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[发明专利]一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法-CN201510962446.7在审
发明人：谢耀;于杰;王丽萍;郭本银;王辉;周烽;金春水 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法，其中，微缩投影系统波像差检测系统包括点衍射干涉仪、微缩投影系统以及与点衍射干涉仪处于同一光路上的球面反射系统，所述微缩投影系统置于点衍射干涉仪和球面反射系统之间同时，该发明提供了一种基于上述微缩投影系统波像差检测系统的波像差检测方法。本发明提供的微缩投影系统波像差检测系统，对机械结构的变化反应敏感、装调过程能快速收敛并且波像差检测精确。
一种微缩投影系统波像差检测方法

[发明专利]利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及检测方法-CN201610115183.0有效
发明人：方伟;唐锋;王向朝;朱鹏辉;李杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-03-01 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及基于刀口测试技术和扫描相干衍射成像(Ptychography)技术的波像差检测方法。该波像差检测系统包括相干点光源，作为检测标记的刀口图形，固定刀口图形的检测标记调节位移台和二维光电传感器。利用本发明的波像差检测系统检测待测投影物镜的波像差，可以简化系统结构，减少观测面图样的采集次数，提高系统的检测速度和精度。
利用刀口作为检测标记波像差系统方法

[发明专利]一种空间位置变化前后两次检测波像差残差的计算方法-CN202011434660.2有效
发明人：罗倩;李志炜;邵俊铭;吴时彬 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种空间位置变化前后两次检测波像差残差的分析方法，计算出加工前后波像差变化量。在被测镜上任意位置作三个标记，加工前后检测波像差，两次检测的波像差上找出三个标记没有数据的区域，计算出中心点的位置坐标，这三个点坐标为标记点位置。加工前后检测的波像差上的三个标记点连成两个三角形，两者的空间位置发生了三种几何变换：旋转、平移和缩放，解出两个三角形的变换矩阵T，根据变换矩阵T，计算出加工后的波像差矩阵变换成跟加工前同样空间位置且同等大小的三维矩阵数据，将其与加工前的波像差相减得到残差，分析这两次检测的波像差变化。解决两次检测波像差由于空间位置改变且采样像素不同不能点对点相减的问题。
一种空间位置变化前后两次检测波像差残差计算方法

[发明专利]波像差测定装置,波像差测定方法,曝光装置及微型器件的制造方法-CN01808047.2无效
发明人：水野恭志 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2001-12-21 - 公布日： 2003-06-11 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：在测定投影光学系统(PL)的波像差之前,利用AF传感器(30)检测出在规定面上成像的测试中间掩模Rt的图样的像的位置。基于该检测结果,调整波像差测定单元(35)的入射面(36a)的位置,调整图样的像相对于入射面(36a)的位置。在这种调整之后,利用波像差测定单元(35)检测出经由投影光学系统(PL)成像的图样的像,基于该检测结果,利用波像差检测部(41)求出投影光学系统(PL)的波像差。
波像差测定装置方法曝光微型器件制造

[发明专利]自适应光学系统、曝光系统、波像差调节方法及设备-CN202311111061.0在审
发明人：何军;盛乃援;马卫民 -专利权人：光科芯图（北京）科技有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻技术领域，公开了一种自适应光学系统、曝光系统、波像差调节方法及设备。本发明在变形镜对第一光束的相位进行调整得到第二光束之后，首先由波前检测模块检测第二光束的波前图形，然后由图像处理模块基于第二光束的波前图形与预标定的波前图形得到波像差。当波像差不满足预设曝光条件时，不断调整变形镜，直至波像差满足预设曝光条件时，利用第二光束完成曝光。本发明仅通过波前检测模块即可完成波像差的检测工作，结构简单且独立。而且，在波像差补偿的过程中，本方案直接通过图像处理模块调整波前检测模块即可实现对波像差的补偿，其补偿方式简便，且补偿时长短，从而使成像质量和效率提高。
自适应光学系统曝光系统波像差调节方法设备

