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[发明专利]球面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法-CN201610463460.7有效
发明人：武东城;高松涛;苏东奇;彭石军;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01N21/958 文献下载
摘要：本发明提供一种球面光学元件表面疵病的检测装置，其包括：工作台、气动浮台、三轴移动滑台及显微物镜成像设备。气动浮台设置于所述工作台上，且能绕自身轴线以一定角速度转动。气动浮台用于放置待检测的光学元件。三轴移动滑台设置于所述工作台上。显微物镜成像设备设置于三轴移动滑台的末端，用于拍摄气动浮台上的光学元件。三轴移动滑台将显微物镜成像设备移动至气动浮台的正中心，并在每间隔一预设时间时，驱动显微物镜成像设备向气动浮台的边缘移动一预设距离，直至显微物镜成像设备位于气动浮台的边缘。本发明还提供一种检测方法。本发明能够对光学元件表面疵病的进行检测及数字化评估，极大提高检测效率及检测精度。
球面光学元件表面检测装置及其方法

[发明专利]一种用于光学检测的干涉仪标准具-CN201610652163.7有效
发明人：黄斌;李显凌;苏东奇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-08-10 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及光学精密检测技术领域，具体公开一种用于光学检测的干涉仪标准具。标准具包括三套镜组，镜组分别为凹镜组、凸镜组和楔形镜组，凹镜组用于发散光线，凸镜组用于聚集光线，楔形镜组用于偏转光线，三套镜组叠放设置，镜组之间可拆卸式连接。本发明采用较少数量的光学元件来实现标准具的集成，使得结构精简，采用可拆卸式连接，便于更换，采用胶粘的方式将镜组与镜筒进行连接，保证像质要求。
一种用于光学检测干涉仪标准

[发明专利]一种光学系统像面离焦量的检测方法-CN201810084090.5有效
发明人：马宏财;苏东奇;胡春晖;张冬旭 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种光学系统像面离焦量的检测方法。本发明实施例中所提供的光学系统像面离焦量的检测方法，在干涉仪与光学系统齐焦光路的基础上，通过调整干涉仪使得其出射波前焦点不仅能准确落在光学系统像面的位置上，同时干涉仪出射波前会聚光和返回会聚光的主光线方向重合，从而拓展激光干涉仪的现有功能，能够准确的实现对光学系统像面离焦量的检测。进一步地，通过检测获得的离焦量可以评价光学系统的成像像质，从而提高光学系统装调效率和改善成像质量。
光学系统像面离焦干涉仪检测会聚光出射成像像质激光干涉离焦量前焦点主光线重合光路装调成像返回拓展

[发明专利]一种旋转轴对称曲面面形误差的测量装置及测量方法-CN201610891212.2有效
发明人：彭石军;苗二龙;高松涛;曲艺;苏东奇;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种旋转轴对称曲面面形误差的测量装置及测量方法，测量装置包括基座；转台，设置在基座上，用于带动被测物体绕转轴旋转；激光测量系统，用于在所述被测物体旋转的过程中，对所述被测物体的被测面进行扫描采样，得到若干个采样点数据；以及计算装置，基于所述被测面的几何参数及所述若干个采样点数据，计算面形误差。该测量装置及测量方法可以实现无损伤检测。
一种旋转轴对称曲面误差测量装置测量方法

[发明专利]一种去除拼接检测中支撑的方法及装置-CN201610633589.8有效
发明人：张敏;高松涛;苏东奇;武东城;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-08-04 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供的一种去除拼接检测中支撑的方法及装置，采用最大似然估计除去拼接检测中支撑误差，避免了多次全口径面形的检测，减少检测时间、机械误差的累积，提高检测的效率和精度，有效分离出了支撑面形。
一种去除拼接检测支撑方法装置

[发明专利]一种转台摆角精密测量方法-CN201510974369.7有效
发明人：苗二龙;武东城;苏东奇;高松涛;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明一种基于平面干涉仪的转台摆角精密测量方法，属于光学检测领域，解决了现有技术中测量转台摆角精度严重依赖标准件的质量的技术问题；本发明利用了干涉仪和标准平晶建立标准的平面干涉腔，并测量标准平晶在不同转动角度下的干涉图。利用Zernike多项式提取出标准平晶的倾斜量，统计倾斜量的变化就可以得到转台的转动摆角；该方法简便易行，测量精度高，能够满足精密转台摆角测量要求。
一种转台精密测量方法

