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[发明专利]一种无线无源电容式气压传感器-CN201210508579.3无效
发明人：聂萌;黄庆安;黄见秋;张聪 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-12-03 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种无线无源电容式气压传感器，包括硅衬底、外延单晶硅层、氧化层、金属层和钝化层；硅衬底中设有真空封闭腔，外延单晶硅层连接在硅衬底的顶面；位于真空封闭腔正上方的硅衬底和外延单晶硅层形成可动敏感薄膜层；氧化层连接在外延单晶硅层的顶面，氧化层中设有电容间隙腔；金属层连接在氧化层上方，金属层中设有片上电感；钝化层覆盖在金属层的外表面，钝化层和金属层中设有腐蚀透气孔；在金属层和氧化层中设有下电容极板电引出；对与下电容极板电引出和片上电感底面相连的外延单晶硅层区域进行掺杂，形成磷离子重掺杂扩散区；金属层中还设有上电容极板电引出。该气压传感器采用无线无源元件构成，具有体积小、功耗低的优点。
一种无线无源电容气压传感器

[发明专利]一种电热驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构-CN201210395413.5有效
发明人：李伟华;浦烜;周再发;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-10-17 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电热驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构，包括左移电热执行器、右移电热执行器、由左移定齿和右移定齿组成的定齿、动齿、四个第一锚区和绝缘衬底，左移电热执行器与左移定齿的一端连接，左移定齿的两端分别连接在第一锚区上，右移电热执行器与右移定齿的一端连接，右移定齿的两端分别连接在第一锚区上；左移定齿包括第一宽梁、左移梳齿、四个第一折叠梁；右移定齿包括第二宽梁、右移梳齿、四个第二折叠梁；动齿包括质量块、动齿梳齿、两个第二锚区和两个第三折叠梁；第一宽梁上设有左移止挡块，第二宽梁上设有右移止挡块。该微机电梳齿机构在电热驱动力的驱动下，调变齿间隙，使得微机电振动所产生的信号强。
一种电热驱动调变齿间隙微机梳齿机构

[发明专利]一种无源无线温、湿度集成传感器-CN201210498929.2有效
发明人：黄见秋;黄庆安;张聪 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-11-29 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： G01K7/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种无源无线温、湿度集成传感器，采用悬臂梁电容式温度传感器和叉指电容式湿度传感器，包括从下至上依次连接的半导体衬底、下介质层、下金属层、中间介质层、中间金属层、上介质层，以及位于上介质层上表面的上金属互连线和湿敏材料。本发明的悬臂电容式温度传感器-电感回路与叉指电容湿度传感器-电感回路分频工作，同时无线测量温度、湿度，可以应用于密闭环境或恶劣条件下温度、湿度两种参数的测量与采集。本发明传感器采用CMOS MEMS工艺制备，具有较好的性能和较低的成本。
一种无源无线湿度集成传感器

[发明专利]一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构-CN201210394906.7有效
发明人：李伟华;浦烜;周再发;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-10-17 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构，包括静电驱动齿、由左移定齿和右移定齿组成的定齿、动齿、第一锚区和绝缘衬底，第一锚区固定连接在绝缘衬底上；左移定齿包括第一宽梁、左移梳齿、四个沿横向弯折的第一折叠梁；右移定齿包括第二宽梁、右移梳齿、四个沿横向弯折的第二折叠梁；静电驱动齿包括梳齿和第三锚区，右移梳齿、梳齿和左移梳齿依次交替布置；动齿包括质量块、动齿梳齿、第二锚区和沿纵向弯曲的第三折叠梁，且右移梳齿、动齿梳齿和左移梳齿依次交替布置，第一宽梁上设有左移止挡块，第二宽梁上设有右移止挡块。该微机电梳齿机构在静电力的驱动下，调变齿间隙，使得微机电振动所产生的信号强。
一种静电力调变齿间隙微机梳齿机构

[实用新型]一种易于封装的磁场传感器-CN201220331381.8有效
发明人：陈洁;黄庆安;秦明 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-07-10 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种易于封装的磁场传感器，该磁场传感器包括四个悬臂梁、悬臂梁锚区、第一支撑柱、金属层、氧化硅膜层和硅膜层，悬臂梁锚区固定在第一支撑柱的顶面；四个悬臂梁呈十字形，固定在悬臂梁锚区的侧壁上；每个悬臂梁的顶面设有一圈金属线，悬臂梁锚区和第一支撑柱中设有八个连接通孔，金属层通过连接通孔与金属线连接；氧化硅膜层固定在硅膜层的顶面，金属层固定在氧化硅膜层的顶面，第一支撑柱固定在金属层的顶面；焊盘为八个，八个焊盘位于悬臂梁的外侧，焊盘和金属层之间设有第二支撑柱，第二支撑柱中设有连接孔，金属层通过连接孔与传感器的焊盘连接。该磁场传感器封装方便，能够降低引线对传感器性能的影响。
一种易于封装磁场传感器

