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- [发明专利]一种光纤分布式流速测量方法及装置-CN202110261305.8有效
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韩博;韩聪
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辽宁省计量科学研究院
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2021-03-10
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2023-07-25
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G01P5/10
- 本发明属于光纤传感领域，公开了一种光纤分布式流速测量方法及装置。该方法根据传感器标定过程在光信号分析系统预存了每个传感器与流体介质在不同流速下的对流换热系数值和传感器间在不同流速下的换热系数值，光信号分析系统将所采集到的各传感器温度Ti、介质温度T0以及传感器加热功率代入Wi各传感器的换热方程中，每个传感器的换热方程均是以流速v为未知数且其他参数已知的等式方程，通过求解方程可得到每个传感器所在位置处的流速值。该方法克服了多个光纤热式流速传感器在彼此近距离使用时互相干扰的问题，突破了光纤热式流速传感器分布式传感的技术瓶颈，实现了高空间分辨力的分布式光纤热式流速传感。
- 一种光纤分布式流速测量方法装置
- [发明专利]一种MEMS热式流速传感器封装装置-CN202011363930.5有效
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李以贵;金敏慧;张成功;王保志
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上海应用技术大学
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2020-11-27
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2023-03-28
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G01P5/10
- 本发明涉及一种MEMS热式流速传感器封装装置，包括封装盖体、封装隔板和封装基体，所述封装盖体设有放置薄膜驱动模块的第一腔体，以及放置MEMS热式流速传感器芯片的第二腔体，所述封装隔板设有与第一腔体对应的薄膜，以及与第二腔体对应的芯片流体通孔，所述封装基体设有流体凹槽、流体进口通道和流体出口通道，所述流体凹槽包括薄膜接触部和芯片接触部，所述薄膜接触部连通流体出口通道，所述芯片接触部连通流体进口通道，所述流体出口通道的截面面积小于薄膜的面积，所述芯片接触部与芯片流体通孔连通，所述封装盖体、封装隔板和封装基体依次固定连接。与现有技术相比，灵敏度高、反应速度快、体积更小、均一性好，且可用于腐蚀性气体的检测。
- 一种mems流速传感器封装装置
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