[发明专利]干涉仪系统、干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法-CN201610463671.0有效
发明人：武东城;高松涛;苏东奇;彭石军;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法，包括：将用于配合检测的面状光学元件放置于干涉仪系统的待测台上；调整所述面状光学元件在所述待测台上的放置状态，而使得所述面状光学元件分别处于多个放置状态；通过干涉仪系统的成像部相应地分别成像形成多个面形图，每个面形图中包括的干涉条纹的数量不同；以及至少计算其中两个面形图之间的残差得到第一残差以及计算其中另外两个之间的残差而得到第二残差，还至少根据第一残差以及第二残差之间的区别大小程度来判断干涉仪系统的包括传递函数和整体光学性能在内的优劣。本发明还提供一种干涉仪系统。本发明提供的干涉仪系统及检测方法，可通过简单且较准确的方式检测干涉仪传递函数及性能的优劣。
干涉仪系统传递函数性能优劣检测方法

[发明专利]一种用于标定标准镜的自动旋转随机小球装置-CN201510131128.6有效
发明人：武东城;张永凯;苏东奇;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-03-24 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明一种用于标定标准镜的自动旋转随机小球装置，属于光学检测领域，解决了现有技术人为的旋转随机球会导致不能获得较高精度的标定，且费时费力技术问题；本发明包括气浮平台、进气孔、真空孔、支撑柱、限位环和自由小球，还包括推动环；气浮平台的侧壁设置有进气口和真空口，气浮平台的顶部圆周均布三个支撑柱，推动环套在三个支撑柱上，推动环的内环直径大于自由小球的直径，限位环分别与三个支撑柱螺纹连接，自由小球被限制在限位环与气浮平台顶部之间；本发明的推动环结构简单，易加工。
一种用于标定标准自动旋转随机小球装置

[实用新型]一种以滤布为过滤介质的管道过滤器-CN201621364375.7有效
发明人：张晓莉;高子平;吴宪;慈鹏;姜丹;董力;蔡洪龙;张铁龙;李明东;苏东奇 -专利权人：沈阳市华域建筑设计有限公司
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： B01D46/02 文献下载
摘要：一种以滤布为过滤介质的新型管道过滤器，克服了现有技术中管道过滤器过滤面积受限，过滤网表面截留管路内悬浮颗粒物后容易造成堵塞，纳污量也有限，需要频繁地清洗保持滤网的洁净，并且在应对突发的水质状况时抗冲击性较弱的问题，在壳体上设有过滤单元安装口并通过法兰盘、垫片和螺栓安装过滤单元，在壳体中设有导槽，所述过滤单元包括第一层滤网和第三层滤网，在第三层滤网上固定连接有起到第二层带有纤维滤毛的滤布的过滤结构，核心部件由外侧两层不锈钢滤网及中间一层带有纤维滤毛的滤布所组成，可通过法兰连接等多种连接方式连接至以液体为流体的管道上，结构简单，过滤高效可靠，适用范围广，过滤单元可反复清洗再生使用。
一种过滤介质管道过滤器

[发明专利]光学系统波前主动补偿装置-CN201410187121.1有效
发明人：陈华;苏东奇;隋永新;杨怀江;张巍;田伟 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-05-05 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学系统波前主动补偿装置，属于光学系统的像差补偿技术领域。解决了现有技术中波前主动补偿装置结构复杂、成本昂贵的问题。本发明的光学系统波前主动补偿装置包括玻璃镜片、电控系统和多个温度调节装置，多个温度调节装置固定在玻璃镜片的表面上，电控系统控制多个温度调节装置的输入功率。本发明的补偿装置通过调节玻璃镜片的温度分布从而改变镜片波前的主动补偿，装置简单，对口径没有限制，且适用于精密光学系统中，主要用于补充光学系统的Zernike像差。
光学系统主动补偿装置

