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[发明专利]一种新型极高真空离子泵的离子流高精测量装置与方法-CN202310275137.7在审
发明人：叶琳琳;赵崇凌;汪良;袁方;佟雷;郭东民 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明属于极高真空离子泵领域，具体说是一种新型极高真空离子泵的离子流高精测量装置与方法。所述装置包括：信号采集单元，用于采集离子泵内离子流信号；信号处理单元，用于对采样到的信号进行提取与放大；信号转换单元，用于对处理后的信号进行模数转换；数据处理与显示单元，用于对转换后的信号进行处理与显示。本发明可以准确测量离子泵内离子流大小，并能够根据离子流大小准确反映离子泵内部真空度，从而可以替代真空计，非常适用于超高真空或极高真空系统。
一种新型极高真空离子流高精测量装置方法

[发明专利]一种机械手-CN201711326689.7有效
发明人：白印;冯彬;鲁向群;雷震霖;郭东民 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜实验设备技术领域，具体的说是一种机械手。包括磁力传递杆、驱动手柄及夹持机构，其中驱动手柄安装在磁力传递杆的一端，通过磁力耦合可驱动磁力传递杆沿其旋转轴线方向直线移动并可绕其旋转轴线方向转动，夹持机构安装在磁力传递杆的另一端，通过磁力传递杆的转动来控制夹持机构的张开和闭合，进而可以实现对样品的释放和抓取。本发明结构简单，动作稳定可靠，传递行程可调，在低、高真空环境都可以使用，应用范围广。
一种机械手

[实用新型]一种变电运行设备维护用检修梯-CN202021887572.3有效
发明人： 郭东民;高春胜;崔福宏;毕成;徐鹏;张曦炜;唐旭 -专利权人： 郭东民
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： E06C1/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种变电运行设备维护用检修梯，包括检修梯竖管，所述检修梯竖管的表面固定连接有检修梯横杆，所述检修梯竖管的表面固定连接有竖杆绝缘橡胶，所述检修梯横杆的表面固定连接有横杆绝缘橡胶，所述竖杆绝缘橡胶的表面活动连接有便携支撑装置与限高标，所述便携支撑装置包括支撑半管，所述支撑半管的表面与竖杆绝缘橡胶的表面搭接，所述支撑半管的表面通过合页活动连接有翻盖半管，所述翻盖半管的表面固定连接有半管固定板，所述半管固定板的表面螺纹连接有半管固定螺丝。该变电运行设备维护用检修梯，通过翻盖半管、支撑半管、检修梯支撑杆、弹性橡胶块、活动支撑套和弹性橡胶块，从而达到了强化检修梯安全系数的效果。
一种变电运行设备维护检修

[发明专利]金属压铸机及其水冷同轴电极-CN201611239547.2有效
发明人：王宏宇;张旭民;牟小龙;徐雷;黄晓霞;张国栋;郭东民;吕文强 -专利权人：张斌;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： B22D17/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种水冷同轴电极。水冷同轴电极包括：电极组件，电极组件包括内电极和外电极，其中，内电极与外电极同轴地置于外电极内部并与外电极绝缘地间隔开；感应线圈，感应线圈的两端分别连接于外电极的输出端和内电极的输出端；旋转机构，旋转机构与电极组件关联并用于驱动电极组件一起围绕第一轴线旋转；以及摆动机构，摆动机构与电极组件关联并用于驱动电极组件和旋转机构一起围绕第二轴线旋转，其中第一轴线与第二轴线垂直。本发明的水冷同轴电极既可旋转又可摆动，且机构运行可靠。
金属压铸机及其水冷同轴电极

[实用新型]金属压铸机及其水冷同轴电极-CN201621463812.0有效
发明人：王宏宇;张旭民;牟小龙;徐雷;黄晓霞;张国栋;郭东民;吕文强 -专利权人：张斌;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： B22D17/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水冷同轴电极。水冷同轴电极包括电极组件，电极组件包括内电极和外电极，其中，内电极与外电极同轴地置于外电极内部并与外电极绝缘地间隔开；感应线圈，感应线圈的两端分别连接于外电极的输出端和内电极的输出端；旋转机构，旋转机构与电极组件关联并用于驱动电极组件一起围绕第一轴线旋转；以及摆动机构，摆动机构与电极组件关联并用于驱动电极组件和旋转机构一起围绕第二轴线旋转，其中第一轴线与第二轴线垂直。本实用新型的水冷同轴电极即可旋转又可摆动，且机构运行可靠。
金属压铸机及其水冷同轴电极