[实用新型]基于MEMS技术的盐度检测传感器-CN201220193870.1有效
发明人： 黄庆安;韩磊;殷刚毅 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-05-03 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： G01N22/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于MEMS技术的盐度检测传感器，微波信号源（102）连接到环形电桥（101）的第一端口（1），传感电极（104）连接到环形电桥（101）的第二端口（2），第一MEMS终端式微波功率传感器（1031）和第二MEMS终端式微波功率传感器（1032）分别连接到环形电桥（101）的第三端口（3）和第四端口（4）。本实用新型解决了盐溶液中电容效应对检测的各种不利影响，并具有高的可靠性、高的重复性、优异的性能、快的响应速度、小的体积、低的生产成本等特点。
基于 mems 技术盐度检测传感器

[实用新型]一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置-CN201220255769.4有效
发明人：刘海韵;黄庆安;周再发 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-05-31 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： B81C99/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置，包括绝缘衬底和三个测试单元，每个测试单元包括磷硅玻璃层和四探针多晶硅电阻测试桥，磷硅玻璃层固定于绝缘衬底顶面；磷硅玻璃层被刻蚀成相互平行的凹槽，在凹槽间形成台阶；多晶硅电阻条爬越磷硅玻璃层上的台阶；第一测试单元中，多晶硅电阻条与笛卡尔坐标系的X轴方向平行；第二测试单元和第三测试单元中，四探针多晶硅电阻测试桥的数量均为两个，多晶硅电阻条与笛卡尔坐标系的X轴之间分别形成β1夹角和β2夹角。该在线同步测试装置利用多晶硅爬越由磷硅玻璃制造的多个台阶，通过对三组五个多晶硅电阻的测试，进而实现磷硅玻璃和多晶硅厚度的测试。
一种玻璃多晶厚度在线同步测试装置

[实用新型]基于环形电桥结构的水膜厚度检测传感器-CN201220193920.6有效
发明人： 黄庆安;韩磊;殷刚毅;丁成 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-05-03 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： G01B15/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于环形电桥结构的水膜厚度检测传感器，该传感器包括压控振荡器（101）、环形电桥（102）、微波检测器（103）和天线（104）；压控振荡器（101）的输出端与环形电桥（102）的第一端口（201）相连；天线（104）的输出端与环形电桥（102）的第四端口（204）相连；环形电桥（102）的第二端口（202）和第三端口（203）分别与微波检测器（103）的第一输入端和第二输入端相连。本实用新型还提供了一种基于环形电桥结构的水膜厚度检测方法。本实用新型的能够实现功分电路的稳定性、可靠性、一致性，从而保证水膜厚度检测传感器的一致性、可重复性、可靠性和温度稳定性，同时降低成本和复杂度。
基于环形电桥结构厚度检测传感器

[发明专利]一种易于封装的磁场传感器-CN201210236890.7有效
发明人：陈洁;黄庆安;秦明 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-07-10 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种易于封装的磁场传感器，该磁场传感器包括四个悬臂梁、悬臂梁锚区、第一支撑柱、金属层、氧化硅膜层和硅膜层，悬臂梁锚区固定在第一支撑柱的顶面；四个悬臂梁呈十字形，固定在悬臂梁锚区的侧壁上；每个悬臂梁的顶面设有一圈金属线，悬臂梁锚区和第一支撑柱中设有八个连接通孔，金属层通过连接通孔与金属线连接；氧化硅膜层固定在硅膜层的顶面，金属层固定在氧化硅膜层的顶面，第一支撑柱固定在金属层的顶面；焊盘为八个，八个焊盘位于悬臂梁的外侧，焊盘和金属层之间设有第二支撑柱，第二支撑柱中设有连接孔，金属层通过连接孔与传感器的焊盘连接。该磁场传感器封装方便，能够降低引线对传感器性能的影响。
一种易于封装磁场传感器

[发明专利]一种用于检测二维光点位置的传感器-CN201210227061.2无效
发明人：秦明;单园园;张睿;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-06-30 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于检测二维光点位置的传感器，该传感器包括半导体层、绝缘薄膜层、金属导电薄膜层、光敏电阻薄膜层、电阻薄膜层和四个大小相同的引出电极，半导体层位于最下方，绝缘薄膜层、金属导电薄膜层、光敏电阻薄膜层和电阻薄膜层从下向上依次贴合布设在半导体层的顶面，并且光敏电阻薄膜层的顶面面积和电阻薄膜层的顶面面积分别小于金属导电薄膜层的顶面面积，引出电极连接在电阻薄膜层的顶面，引出电极之间有间隙，且四个引出电极位于正方形的四条边上，且相对的两个引出电极围绕正方形的中心点相互对称。该结构的传感器可以用于检测二维光点位置，并且制造成本低廉、测量灵敏度高。
一种用于检测二维位置传感器

