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[发明专利]一种对硅片进行磷扩散的方法及其产品和太阳能电池-CN202110379091.4有效
发明人：李跃;何悦;宋飞飞;贾松燕;赵颖 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/223 文献下载
摘要：本发明提供了一种对硅片进行磷扩散的方法及其产品和太阳能电池。所述方法包括：1)将硅片置于容器中，将所述容器置于反应器中，通入氧化性气氛，加热反应器；2)向所述反应器中第一次通入含有磷源的气体，之后向所述反应器中第二次通入含有磷源的气体；3)升高所述反应器的温度，进行第一次推进，之后进行第二次推进；4)对所述反应器进行降温，第三次通入含有磷源的气体，之后再次降温，第四次通入含有磷源的气体；5)通入氧化性气氛，得到扩散了磷的硅片。本发明提供的磷扩散方法提升了扩散方阻及其均匀性，从而进一步提升大尺寸太阳能电池的转换效率。
一种硅片进行扩散方法及其产品太阳能电池

[发明专利]基于背面全接触钝化材料的碱抛光方法、晶硅太阳能电池及制备方法-CN202011608346.1有效
发明人：李跃;何悦;宋飞飞;贾松燕;赵颖;任勇 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于背面全接触钝化材料的碱抛光方法、晶硅太阳能电池及制备方法。所述方法包括：在去除背面的磷硅玻璃或硼硅玻璃之后进行碱抛光，所述碱抛光包括依次进行的一次碱抛光和二次碱抛光，所述一次碱抛光和二次碱抛光采用的碱液中，碱的质量分数独立地为20％～30％，所述一次碱抛光的温度为65℃～80℃，所述二次碱抛光的温度比所述一次碱抛光的温度低10℃～15℃。本发明的方法通过在去除背面的磷硅玻璃或硼硅玻璃之后进行二次碱抛光处理形成“镜面”结构，不仅可以实现背面对光的高反射率，还增加了全接触钝化材料及氮化硅膜的均匀性及致密性。
基于背面接触钝化材料抛光方法太阳能电池制备

[发明专利]一种二次扩散的选择性发射极及其制备方法和应用-CN202110835667.3有效
发明人： 贾松燕;何悦;任永伟;任勇 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种二次扩散的选择性发射极及其制备方法和应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)对选择性发射极进行一次恒温氧化，一次通入磷源后进行一次扩散推进，得到首次扩散的硅片；(2)用HF溶液对步骤(1)得到的首次扩散的硅片进行洗涤，得到去磷硅玻璃后的硅片，对所述去磷硅玻璃后的硅片进行二次恒温氧化，二次通入磷源，得到二次扩散产品；(3)对二次扩散产品经激光掺杂及刻蚀后，得到了低表面浓度的选择性发射极产品。本发明所述方法优化了因目前激光掺杂工艺的导入，扩散工序需要大量的磷源沉积于电池表面的问题，既可以匹配目前主流的激光掺杂工艺又可以达到低表面浓度从而得到更高开压和效率的选择性发射极。
一种二次扩散选择性发射极及其制备方法应用

[发明专利]一种P型钝化接触太阳能电池片的扩散方法-CN202110576511.8有效
发明人：李跃;何悦;宋飞飞;贾松燕;赵颖 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种P型钝化接触太阳能电池片的扩散方法，所述扩散方法包括先后进行的正面磷扩散与背面硼扩散；所述正面磷扩散包括依次进行的扩磷预处理、扩磷前氧化、第一次通磷源、磷推进、第一次扩磷降温、第二次通磷源、第二次扩磷降温、第三次通磷源与扩磷后氧化；所述背面硼扩散包括依次进行的扩硼预处理、扩硼升温、第一次通硼源、第一次硼推进、第一次扩硼降温、第二次通硼源、第二次硼推进、第二次扩硼降温与扩硼后氧化。本发明提供的扩散方法实现了硅片中较为均匀的方阻分布，进一步减少了硅片表面的“死层”，降低了少子的复合损失，从而延长了少子的寿命。
一种钝化接触太阳能电池扩散方法

[发明专利]太阳能电池及其制备方法-CN202110614780.9在审
发明人：任永伟;贾松燕;任勇;何悦 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本申请提供了一种太阳能电池及其制备方法，该太阳能电池包括：基底层，具有相对的正表面和背表面；正面电极，位于正表面，正面电极包括多条相互平行的副栅和多条相互平行的主栅，任意一个主栅与任意一个副栅均相交，任意一个副栅在至少相邻的两个主栅之间断开，形成正面间隙；背面电极，位于背表面，背面电极包括至少两个背电场和多个背电极，背电场与背电极相连，任意两个背电极互不连接，且背电极与主栅一一对应，相邻两个背电场不相连，形成背面间隙，背面间隙在正表面的投影覆盖对应的相邻的两个主栅之间的正面间隙。该太阳能电池解决了现有技术中太阳能电池的转换效率低的问题。
太阳能电池及其制备方法

