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[发明专利]螺旋调制槽位置光栅及其制造方法-CN202210320846.8在审
发明人： 谢常青;赵越;胡华奎 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种螺旋调制槽位置光栅及其制造方法，该制造方法包括：提供一螺旋波带片和一调制槽位光栅；提取所述螺旋波带片的图像和所述调制槽位光栅的图像，所述螺旋波带片的图像和所述调制槽位光栅的图像尺寸相同；将所述螺旋波带片的图像和所述调制槽位光栅的图像进行逻辑异或操作，得到一螺旋槽位置光栅的图像；根据所述螺旋槽位置光栅的图像得到一螺旋槽位置光栅，所述螺旋槽位置光栅用于产生2个等强度的符号相反的拓扑荷涡旋光斑，抑制所产生的0级或高级衍射。
螺旋调制位置光栅及其制造方法

[发明专利]二维量子点阵叉型交叉光栅、光学衍射器件及其制备方法-CN202310926697.4在审
发明人：郑君;李海亮;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明涉及先进光刻器件和微纳加工技术领域，尤其是涉及一种抑制高阶衍射的二维量子点阵叉型交叉光栅、光学衍射器件及其制备方法，将基础参数相同的两正弦叉型光栅通过逻辑异或运算生成二维正弦叉型交叉光栅；将二维正弦叉型交叉光栅划分成多个矩形格子，计算每个矩形格子的平均透射率并与MATLAB中随机函数生成的随机数进行比较，进而将其转化为具有正弦透过率的二维量子点阵叉型交叉光栅。本发明经理论计算和实验验证证实了该结构的衍射特性，其仅存在四个±1耦合涡旋光束反转对称分布在中心零级光的周围，与具有三维正弦透过率函数的正弦光栅效果一致，具有抑制二维高阶衍射的效果，该衍射特性使其在成像和粒子捕获方面具有广阔的应用前景。
二维量子点阵交叉光栅光学衍射器件及其制备方法

[发明专利]结构色功能纳米结构及其制备方法-CN202310133752.4在审
发明人：史丽娜;王冲;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种结构色功能纳米结构及其制备方法，其中，该结构包括：介质衬底；位于介质衬底上的超表面结构，用于选择性的反射入射光；其中，超表面结构包括：金属膜，位于介质衬底上；介质层，位于金属膜上；金属纳米颗粒阵列，位于介质层上。
结构功能纳米及其制备方法

[发明专利]声表面波滤波器及其制备方法-CN202010643614.7有效
发明人：梁圣法;张文昌;项飞斌;牛洁斌;姚志宏;李冬梅;刘明;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：一种声表面波滤波器及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：步骤1：将带有纳米孔的过滤板置于掩模版与涂敷有电子抗蚀剂的压电衬底之间；步骤2：利用电子束曝光方法，将掩模版上的叉指电极掩模图形小孔成像转印到压电衬底的电子抗蚀剂上，在压电衬底上形成相对掩模版的叉指电极掩模图形缩小线宽尺寸的叉指电极图形；步骤3：对压电衬底的叉指电极图形外的裸露区域进行剥离或刻蚀；步骤4：去除电子抗蚀剂，在压电衬底上形成叉指电极，得到声表面波滤波器。本发明可以缩小器件的线宽，提高器件的中心频率，同时，所述制备方法可以实现器件的快速、大批量制备，降低加工成本。
表面波滤波器及其制备方法

[发明专利]基于硅纳米柱的结构色成像结构、测试系统及制备方法-CN202010256966.7有效
发明人：尚潇;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本公开提供一种基于硅纳米柱的结构色成像结构、测试系统及制备方法，所述基于硅纳米柱的结构色成像结构，包括：衬底；以及多个硅‑铬圆柱纳米结构形成的硅‑铬圆柱纳米结构阵列，位于所述衬底上，用于呈现结构色，每个所述硅‑铬圆柱纳米结构包括：硅圆柱纳米结构，以及覆于其上表面的金属掩膜铬。其能够有效缓解现有技术中结构色成像结构的饱和度低、纯净度低以及效率低等技术问题。
基于纳米结构成像测试系统制备方法

