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[发明专利]一种直爪式转子-CN202210208853.9有效
发明人：孔祥玲;王光玉;王云;徐静怡;钟瑞;费贤 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明属于干式真空泵转子型线设计领域，特别涉及一种直爪式转子。包括：三段直线、两段摆线以及五段圆弧依次连接组成，具体为：所述三段直线，分别包括：爪尖直线JA，爪臂直线BC，爪底直线FG；所述五段圆弧，分别包括：爪顶圆弧AB，节圆圆弧DE，爪底圆弧HI，爪臂处圆弧CD，去锐角圆弧EF；所述两段摆线，分别包括：爪臂处摆线IJ，爪底处摆线GH；所述的转子型线按照顺时针方向分别为：首尾连接的爪尖直线JA、爪顶圆弧AB，爪臂直线BC，爪臂处圆弧CD，节圆圆弧DE，去锐角圆弧EF，爪底直线FG，爪底处摆线GH，爪底圆弧HI，爪臂处摆线IJ。本发明通过去锐角尖点的方式，可有效地减少尖点处的应力集中现象，具有较高的强度。
一种直爪式转子

[发明专利]一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块及其流量测定方法-CN202310824237.0在审
发明人：王光玉;孔祥玲;杨帆;刘云鹏;王冰冰;王云;刘在行;张佳崎;徐静怡;麻方娇;李鹏明 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F16K11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块，包括集成阀块、设置在集成阀块进气通道输入端的单向阀和安装在集成阀块上的减压阀，所述集成阀块内部设置有分流氮气的导气通道，所述集成阀块上设置有用于检测导气通道气压的压力检测组件，所述压力检测组件包括有第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器设置集成阀块上，所述第一压力传感器的感应端设置在集成阀块进气通道内用于检测进气端的压力，所述第二压力传感器设置在导气通道的出气端用于检测出气压力；本发明结构简单，设计合理，使用压力传感器检测进气压力，通过压力传感器反馈的模拟量转化反馈流量，实现压力到流量的转化，实现电控上的可检测，并大幅度降低成本。
一种用于多级真空泵氮气分配模块及其流量测定方法

[发明专利]一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置-CN202310509074.7在审
发明人：雷震霖;王光玉;毕德龙;张佳崎;费贤 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F04B49/10 文献下载
摘要：一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置，属于真空泵技术领域，为了解决当变频器外壳在外力作用或者老化作用下发生漏水现象时，冷却水则会发生泄漏，浸入到变频器上即其他电气设备上时，则极易产生短路等不安全的问题，发明包括变频器外壳和分别固定安装在变频器外壳两端一侧外壁上的安装板，变频器外壳的内腔底面上安装有紧急推起安装板，变频器外壳顶面开口的两端处分别活动安装有封堵门板，变频器外壳底面的一端一侧处连通固定安装有一对水冷管，变频器外壳内腔的下端两端处分别设置有吸水连接组件，本发明巧妙的运用了漏水时，水本身的重力，来启动紧急推起安装板，可同时完成多个效果，方便使用。
一种真空泵水冷变频器紧急保护装置

[发明专利]一种真空泵轴防腐蚀配气结构-CN202310569962.8在审
发明人：王冰冰;雷震霖;孔祥玲;王光玉;郝昌龙;李昌龙 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空泵轴防腐蚀配气结构，包括真空泵体（20），所述真空泵体（20）设有上腔体（22），所述上腔体（22）底部连接下腔体（10），所述上腔体（22）顶部中心安装有进气接口（21），所述上腔体（22）内部设有细长通道（23），屏障流体通过所述进气接口（21）进入所述细长通道（23）后到达下腔体通道（12），屏障流体通过下腔体通道（12）进入轴与孔道（11）的空隙处进行稀释工艺气体，本发明可以防止轴被工艺气体腐蚀，从而保护零部件，延长真空泵的使用寿命。
一种真空泵腐蚀结构

[发明专利]一种附带防水安全结构的水冷变频器-CN202310455127.1在审
发明人：雷震霖;孔祥玲;王光玉;毕德龙;刘在行;张佳崎;杨士威 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种附带防水安全结构的水冷变频器，包括外框架和变频器本体，所述外框架的内部设置有变频器本体，所述外框架的前侧设置有控制区，所述控制区与变频器本体相连接，所述外框架的侧面开设有呈倾斜状的换气口，所述变频器本体的侧面内部设置有水冷结构，所述水冷结构循环设置在变频器本体的侧面，所述水冷结构的内部设置有低压渐动结构，所述水冷结构的外侧等距设置有风冷结构；当水流入到水冷结构的内部后，低压渐动结构可以带动水在水冷结构内进行循环震荡，从而避免水冷结构内出现水垢或是异物等对水冷结构造成腐蚀，造成水冷结构出现漏水的现象，增加水冷结构的使用寿命。
一种附带防水安全结构水冷变频器