[发明专利]一种防止晶体生长过程中晶体开裂的方法-CN201410648964.7在审
发明人：余剑云;佟辉;郑伟;张学锋;赵科新;郭东民 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2014-11-14 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本发明属于晶体生长制备技术，具体的说是一种防止晶体生长过程中晶体开裂的方法。本发明在晶体生长过程中防止晶体底部大面积粘埚及生长结束后脱埚的工艺方法，采用本发明方法可以有效防止生长晶体底部大面积粘埚，晶体直径一致性好；其保证了晶体在冷却过程中与坩埚分离，处于悬空状态，减小晶体热应力，大大降低晶体开裂的概率(至少可以降低20％)，提高晶体成品率(可以达到70％)和取材率(可以达到75％)；还有利于缩短生长周期(可以缩短2天)，降低生产成本。
一种防止晶体生长过程晶体开裂方法

[发明专利]一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴-CN201110356392.1有效
发明人：黄晓霞;郭东民;佟辉;吕棋;王尧 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明属于真空设备领域，具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴，包括轴端、导水管、长轴、进出水嘴，长轴的一端设有盲孔，盲孔的开口端连接有同样内部设有盲孔的轴端，长轴及轴端的两个盲孔对接组成的空间内设有与长轴连接的导水管，导水管的一端密封抵接于长轴的盲孔底部，导水管的另一端为自由端、靠近轴端的盲孔底部，导水管与长轴的内壁之间为出水通道，导水管内为进水通道，进水通道在导水管的自由端与出水通道连通；长轴的另一端分别设有与出水通道连通的出水嘴及与进水通道连通的进水嘴。本发明的水冷轴可长期工作在高温环境中，水冷效果良好；在工作过程中不脱掉样品，拉晶过程平稳，样品成型后方便取样。
一种长期真空设备高温环境工作水冷

[发明专利]一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置-CN201110355387.9有效
发明人： 郭东民;佟辉;冯彬;李鹏;林秀清;李军义 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： B21C37/04 文献下载
摘要：本发明涉及用于高真空熔体抽拉非晶丝制备装置，具体地说是一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置，包括磁流体、真空密封法兰及抽丝辊轮，磁流体通过真空密封法兰安装在真空室内，磁流体一端的磁流体轴通过传动装置与变频电机相连、通过变频电机驱动旋转，磁流体另一端的磁流体轴上安装有抽丝辊轮；磁流体轴内部中空、设有进水管，该进水管的一端接有高速旋转水冷接头，另一端通过磁流体轴上开设的通孔与抽丝辊轮内部的水冷槽相连通，冷却水由进水管流入抽丝辊轮内，通过进水管与磁流体轴内壁之间的间隙流出，抽丝辊轮的圆周表面上设有多个不同角度的抽丝尖端。本发明在磁流体内部通过引入和排出冷却水的方式实现抽丝辊轮的水冷冷却。
一种抽拉非晶丝水冷装置

[发明专利]一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统-CN201110358042.9无效
发明人：冯彬;郭东民;佟辉;周景玉;刘丽华;张雪;戚晖 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单加热自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单加热自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布有多个安装在磁控室的下法兰上的磁控靶；所述单加热自转盘转动安装在磁控室的上盖上，单加热自转盘的一端载有基片、插入磁控室内，位于各磁控靶的上方，另一端位于上盖的上方；上盖上安装有第一电机，该第一电机驱动单加热自转盘旋转；单加热自转盘所载基片的下方设有安装在上盖上的手动基片挡板组件。本发明结构简单、控制方便、真空度高；本发明的上盖可通过电动提升机构上掀盖，便于维护和更换。
一种带有加热转盘磁控溅射系统

[发明专利]一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统-CN201110358231.6无效
发明人：冯彬;郭东民;佟辉;周景玉;刘丽华;张雪;戚晖 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有单冷却自转盘的磁控溅射系统，包括磁控室、单冷却自转盘、第一电机、手动基片挡板组件、磁控靶、机台架及真空抽气系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布有多个安装在磁控室的下法兰上的磁控靶；单冷却自转盘转动安装在磁控室的上盖上，单冷却自转盘的一端载有基片、插入磁控室内，位于各磁控靶的上方，另一端位于上盖的上方；上盖上安装有带动单冷却自转盘旋转的第一电机；单冷却自转盘所载基片的下方设有安装在上盖上的手动基片挡板组件。本发明结构简单、控制方便、真空度高；本发明的上盖可通过电动提升机构上掀盖，便于维护和更换。
一种带有冷却转盘磁控溅射系统