[发明专利]一种纳米阵列结构件、制备方法以及光电器件-CN202211723745.1在审
发明人：郑君;华一磊;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米阵列结构件、制备方法以及光电器件，纳米阵列结构件包括衬底；所述衬底上加工有两种阵列层，所述两种阵列层的尺寸不同，所述两层阵列孔叠加设置于所述衬底表层，构成金属辅助化学刻蚀孔阵列层。本发明提供的纳米阵列结构件具有理想的光子吸收功能，具有良好的疏水性，表面粗糙，可用于制作出抗反射能力强的光电器件，应用于半导体光电器件时可减小半导体光吸收器的尺寸，且制作方法简单、绿色环保、成本低、易于集成和制造、适合规模化量产。
一种纳米阵列结构件制备方法以及光电器件

[发明专利]一种金属氧化物场效应晶体管及其制作方法-CN201910806653.1有效
发明人：刘宇;刘明;胡媛;张凯平;张培文;路程;赵盛杰;刘琦;吕杭炳;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种金属氧化物场效应晶体管的制作方法，包括：在衬底上由下至上依次形成有绝缘层、第一电极、牺牲层、第二电极、结构层，牺牲层的厚度按照沟道的预设长度来确定；刻蚀牺牲层的边缘，使得在牺牲层的边缘以及在第一电极与第二电极之间形成横向沟槽；在横向沟槽内形成金属氧化物半导体层，使得横向沟槽形成金属氧化物的沟道；在所述沟道所在的区域形成栅电极，通过牺牲层的厚度来控制沟道长度，通过控制沟道的长度，使场效应晶体管对操作电压进行有效控制。
一种金属氧化物场效应晶体管及其制作方法

[发明专利]一种自参考存储结构和存算一体电路-CN202011077197.0有效
发明人：邢国忠;林淮;刘宇;张凯平;张康玮;吕杭炳;谢常青;刘琦;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G11C11/16 文献下载
摘要：本发明涉及存储器技术领域，尤其涉及一种自参考存储结构及存算一体电路，该自参考存储结构，包括：三个晶体管，包括：第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管；两个磁隧道结，包括：第一磁隧道结、第二磁隧道结；所述第一磁隧道结串联于所述第一晶体管与所述第二晶体管之间；所述第二磁隧道结串联于所述第二晶体管与所述第三晶体管之间；在开启第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管时，实现一位二进制信息的写入；在实现数据存储时，只需要施加单向电流即可实现一位二进制的写入，且器件在写入过程中延时低、功耗小，数据读取裕度高。
一种参考存储结构一体电路

[发明专利]一种餐饮外卖专用粉条及其制备方法-CN202211152397.7在审
发明人： 谢常青 -专利权人：四川粮之髓食品有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： A23L29/30 文献下载
摘要：本申请公开了一种餐饮外卖专用粉条，包括以下按重量份计的组分：红薯淀粉90‑100份、玉米淀粉15‑25份、木薯淀粉0‑10份以及魔芋精粉3‑6份。本申请调整红薯淀粉与玉米淀粉的比例，并适当将部分红薯淀粉用木薯淀粉代替，以获取更好的吸水、保水性能；添加魔芋精粉，利用魔芋精粉的吸水和保水性使产品的持水率可达到53%以上，魔芋精粉里面所含的膳食纤维大大改善酸辣粉的口感，使其更加软糯Q弹；此产品相较于同类产品有更强的亲水性，复水时间更短；本申请的粉条在煮熟后，整个40分钟食用期内保水率较高，含水率变化程度较小，不易坨；口感随时间加长变化较小，增加了食用体验感。
一种餐饮外卖专用粉条及其制备方法

[发明专利]微纳结构的制备方法、微纳结构、电子元器件-CN202211074853.0在审
发明人：李海亮;姚楚豪;张晓萌;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种微纳结构的制备方法，包括如下步骤：提供硅基，于硅基表面沉积具有第一预定厚度的第一金属层；于所述第一金属层上旋涂光刻胶，光刻所述光刻胶形成图案，并暴露所述第一金属层；刻蚀暴露的第一金属层以暴露硅基表面；刻蚀暴露的硅基表面形成微米结构；于所述硅基表面沉积具有第二预定厚度的第二金属层；去除光刻胶；对整片硅基于预定温度下退火，使得所述第二金属层上形成纳米孔；提供第一腐蚀液，对所述硅基与所述第二金属层相接处进行腐蚀，形成纳米结构；去除所述第一金属层、去除所述第二金属层，得到所述微纳结构。本申请在硅基上制备了微纳结构，且简单便捷，成本低廉。
结构制备方法电子元器件