[发明专利]一种罗茨转子-CN202210208276.3有效
发明人：王光玉;徐静怡;王云;杨帆;张佳崎 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明属于干式真空泵领域，具体说是一种罗茨转子。其中端面型线包括：首尾连接的n条曲线，其中，n为罗茨转子的叶数；第一曲线由齿根圆弧包络线处直线修型、齿根圆弧包络线、以齿顶圆弧处的直线修型截取齿顶圆弧得到的曲线、齿根圆弧包络线以及齿根圆弧包络线处直线修型按逆时针依次连接，第n曲线均由第一曲线阵列n个得到；以通过回转中心点O与齿顶圆弧圆心的直线为第一型线的对称轴；齿根圆弧包络线处直线修型与齿根圆弧包络线处直线修型相对于对称轴对称；齿根圆弧包络线与齿根圆弧包络线相对于对称轴对称；本发明可有效地减少齿顶处的应力集中现象，具有较高的强度。
一种转子

[发明专利]一种真空干泵转子型线-CN202211662639.7在审
发明人：王光玉;孔祥玲;李昌龙;刘云鹏;徐静怡;周亚芹;麻方宇;彭阳;杜添贺;于录 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： F04C23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空干泵转子型线，包括腔体，所述腔体的内部设置有主动转子结构和从动转子结构，所述主动转子结构和从动转子结构均包括有一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子，所述一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽和径向排粉槽。本发明可以有效地防止粉尘残留存积在转子间径向间隙处，转子与腔体径向间隙处，转子和腔体轴向间隙处，提高灰尘排出效果，可以有效地防止粉尘量积累到一定程度时，由于粉尘的挤压作用，会使得转子间及转子和腔体间间隙发生变化，造成真空干泵的机械剐蹭，导致真空干泵故障停机。
一种真空转子

[发明专利]一种真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备及其检测方法-CN202211681851.8在审
发明人：孔祥玲;毕德龙;王云;杨帆;刘在行;杨士威;刘云鹏;王冰冰 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备，包括检测机构、控制机构和终端系统，所述检测机构用于对轴封唇的气密封进行检测，所述控制机构用于控制和监测检测机构检测过程中的气压大小、气体流速和温度，所述终端系统用于控制检测机构和控制机构、数据传输记录和报警急停，所述检测机构包括有加热底座、中负荷体、轴封环、封板、工装轴、电机定子和电机转子，加热底座上设置有若干个安装孔。本发明对真空泵用轴封的轴封唇气密性地检测准确，检测中轴封模拟工作状态，避免由于轴封唇气密性问题引起的泵腔粉尘泄露至油腔或油腔的油进入泵腔的情况，从而降低由于这方面的问题对真空泵性能及寿命的影响，提高整个产品的可靠性。
一种真空泵轴封气密性检测设备及其方法

[发明专利]一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统及其水冷方法-CN202211673395.2在审
发明人：王光玉;孔祥玲;麻方宇;郭丽娟;刘云鹏;周亚芹;彭阳;杜添贺;于录 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F04C19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统，包括干式真空泵系统和多级水冷温控组件，所述干式真空泵系统包括有罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱，所述多级水冷温控组件用于分别检测控制罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱的温度。本发明通过多水路电磁阀根据腔体温度实时反馈，精准控温，将干式真空泵各压力段温度控制在标准范围内，确保工艺气体不会因为温度过低而凝结，不会因为温度过高而腐蚀零件，同时对需要控温的水路支路增加电磁阀，精准控温，不需要控温的水路支路，不安装电磁阀，可使电机变频器等零件保持低温，延长电控零部件寿命，也降低成本，整体设计延长干式真空泵使用寿命，避免干式真空泵过早失效。
一种多级真空泵循环水冷系统及其方法

[发明专利]一种用于干式真空泵的耐腐蚀性高的新型消音器及其消音方法-CN202211681856.0在审
发明人：孔祥玲;王光玉;周亚芹;刘在行;麻方宇;毕德龙;杨士威;刘云鹏;彭阳;杜添贺;于录 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： F16K17/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于干式真空泵的耐腐蚀性高的新型消音器，包括消音器主体，所述消音器主体的内部设置有用于进气和排气的导气腔，所述消音器主体上在导气腔的内部设置有阀板组件，所述消音器主体的两端均设置有用于连接进气管和排气管的连接组件，所述阀板组件包括有导向柱和PTFE阀板，所述导向柱的下端与消音器主体之间通过支架连接。本发明在关闭干式真空泵后，能在一定时间内防止气体倒流，消音效果好，并且可以防止消音器受气体腐蚀导致功能丧失，同时与桶状结构的消音器相比，其体积小，对空间需求低，可适用的场合较广，另外由于其易于实现的特点，成本也很低，避免了桶状结构消音器由于复杂管路结构与焊接带来的高成本付出。
一种用于真空泵腐蚀性新型消音器及其消音方法