[发明专利]基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法-CN201310294761.8无效
发明人：李恋;马天梦;王彬;古斌 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2013-07-15 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明是一种基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法，包括步骤S1：将光学系统各元件进行粗装调，使光学系统波像差能被波像差检测装置有效检测；步骤S2：对各光学元件的空间位置进行调整，测量各位置状态下光学系统的波像差，并记录；步骤S3：将记录的光学元件位置状态及对应的光学系统波像差输入处理器，计算各光学元件的面形。本发明通过检测光学系统的波像差，来确定光学系统中各光学件的面形，装配阶段通过最终测量的光学系统波像差，获得光学系统各光学件的面形数据，可用于消除面形误差产生的系统波像差。适用于面形数据不能准确测量的光学系统，避免面形数据检测误差造成后续装调过程中的不当操作，提高光学系统的成像质量。
基于波像差光学系统光学件面形检测方法

[发明专利]一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机-CN201910551270.4在审
发明人：董冠极;马明英 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机，所述波像差测量方法包括：步骤(1)设置测量标记，所述测量标记包括位于投影物镜两端的物面光栅和像面光栅；步骤(2)提供一检测光束，使所述检测光束经所述物面光栅后被投影至所述像面光栅处，得到波像差测试图；步骤(3)改变所述物面光栅与所述像面光栅的相对位置，得到不同相移条件下的多个波像差测试图及测量标记的多个位置坐标；步骤(4)根据所述测量标记的多个位置坐标，计算所述测量标记的多个实际相移量；步骤(5)求解投影物镜的波前相位；步骤(6)计算得到投影物镜的波像差。本发明在测量波像差时，通过测量标记的实际位置求解波像差，提高了波像差的测量精度。
一种波像差测量方法测量装置光刻

[发明专利]光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法-CN201310261140.X有效
发明人：李杰;唐锋;王向朝;戴凤钊;张敏 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2013-06-26 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波像差，可消除差分波前的待测系统几何光程误差，提高待测系统的波像差检测准确度。
光栅剪切波像差检测干涉仪方法

[发明专利]物镜波像差检测系统-CN201310246734.3有效
发明人：张运海;薛晓君;唐志豪 -专利权人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2013-06-20 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供的物镜波像差检测系统包括激光光源、双物镜波面干涉单元、CCD及与所述CCD电性连接的控制计算机。另外，本发明还提供了一种物镜波像差检测的方法。本发明提供的物镜波像差检测系统和检测方法通过采用双物镜匹配方式得到参考物镜和待测物镜组合后的波像差，实现对大数值孔径显微物镜波像差的定量检测，解决了目前对大数值孔径物镜性能无法定量检测的难题。
物镜波像差检测系统

[发明专利]基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法-CN201310139424.1有效
发明人：杨济硕;王向朝;李思坤;闫观勇;诸波尔 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2013-04-19 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种基于相位环空间像主成分分析的投影物镜波像差检测方法，该方法采用相位环作为检测标记，通过对相位环空间像进行主成分分析，提取出受像差影响的空间像的主成分，再利用多元线性回归分析建立主成分系数与波像差之间的线性关系模型，根据该模型可以从空间像中提取波像差。与同类方法相比，本发明仅需采集检测标记在不同焦深位置的空间像即可同时提取出高阶奇偶像差，具有检测速度快的优点。同时，本发明设计的检测标记的空间像对各类像差具有更显著的区分特征，使各类像差在模型中彼此独立，从而减小了像差之间的串扰，提高了像差检测精度。
基于相位空间成分分析投影物镜波像差检测方法

[发明专利]用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置及方法-CN201110128088.1有效
发明人：刘克;李艳秋;汪海;王建峰 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2011-05-17 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种用扩展光源的光刻机投影物镜波像差现场测量装置及方法，能够实现对投影物镜波像差高精度的检测。具体过程为：在投影物镜波像差检测时，利用位于投影物镜上方的第一扩展光源板上的圆形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明系统对光刻机投影物镜波像差检测的影响；在进行系统误差标定时，利用位于投影物镜下方的第二扩展光源板上的圆形针孔阵列产生理想的球面波，实现了对待测照明系统残留像差和投影物镜波像差的空间滤波。
扩展光源光刻投影物镜波像差现场测量装置方法