[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法-CN202011308567.7有效
发明人： 贾松燕;何悦;任永伟 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明提供了一种太阳能电池及其制备方法。所述太阳能电池包括设有氧化铝膜的晶体硅片，以及位于所述设有氧化铝膜的晶体硅片的相对两面上的正面减反膜结构和背面钝化膜结构；所述氧化铝膜位于所述晶体硅表面；所述正面减反膜结构的折射率大于或等于2.14。该发明中利用热生长SiO、控制正面的ALD厚度、提高正面SiN膜致密性和背膜保护钝化效果，从而达到改善双面电池正向PID的目的。
一种太阳能电池及其制备方法

[实用新型]一种石墨舟-CN202022955021.2有效
发明人：任永伟;何悦;贾松燕;任勇 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟，涉及晶硅太阳能电池制造领域。该石墨舟包括石墨舟片和卡点，石墨舟片上固定贴设有硅片，硅片的底边与石墨舟片的底边成夹角设置，卡点卡接于石墨舟上且与硅片抵接，卡点上设有转动槽，工具能够插接于转动槽内旋转以带动卡点转动，卡点设有多个，多个卡点沿硅片的周向设置，以将硅片抵接固定。本实用新型通过在卡点上设置转动槽，当卡点出现磨损时，工具插接于转动槽内旋转以带动卡点转动，以将卡点与硅片抵接的磨损点转开使用卡点未磨损面对硅片继续抵接使用，延长了卡点的使用寿命；将硅片的底边与石墨舟片的底边成夹角设置，使硅片能够依靠自身重力紧贴石墨舟片，减小硅片与石墨舟片之间的间隙，提高镀膜质量。
一种石墨

[实用新型]一种电池片载具及电注入退火设备-CN202022951790.5有效
发明人：任永伟;何悦;贾松燕 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电池片载具及电注入退火设备，涉及太阳能电池制造领域。该电池片载具包括壳体，壳体内叠放有电池片组，上述电池片载具还包括导电膜和导电板，导电膜可拆卸包覆于导电板的外周，导电板设有两个，一个导电板设置于壳体内且位于电池片组的底部，另一个导电板设置于电池片组的顶部，两个导电板分别与外部电源的正负极连接。本实用新型通过在导电板外周包覆导电膜，在电池片组进行电注入的过程中，当导电膜表层发生氧化影响导电效果时，可对导电膜进行拆卸更换，十分方便，且避免了对导电板的频繁更换，节约了经济成本。
一种电池片载具注入退火设备

[发明专利]一种单晶电池的制绒方法及由其制备的单晶电池-CN202011583974.9在审
发明人： 贾松燕;何悦;任永伟 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种单晶电池的制绒方法及由其制备的单晶电池。所述制绒方法包括以下步骤：(1)抛光：将单晶硅片在碱液中进行抛光，控制所述单晶硅片的减重≤0.4g；(2)一次清洗：将步骤(1)经过抛光的单晶硅片在双氧水和碱液的混合溶液中进行清洗，然后再进行水洗；(3)制绒；(4)二次清洗；(5)三次清洗；(6)将步骤(5)经过三次清洗后的单晶硅片进行提拉和烘干，得到制绒后的单晶电池。本发明在原有的制绒工艺前，用低浓度碱液抛光硅片，再用双氧水和弱碱清洗抛光面、制绒后再对绒面进行二次修饰，达到对硅片表面的有机物和其余杂质的去除目的，避免污染带来的电池EL异常和漏电。
一种电池方法制备

[发明专利]一种PERC电池的背面钝化膜结构及其制备方法和用途-CN202011390155.2在审
发明人：任永伟;何悦;贾松燕 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明提供了一种PERC电池的背面钝化膜结构及其制备方法和用途。所述背面钝化膜结构包括依次层叠设置的氧化铝层、氧化硅层、氮氧化硅层、氮化硅层和含硅氧层。所述制备方法包括：依次在镀有氧化铝层的硅片上沉积氧化硅层、氮氧化硅层、氮化硅层和含硅氧层，得到所述PERC电池的背面钝化膜结构。本发明通过在氧化硅层和氮化硅层之间增设一层氮氧化硅层，有效的提高了背面钝化膜结构的钝化效果，同时通过对于制备过程中升温降温的调控以及沉积各个膜层时参数的协同配合，使得背面钝化膜结构的钝化效果进一步加强，还提高了光的内吸收率，实现了提升PERC电池效率的目的。
一种 perc 电池背面钝化膜结构及其制备方法用途