[发明专利]一种干式真空泵水冷变频器安全结构-CN202211663283.9在审
发明人：毕德龙;王光玉;孔祥玲;刘在行;宋得雪;张军;郭丽娟;缪瑀;张佳崎 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H02M1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板和水冷层，所述主板的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层，所述隐蔽层远离主板一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区，所述水冷层设置在主板的下端，所述水冷层包括有水冷散热器、进水管和排水管。本发明确保了变频器的电气安全，实现真空泵的小型化，水冷变频器底部的水冷散热器可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果，水冷变频器通过线缆和开孔之间的橡胶圈进行了防水，端盖可以防止意外的泵内漏水飞溅。
一种真空泵水冷变频器安全结构

[发明专利]一种干式真空泵轴承自动压装机-CN202211672945.9在审
发明人：王光玉;陈路;李昌龙;刘在行;马佳富;宋澄;祝子浩 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B23P19/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种干式真空泵轴承自动压装机，包括支撑座、压装驱动机构和压装机构，所述支撑座上端的一侧设置有安装台，所述压装驱动机构设置在安装台的上端面上，所述压装机构设置在压装驱动机构上端的一侧，所述压装驱动机构包括有X轴驱动组件、Z轴驱动组件和Y轴驱动组件，所述X轴驱动组件设置在安装台的上端面上。本发明能够在XYZ三个方向进行自由移动，精准地控制轴承运动到不同的位置，可以很好地应用于一个工件上需要多个轴承的工况，同时监测装配过程中的安装压力，安装压力可以精准控制，更加符合干式真空泵高精度需求，并且操作人员在操作时，将停止工作，感应不到操作人员时，即可以进行自动安装，提高了装配过程中的安全性。
一种真空泵轴承自动装机

[发明专利]一种干式真空泵散热系统-CN202111619190.1有效
发明人：毕德龙;王云;杨帆;刘云鹏;麻方宇 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H02K9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种干式真空泵散热系统，涉及真空泵的技术领域，包括真空泵的电机，所述电机的外壁设置有散热片，所述散热片的中心轴位置设置有主轴，所述电机的外壁安装有散热组件，所述电机的尾部安装有保护壳，所述保护壳的内部设置有扇叶组件和滤网组件。本一种干式真空泵散热系统，通过凸轮旋转带动按压杆旋转，使按压杆配合第二弹簧带动刷杆上下移动，进而带动毛刷摆动，更好的对滤网表面进行清洁。
一种真空泵散热系统

[发明专利]一种罗茨真空泵润滑结构-CN202111627054.7有效
发明人：李昌龙;王云;毕德龙;徐静怡;费贤 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： F04C29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种罗茨真空泵润滑结构，涉及真空泵的技术领域，包括真空泵的泵体，所述泵体的一侧设置有壳体，所述壳体的内部设置有两组转轴，两组所述转轴的一端贯穿泵体并安装有扇叶，两个所述转轴的一端安装有轴承和配合轴承使用的注油装置；所述注油装置包括两个吸油盘和套设于轴承外部的浸油盒，两个所述吸油盘的下端均安装有抽油组件，两个所述吸油盘的上端均设置有导油管，所述导油管贯穿壳体并延伸至外部，延伸至外部的两个所述导油管之间设置有过滤组件。本发明，通过散热组件中的第一扇叶的旋转，加速空气的流动，从而对散热片进行散热，进而降低润滑油的温度，保护轴承的使用。
一种真空泵润滑结构

[发明专利]一种干式真空泵冷却系统-CN202111595538.8有效
发明人：孔祥玲;杨帆;王云;钟瑞;李鹏明 -专利权人： 中科仪（南通）半导体设备有限责任公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： F04B39/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种干式真空泵冷却系统，涉及真空泵冷却技术领域，包括底座和从左到右依次设置于底座顶部的泵体、电机与循环冷却装置，泵体通过电机驱动，循环冷却装置中的冷却管分别设置于电机外壳和泵体的出气口处，电机右侧的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第一开启装置，泵体右上方的冷却管中设置有用于控制冷却水开启的第二开启装置。在本发明中，通过电机和泵体具体的热量情况，分别开启第一开启装置和第二开启装置中的阀门，自动控制电机和泵体所需冷却液的流量；且在阀门开启的同时带动水流检测机构，使得操作者实时监测电机和泵体所用冷却液具体的流量情况，避免出现缺少冷却液工作的现象。
一种真空泵冷却系统

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