[发明专利]一种基于热平衡的水平传感器-CN201210227634.1无效
发明人：秦明;项天彧;周麟;陈升奇;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-06-30 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01C9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于热平衡的水平传感器，该水平传感器包括衬底、绝缘层、测温元件、加热元件和热隔离封装罩，绝缘层贴覆在衬底的上表面，测温元件、加热元件和热隔离封装罩分别固定在绝缘层的上表面，测温元件和加热元件位于热隔离封装罩内部，热隔离封装罩内部呈密封状态；测温元件为四个，测温元件位于加热元件的周边，每个测温元件到加热元件的距离相等，且相对的测温元件以加热元件为中心，相互对称，相邻的测温元件相对的端部距离均相等。该结构的水平传感器利用测得的相互正交的两组水平信息，得出物体的倾斜角度，并且该水平传感器体积小、功耗低。
一种基于平衡水平传感器

[发明专利]一种二维热膜风速风向传感器及其制备方法-CN201210225095.8有效
发明人：秦明;项天彧;陈升奇;周麟;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-06-30 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： G01P5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种二维热膜风速风向传感器，包括衬底，绝缘层，测温元件和加热元件；衬底中设有空腔，测温元件和加热元件固定在绝缘层的上表面；测温元件到加热元件的距离相等，相对的测温元件以加热元件为中心，相互对称，相邻的测温元件相对的端部距离均相等。该传感器测量风速风向的功耗小，灵敏度高。本发明还公开了一种二维热膜风速风向传感器的制备方法：取（100）晶向单晶硅片，作为衬底；在硅片内部制备一空腔；氧化硅片上表面，形成绝缘层；在绝缘层上表面，采用磁控溅射方法溅射金属，并光刻形成测温元件和加热元件。该制备方法制备的传感器，在衬底中设有空腔，降低传感器进行风速风向测量时的功耗，确保测量的准确性。
一种二维风速风向传感器及其制备方法

[发明专利]一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置-CN201210177975.2有效
发明人：刘海韵;黄庆安;周再发 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-05-31 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： B81C99/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种磷硅玻璃和多晶硅厚度的在线同步测试装置，包括绝缘衬底和三个测试单元，每个测试单元包括磷硅玻璃层和四探针多晶硅电阻测试桥，磷硅玻璃层固定于绝缘衬底顶面；磷硅玻璃层被刻蚀成相互平行的凹槽，在凹槽间形成台阶；多晶硅电阻条爬越磷硅玻璃层上的台阶；第一测试单元中，多晶硅电阻条与笛卡尔坐标系的X轴方向平行；第二测试单元和第三测试单元中，四探针多晶硅电阻测试桥的数量均为两个，多晶硅电阻条与笛卡尔坐标系的X轴之间分别形成β1夹角和β2夹角。该在线同步测试装置利用多晶硅爬越由磷硅玻璃制造的多个台阶，通过对三组五个多晶硅电阻的测试，进而实现磷硅玻璃和多晶硅厚度的测试。
一种玻璃多晶厚度在线同步测试装置

[发明专利]一种测量盐度值的数据采样处理方法-CN201210143041.7无效
发明人： 黄庆安;韩磊;殷刚毅;胡大君 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-05-10 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量盐度值的数据采样处理方法，该方法包括以下步骤：步骤1：观察输出电压的波形，确定电压大于零的区间；步骤2：对电压大于零区间的波形中最低电压重复采样m个电压值y11,y22,y33…ymm,计算最低电压平均值ym=（y11+y22+y33+…+ymm）/m；y11,y22,y33…ymm代表电压大于零区间的波形中最低电压重复采样的电压值，m为自然数。通过本发明的盐度检测模块的数据采样处理方法解决了由于采样曲线发生整体漂移导致的测量数据误差问题，提高了盐度检测模块的分辨率、一致性、重复性、稳定性和可靠性，并且具有较好的噪声抑制作用。
一种测量盐度数据采样处理方法

[发明专利]基于MEMS技术的盐度检测传感器及其检测方法-CN201210133581.7无效
发明人： 黄庆安;韩磊;殷刚毅 -专利权人：东南大学
申请日： 2012-05-03 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01N22/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于MEMS技术的盐度检测传感器，微波信号源（102）连接到环形电桥（101）的第一端口（1），传感电极（104）连接到环形电桥（101）的第二端口（2），第一MEMS终端式微波功率传感器（1031）和第二MEMS终端式微波功率传感器（1032）分别连接到环形电桥（101）的第三端口（3）和第四端口（4）。本发明还提供了一种基于MEMS技术的盐度检测方法。本发明解决了盐溶液中电容效应对检测的各种不利影响，并具有高的可靠性、高的重复性、优异的性能、快的响应速度、小的体积、低的生产成本等特点。
基于 mems 技术盐度检测传感器及其方法