[发明专利]一种太阳能电池片的低压氧化工艺-CN201710829538.7有效
发明人：赵颖;郭望东;贾松燕;任永伟;董方 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2017-09-14 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片的低压氧化工艺，主要步骤包括：预处理、反应准备、氧化反应、降温退火和退舟。本发明于低压、温度低于800℃的环境下的低压氧化工艺生成的二氧化硅膜使得少数载流子的寿命得以提高，最终提高电池的短路电流和开路电压，从而改善光电转换效率，低压扩散炉与常压扩散炉相比具有压强小、气流稳定等特点，使得生成的二氧化硅膜结构更致密，更均匀，制备的二氧化硅膜具有较好的抗PID性能。
一种太阳能电池低压氧化工艺

[发明专利]一种下降漏电提升效率的多晶清洗工艺-CN201910314126.9在审
发明人： 贾松燕;任永伟;蔡万里 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及晶体硅太阳能电池技术领域，公开了一种下降漏电提升效率的多晶清洗工艺。该方法包括以下步骤：上料；制绒；水洗；碱洗；水洗；有机物的清洗；水洗；酸洗；水洗；烘干；下料送入扩散炉管。本发明在现有的制绒完成之后，再对硅片进行相应配比浓度的化学品清洗，达到对硅片表面的有机物和其余杂质的再一次清洁，从而可以提升电池片的效率和电池片的Rsh，一般效率提升在0.01~0.02%左右，Rsh可以增加50以上，最终的成品电池中漏电不良品可以下降0.3~0.4%。
漏电清洗工艺有机物电池片多晶制绒晶体硅太阳能电池化学品清洗成品电池硅片表面扩散炉管效率提升不良品硅片烘干碱洗配比上料酸洗下料清洗送入清洁

[发明专利]一种太阳能多晶电池片的镀膜工艺-CN201810780508.6在审
发明人：葛剑杰;贾松燕;任永伟;厉文斌;钱异军 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： H01L21/314 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片的镀膜工艺，主要步骤包括：进舟、反应准备、镀膜、抽真空、回压、退舟。本发明在氮化硅膜上再镀上氮氧化硅膜从而提升少子寿命，提高电池的开路电压和短路电流，从而提升电池的转化效率。氮氧化硅膜与氮化硅膜相比其性能介于氮化硅与二氧化硅之间，具有更优异的钝化效果。
氮氧化硅膜氮化硅膜镀膜工艺太阳能多晶电池片电池太阳能电池片短路电流钝化效果二氧化硅开路电压少子寿命转化效率抽真空氮化硅镀膜回压

[发明专利]一种减小异质膜组件封损的工艺-CN201810930109.3在审
发明人： 贾松燕;任永伟;郭望东;钱异军 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2018-08-15 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种异质膜太阳能电池片抗组件封损的制作方法，能够使太阳电池减反射膜折射率稳定降低至1.65‑2.05，并保证PECVD镀膜后外观颜色均匀，可以与热氧化抗PID工艺效果妥善叠加，通过抗衰减工艺，使异质膜电池组件后功率损失降低至接近普通氮化硅膜电池的水准。
异质膜太阳能电池片氮化硅膜电池组件工艺效果功率损失减反射膜外观颜色抗衰减热氧化折射率减小叠加电池制作保证

[发明专利]一种扩散快速退火方法-CN201611018548.4在审
发明人：董方;赵颖;贾松燕;任永伟;陈健生 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2016-11-18 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明公开了一种扩散快速退火方法。本发明在低于800℃进行一次通源预沉积过程，沉积过后进行有氧升温推进，且升温温度最高可达840‑880℃，此时推进的PN结较深，随后是有氧降温过程，温度降至810‑850℃，再进行二次通源，二次通源是进行快速退火的关键步骤，之后马上半开炉门，通入大量的氮气，快速降温退火，晶格得到一定程度的修复作用，但是磷源仍然需要一定的推进时间，故而关闭炉门缓慢回温至恒温状态。本发明的有益效果是进行二次通源，增加表面浓度，提高填充因子；进行晶格修复，减少热损伤，提高开路电压和短路电流，以提高电池片的转换效率，同时快速降温可以减少工艺总时间，提高工艺效率，提高产能。
一种扩散快速退火方法

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