[发明专利]一种防伪彩色标签及其制作方法和印刷品的制备方法-CN202110466640.1在审
发明人：王冲;史丽娜;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G09F3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种防伪彩色标签及其制作方法和印刷品的制备方法，包括：金属薄膜；位于所述金属薄膜上的纳米级介质薄膜，所述纳米级介质薄膜包括裸露所述金属薄膜的多个椭圆孔所形成的椭圆孔阵列。本发明提供的防伪彩色标签，基于表面等离激元共振原理，当纳米级介质薄膜侧接入入射光后，通过椭圆孔阵列激发表面等离激元共振产生的结构色，进而实现彩色防伪功能。本发明提供的技术方案，避免现有采用化学染料形成防伪标签的情况，不仅使得防伪彩色标签绿色环保，而且易于制作且防伪图案分辨率高。
一种防伪彩色标签及其制作方法印刷品制备方法

[发明专利]一种粉条用输送装置-CN202111364481.0有效
发明人：黄良军;谢常青;杨阳 -专利权人：四川粮之髓食品有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： B01D33/17 文献下载
摘要：本申请涉及一种粉条用输送装置，属于粉条加工技术领域，粉条用输送装置包括出料管，还包括滑动设置在出料管出口下方的接水箱以及用于驱使接水箱间歇往复滑动的驱动组件，所述接水箱的滑动方向垂直于粉条的出料方向，所述接水箱上方摆动设置有两个过滤板，所述过滤板用于承接从出料管处掉落的粉条，所述过滤板的排列方向平行于接水箱的滑动方向，所述过滤板的摆动轴线平行于接水箱的滑动方向，所述接水箱上设置有用于驱使过滤板间歇往复摆动的摆动组件，所述过滤板远离出料管的一侧开设有用于供粉条移出的开口，所述过滤板上设置有用于调节开口启闭的调节组件。本申请具有提高粉条的过滤效果，同时减少粉条之间黏在一起的优点。
一种粉条输送装置

[发明专利]存储单元及其制备方法、存储器和信息存储方法-CN202210822939.0在审
发明人：邢国忠;张昊;赵雪峰;王紫崴;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G11C19/08 文献下载
摘要：本公开提供了一种存储单元及其制备方法、存储器和信息存储方法。上述存储单元包括压电衬底层，其两端分别设有第一电极和第二电极，通过对第一电极和第二电极施加电压来实现对斯格明子的无电流驱动；磁性层，位于压电衬底层的表面，与压电衬底层形成异质结，用于生成、稳定和作为斯格明子运动的基本载体；其中，磁性层包括凸状体，该凸状体将磁性层分割为比特区和存储区，比特区内设有用以执行斯格明子的产生与探测功能的磁性隧道结。
存储单元及其制备方法存储器信息

[发明专利]自旋轨道矩磁随机存储单元、阵列及汉明距离计算方法-CN202110084777.0有效
发明人：邢国忠;林淮;王迪;刘龙;张锋;谢常青;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G11C11/16 文献下载
摘要：本公开提供了一种自旋轨道矩磁随机存储单元、阵列及汉明距离计算方法，其自旋轨道矩磁随机存储单元包括：磁隧道结、第一晶体管和第二晶体管，第一晶体管的漏极端与磁隧道结的底部连接，第二晶体管的漏极端与磁隧道结的顶部连接。本公开在全电场条件下实现无外磁场确定性自旋磁化翻转，同时具有利用非极性电流控制阻态变化的特性，自旋轨道矩磁随机存储单元构成的阵列可在外围电路控制下，实现存算一体的异或逻辑，进而可用于可重构高并行计算的硬件实现中，如存内的汉明权重以及汉明距离运算。
自旋轨道随机存储单元阵列距离计算方法

[发明专利]一种制备纳米图形的方法-CN202210667493.9在审
发明人：张凯平;刘宇;赵盛杰;路程;张培文;李海亮;胡媛;谢常青;李泠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备纳米图形的方法，属于纳米图形技术领域，解决了现有的纳米图形制备方法需要昂贵的设备投入和复杂的工艺要求的问题。所述方法包括：在衬底上涂覆牺牲层，在牺牲层上涂覆光刻胶层；在产品上制备微米级图形，通过控制显影时间把牺牲层的缺陷控制到纳米级；在图形化好的产品上斜入射整层生长所需要的材料，使生长的材料能够进入牺牲层的缺陷处；材料生长结束后，去除在牺牲层缺陷处之外生长的材料；剥离掉光刻胶层和牺牲层，形成纳米图形。本发明的方法避免了昂贵的设备投入和复杂的工艺要求，制备条件简单、成本低，不需要复杂的设备，易于操作，适用于规模化产业应用制作大面积纳米图形。
一种制备纳米图形方法

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