[发明专利]一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统-CN201110358032.5无效
发明人：冯彬;郭东民;佟辉;周景玉;刘丽华;张雪;戚晖 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜设备，具体地说是一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布有多个安装在磁控室的下法兰上的磁控靶；基片水冷加热公转台转动安装在磁控室的上盖上，基片水冷加热公转台的一端载有基片、插入磁控室内，另一端位于上盖的上方；上盖上安装有带动基片水冷加热公转台旋转的第一电机；磁控室内转动安装有电动基片挡板，其一端位于基片水冷加热公转台载有基片的一端与各磁控靶溅射端之间，另一端与安装在机台架内的第二电机相连，通过第二电机驱动旋转。本发明具有结构简单、控制方便、自动化程度高、可靠性好的优点。
一种带有水冷加热公转磁控溅射系统

[发明专利]可自锁的基片挡板组件-CN201210590798.0有效
发明人： 郭东民;刘丽华;冯彬;孙影;佟雷 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2012-12-29 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明属于镀膜技术领域，具体地说是一种可自锁的基片挡板组件。包括大基板挡板、中间轴、主动轴及驱动机构，其中大基板挡板和中间轴设置于真空腔体内，所述大基板挡板设置于中间轴的上端，中间轴的下端端部为斜面I，所述主动轴的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体内，所述主动轴与真空腔体下端的真空室大法兰转动连接，主动轴的另一端上套设有套筒，所述中间轴的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴另一端的斜面II相配合；所述主动轴通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴旋转，中间轴和主动轴通过摩擦角实现自锁。本发明把基片挡板组件的中间轴和下面主动轴通过摩擦传递转动，可实现有效自锁。
挡板组件

[实用新型]抽拉非晶丝的水冷辊轮装置-CN201120443905.8有效
发明人： 郭东民;佟辉;冯彬;李鹏;林秀清;李军义 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B21C37/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于高真空熔体抽拉非晶丝制备装置，具体地说是一种抽拉非晶丝的水冷辊轮装置，包括磁流体、真空密封法兰及抽丝辊轮，磁流体通过真空密封法兰安装在真空室内，磁流体一端的磁流体轴通过传动装置与变频电机相连、通过变频电机驱动旋转，磁流体另一端的磁流体轴上安装有抽丝辊轮；磁流体轴内部中空、设有进水管，该进水管的一端接有高速旋转水冷接头，另一端通过磁流体轴上开设的通孔与抽丝辊轮内部的水冷槽相连通，冷却水由进水管流入抽丝辊轮内，通过进水管与磁流体轴内壁之间的间隙流出，抽丝辊轮的圆周表面上设有多个不同角度的抽丝尖端。本实用新型在磁流体内部通过引入和排出冷却水的方式实现抽丝辊轮的水冷冷却。
抽拉非晶丝水冷装置

[实用新型]带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统-CN201120446641.1有效
发明人：冯彬;郭东民;佟辉;周景玉;刘丽华;张雪;戚晖 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备，具体地说是一种带有基片水冷加热公转台的磁控溅射系统，磁控室安装在机台架上、与位于机台架内的真空抽气系统相连，在磁控室内均布有多个安装在磁控室的下法兰上的磁控靶；基片水冷加热公转台转动安装在磁控室的上盖上，基片水冷加热公转台的一端载有基片、插入磁控室内，另一端位于上盖的上方；上盖上安装有带动基片水冷加热公转台旋转的第一电机；磁控室内转动安装有电动基片挡板，其一端位于基片水冷加热公转台载有基片的一端与各磁控靶溅射端之间，另一端与安装在机台架内的第二电机相连，通过第二电机驱动旋转。本实用新型具有结构简单、控制方便、自动化程度高、可靠性好的优点。
带有水冷加热公转磁控溅射系统

[实用新型]可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴-CN201120443937.8有效
发明人：黄晓霞;郭东民;佟辉;吕棋;王尧 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型属于真空设备领域，具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴，包括轴端、导水管、长轴、进出水嘴，长轴的一端设有盲孔，盲孔的开口端连接有同样内部设有盲孔的轴端，长轴及轴端的两个盲孔对接组成的空间内设有与长轴连接的导水管，导水管的一端密封抵接于长轴的盲孔底部，导水管的另一端为自由端、靠近轴端的盲孔底部，导水管与长轴的内壁之间为出水通道，导水管内为进水通道，进水通道在导水管的自由端与出水通道连通；长轴的另一端分别设有与出水通道连通的出水嘴及与进水通道连通的进水嘴。本实用新型的水冷轴可长期工作在高温环境中，水冷效果良好；在工作过程中不脱掉样品，拉晶过程平稳，样品成型后方便取样。
长期真空设备高温环境工作水冷

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