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[发明专利]一种太阳能电池钝化的方法-CN201810285290.7有效
发明人：王永楠;陈健生;葛剑杰 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池技术领域。本发明公开了一种太阳能电池钝化的方法，其包括表面制绒、扩散制结、周边刻蚀、去磷硅玻璃清洗、表面热氧化、氢注入以及沉积减反射膜、印刷电极和烧结等步骤。本发明工艺结合了二氧化硅表面钝化和氢的体钝化优势，先在衬底硅表面热氧化生长一层二氧化硅，起到表面钝化作用，同时保护了硅表面免受后续等离子体直接轰击造成的硅表面损伤；再在二氧化硅膜表面电离氨气的方式对衬底硅材料进行氢离子注入，以提高氢注入浓度，起到体钝化作用，从而提升太阳能电池的转化效率。
一种太阳能电池钝化方法

[发明专利]一种太阳能多晶电池片的镀膜工艺-CN201810780508.6在审
发明人： 葛剑杰;贾松燕;任永伟;厉文斌;钱异军 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： H01L21/314 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片的镀膜工艺，主要步骤包括：进舟、反应准备、镀膜、抽真空、回压、退舟。本发明在氮化硅膜上再镀上氮氧化硅膜从而提升少子寿命，提高电池的开路电压和短路电流，从而提升电池的转化效率。氮氧化硅膜与氮化硅膜相比其性能介于氮化硅与二氧化硅之间，具有更优异的钝化效果。
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