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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种可标定系统误差的系统波像差检测方法-CN201610880580.7有效
发明人： 于长淞;高松涛;彭石军;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种可标定系统误差的系统波像差检测方法，将被测投影物镜的系统波像差与剪切干涉检测系统的系统误差相减，获得被测投影物镜实际波像差，消除了系统误差的影响，提高了测量精度；采用的小孔空间滤波器可以起到滤波的作用，可以消除照明系统及第一汇聚透镜所导致的像差，提高了系统波像差的检测精度；空间滤波器使得只有±1级衍射光才能通过空间滤波器中的窗口，零级以及更高级次的衍射光都被空间滤波器截至，从而使得噪声减小并且测量精度获得改善。 1
空间滤波器波像差波像差检测标定系统投影物镜系统误差衍射光测量汇聚透镜检测系统剪切干涉噪声减小照明系统滤波相减像差小孔检测

[发明专利]一种六面体垂直误差测量装置及方法-CN201610726696.5在审
发明人：彭石军;于长淞;苗二龙;高松涛;武东城;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明涉及光学测量技术领域，具体公开一种六面体垂直度误差测量装置及方法。本发明的测量装置用于测量六面体的垂直度误差，具体包括基座、波面干涉仪、平面参考镜、气浮转台、支撑工装、控制箱以及主控器。本发明提供的测量装置和测量方法以波面干涉仪出射的平面波为参考基准，通过比较六面体不同面与平面波之间的倾斜，并利用四边形内角和为360°，通过最小二乘法得到六面体各面之间的垂直度误差。
一种六面体垂直误差测量装置方法

[发明专利]一种光刻投影物镜系统波像差检测装置-CN201410819658.5无效
发明人： 于长淞;苏东奇;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-12-25 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜系统波像差检测装置，该装置包括：光源、照明系统、小孔空间滤波器、分光板、待测投影物镜、球面反射镜、二维光栅、空间滤波器和图像传感器；本发明通过使用级次选择窗口作为空间滤波器使得噪声减小并且测量精度获得改善，并且克服了Talbot距离对图像传感器位置的限制。在光路中加入了球面反射镜，可用于浸没式投影物镜系统波像差的检测，也可用于非浸没式投影物镜系统波像差的检测；可以对投影物镜进行全视场的系统波像差检测，得到36项泽尼克系数表示的波像差；由于采用了剪切干涉仪的光路结构，具有检测精度高，重复性好等优点。
一种光刻投影物镜系统波像差检测装置

[发明专利]一种高精度系统波像差检测方法-CN201110346849.0无效
发明人：向阳;于长淞 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2011-11-07 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种高精度系统波像差检测方法属于光学检测领域，其步骤包括：光源发射照明光束，进入照明系统和小孔空间滤波器后衍射产生理想球面波前的光束；入射进入被测投影物镜，带有像差信息的出射光束经光栅衍射及空间滤波器后发生干涉并由图像传感器采集，进行波面拟合，得到波像差；通过入射和旋转180°后入射进入被测投影物镜得到两次波前测量结果，利用Zernike多项式在单位圆域的特性，分离出系统误差中的非旋转对称成分，增加两次光轴外点测量，计算出系统误差，将测量值与系统误差相减，获得被测投影物镜实际波像差。本发明提出的干涉仪装置系统误差标定方法，能够标定由干涉仪所导致的系统误差，提高了干涉仪的测量精度。
一种高精度系统波像差检测方法

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共 4 条

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