[发明专利]一种长曲率半径凸面参考面标准具-CN201510968118.8在审
发明人： 苏东奇;曲艺;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-22 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种长曲率半径凸面参考面标准具涉及光学镜头设计领域，入射光依次通过：孔径光阑、扩束组分、泽尼克面形补偿组分，像差平衡组分和标准参考面；所述孔径光阑、扩束组分、泽尼克面形补偿组分，像差平衡组分和标准参考面同光轴分布；所述泽尼克面形补偿组分补偿光学设计的剩余球差；像差平衡组分平衡整个标准具的像差产生垂直参考面出射的波面；标准参考面以3.5％的反射率反射光束使其原路返回干涉仪内提供参考波面。本发明不同于现有商业化产品。长曲率半径凹面测量的使用要求，有效地缩短了测量空间，解决空间受限的问题，物理上易于实现。同时采用了易于加工的泽尼克面形补偿组分，进行像差补偿，大大降低了设计难度。
一种曲率半径凸面参考标准

[发明专利]一种光刻投影物镜系统波像差检测装置-CN201410819658.5无效
发明人：于长淞;苏东奇;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-12-25 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜系统波像差检测装置，该装置包括：光源、照明系统、小孔空间滤波器、分光板、待测投影物镜、球面反射镜、二维光栅、空间滤波器和图像传感器；本发明通过使用级次选择窗口作为空间滤波器使得噪声减小并且测量精度获得改善，并且克服了Talbot距离对图像传感器位置的限制。在光路中加入了球面反射镜，可用于浸没式投影物镜系统波像差的检测，也可用于非浸没式投影物镜系统波像差的检测；可以对投影物镜进行全视场的系统波像差检测，得到36项泽尼克系数表示的波像差；由于采用了剪切干涉仪的光路结构，具有检测精度高，重复性好等优点。
一种光刻投影物镜系统波像差检测装置

[发明专利]一种气浮高精度检测工装-CN201410841949.4在审
发明人：苗二龙;张永凯;苏东奇;彭石军;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明一种气浮高精度检测工装，属于光学检测领域，解决现有技术中的传统检测工装支撑方式引入的应力和摩擦力所引入的变形，精度不高的技术问题；本发明包括一个平面基座，基座表面上分布有若干喷气孔，周围三个限位块，保证检测工件位固定。本发明利用气浮原理，采用小孔喷气的方法，使得检测工件与支撑刚体之间形成一层气隙，使得工件浮于检测工装之上而进行检测。由于采用气浮方式，工件受力均匀而稳定，无横向摩擦力，从而消除了工装支撑所导致的检测工件的变形和横向摩擦引入的应力，提高了检测复现性和检测精度，可应用于超高精度的元件面形检测。
一种高精度检测工装

[发明专利]一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜-CN201410613531.8在审
发明人：曲艺;苏东奇;彭石军;苗二龙;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-10-31 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜，涉及光学镜头设计领域，包括：光阑、镜头组分和参考面；干涉仪发出两束不同波长的入射光，通过光阑后，使入射光的口径与镜头组分的口径匹配；镜头组分将入射光会聚在参考面的球心位置。不同于现有商业化产品只工作在一个波长的特点，双波长斐索激光干涉仪标准参考镜同时具有两个工作波长，可以满足4英寸至12英寸不同入射口径菲索激光干涉仪的使用要求，扩展单波长标准参考镜的检测能力。
一种波长激光干涉仪标准参考

[发明专利]双波长斐索激光干涉仪-CN201410605364.2在审
发明人：曲艺;苏东奇;苗二龙;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-10-30 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：双波长斐索激光干涉仪涉及光学仪器领域，该干涉仪第一激光光源和第二激光光源发出激光，经过光纤耦合器耦合后，通过会聚透镜将光会聚在小孔光阑处，经过小孔光阑后光发散出射，由分光镜反射后，经由准直镜准直形成平行光，照射在标准参考镜上；一部分光经由标准参考镜的参考面反射回来，形成参考波前；另一部分光透射过参考镜后，照射在待测元件上，经由待测元件反射回来，形成测量波前；两路反射波经过准直镜返回，由分光镜透射，通过成像镜后，干涉条纹由面阵探测器接收。可在两个波长切换，可以对未镀膜元件进行面形测试，还可以对镀了632.8nm增透膜的光学元件进行面形测试，有效地扩充了现有单波长斐索激光干涉仪的检测能力。
波长激光干涉仪

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