[发明专利]一种波像差检测系统及测量方法-CN201711244709.6在审
发明人：孙慧慧 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种波像差测量方法，包括：使用球面波照射波像差测量装置，通过波像差测量装置获得未安装投影物镜时像方参考光斑对应的第一波前信息；安装投影物镜，使球面波经过投影物镜后，入射至波像差测量装置；调节波像差测量装置使得像点阵列和参考光斑的位置对准；根据波像差测量装置获得像点阵列的波前倾斜，并获得第二波前信息；根据第二波前信息和第一波前信息获得投影物镜的波像差信息。本发明实施例提供了一种波像差检测系统及测量方法，利用波像差测量装置可实现多视场点的同时探测，在保证测量精度的同时，提高测试效率。
波像差测量装置波前信息投影物镜波像差检测光斑测量球面波像点波像差测量测试效率位置对准参考波像差入射视场像方照射探测保证

[发明专利]光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法-CN201410406641.7有效
发明人：李杰;唐锋;王向朝;戴凤钊;吴飞斌;李永 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种光栅剪切波像差检测干涉仪，包括光源、聚焦镜、滤波小孔、二维光栅、光栅位移台、光阑板、光阑对准位移台和二维光电传感器。本发明检测待测光学系统的波像差，当待测光学系统经过光源照射，其波前经过光栅分离和剪切产生干涉图，将多个衍射级次在不同方向上剪切干涉产生的差分信息进行波前重建，得到系统误差相关量，进而得到影响光栅剪切干涉仪波像差检测精度的主要系统误差项的相关参数：不同级次衍射光的汇聚点间距和探测器倾斜角度，从而消除波像差检测中的几何光程误差和探测器倾斜误差，提高波前重建的精度和波像差检测的准确度。本发明进行待测光学系统的波像差检测，消除检测中的系统误差，提高检测准确度。
光栅剪切波像差检测干涉仪及其方法

[发明专利]一种环形凸非球面的快速面形检测方法-CN201310132121.7无效
发明人：程灏波;潘宝珠;冯云鹏;谭汉元;丁仁强 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2013-04-16 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种环形凸非球面的快速面形检测方法，基于球面自准直法利用光学设计软件仿真出凸非球面相对于最接近双曲面的波像差，在极坐标下利用Zernike多项式对波像差进行拟合，将极坐标下的波像差方程转化为直角坐标下的形式；使用数字波面干涉仪测量出非球面相对于双曲面的波像差，将实际波像差的矩阵和理论波像差的矩阵统一到同一坐标系下，让两个波像差的像素一一对应，然后将两个波像差的矢高做差法运算，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布本检测方法检测非球面的最大非球面度和非球面度梯度不仅取决于数字波面干涉仪内CCD阵列像元的大小和数目，还依赖于所选择的最接近双曲面的参数。本发明具有快速、准确、检测范围广等优点，具有广阔的市场前景。
一种环形球面快速检测方法

[发明专利]一种近抛物面的环形凹非球面的快速面形检测方法-CN201310132015.9无效
发明人：程灏波;潘宝珠;周东梅;谭汉元;丁仁强 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2013-04-16 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种近抛物面的环形凹非球面的快速面形检测方法。通过光学设计软件，用球面自准直法仿真出凹非球面相对于最接近抛物面的理论波像差，在极坐标下利用Zernike多项式对波像差进行拟合，将极坐标下的波像差方程转化为直角坐标下的形式；使用数字波面干涉仪测量出非球面相对于抛物面的波像差，将实际波像差的矩阵和理论波像差的矩阵统一到同一坐标系下，让两个波像差的像素一一对应，然后将两个波像差的矢高做差法运算，即可得到非球面实际面形与理论面形的残差分布。本发明检测非球面的最大非球面度和非球面度梯度取决于数字波面干涉仪内CCD阵列像元的大小和数目。本发明具有快速、准确、检测范围广等优点，具有广阔的市场前景。
一种抛物面环形球面快速检测方法

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