的中心重合；定位块设于支撑架的上端面，定位块至少有两个且每个定位块到定位中心的距离均相同。本发明公开的晶圆盘定位装置在进行校准之前，使晶圆盘和校准装置同心得放置在一起，减小了晶圆盘与校准装置的偏心距离，提高了校准前晶圆盘在校准装置上的定位精度，同时提高校准效率。
一种圆盘定位装置

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