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[实用新型]一种高精度晶圆载台载盘-CN202123412103.3有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种高精度晶圆载台陶瓷载盘，所述载盘上端设置多孔陶瓷层；所述载盘下表面设置至少一个环形的载盘真空通道，所述载盘下表面位于所述载盘真空通道的中心区域还设置载盘真空气腔。相对于现有技术，载盘上表面采用多孔陶瓷精度高吸附性好。所述真空通道使得所述基座和载盘之间紧密连接。基座和载盘通过真空吸附固定、加工其他尺寸晶圆只需更换对应载盘，而且更换载盘方便。本实用新型的载盘的载盘真空通道设置均布的主气路和分支气路；每个主气路都连通各自的真空管路。另外，本实用新型中主气路的深度大于分支气路的深度，在相同的时间内，主气路和分支气路内产生的负压大致相等或者差值变小。吸附过程中，所述载盘位置稳定，精度高。
一种高精度晶圆载台载盘

[实用新型]一种易换型高精度晶圆载台-CN202123412079.3有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种易换型高精度硅晶圆载台，所述载台包括在基座以及通过真空吸附设置在所述基座上的载盘，所述基座和载盘之间通过定位销定位；所述载台内设置至少一个环形的用于吸附所述基座和所述载盘的真空通道。相对于现有技术，载盘上表面采用多孔陶瓷精度高吸附性好。基座和载盘通过真空吸附固定、加工其他尺寸晶圆只需更换对应载盘，而且更换载盘方便。本实用新型的载盘的载盘真空通道设置均布的主气路和分支气路；每个主气路都连通各自的真空管路。另外，本实用新型中主气路的深度大于分支气路的深度，在相同的时间内，主气路和分支气路内产生的负压大致相等或者差值变小。吸附过程中，所述载盘位置稳定，精度高。
一种换型高精度晶圆载台

[实用新型]一种气浮轨道装置-CN202220236075.X有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气浮轨道装置，包括：大理石基体，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合，大理石基座的两侧均设置有磁性材料；气浮侧板上设置有与磁性材料高度相对应的第一磁铁，磁铁的下方设置有侧板气浮平板轴承，横梁安装座上表面设置有横梁安装槽，横梁安装座底部设置有安装板气浮平板轴承，气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，横梁安装座在在受到重力与气浮力之间保持平衡。本实用新型的气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，在运行过程中，通过正压与负压之间配合能够平稳的运行。
一种轨道装置

[实用新型]晶圆裂片贴膜机构-CN202220236880.2有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆裂片贴膜机构，包括：安装在机架上的移动伺服模组、移动吸附底座和移动吸附装置，移动吸附底座安装在移动伺服模组上下移动的组件中，移动吸附装置安装在移动吸附底座上，移动吸附装置包括移动吸附直线轴承、移动吸附负压源和移动吸附固定位吸盘，移动吸附直线轴承包括移动吸附直线轴承套和移动吸附直线轴承轴，移动吸附直线轴承套固定在移动吸附底座上，移动吸附直线轴承轴穿过移动吸附直线轴承套，移动吸附直线轴承轴顶部设置有移动吸附限位块，底部连接有移动吸附固定位吸盘，移动吸附负压源通过移动吸附气道与移动吸附固定位吸盘连接。
裂片机构

[实用新型]晶圆裂片移膜机构-CN202220236943.4有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆裂片移膜机构，所述晶圆移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着PE膜移动。上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。本实用新型公开了一种晶圆裂片移膜机构，贴膜机构通过移动吸附装置将切割完成后的PE膜贴在晶圆上，并且贴膜机构中的辊压机构能够将PE膜贴的更加牢固。
裂片机构

[实用新型]一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置-CN202222629874.6有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B65B69/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，属于晶圆生产技术领域，包括底座，所述底座的上方连接有用于对晶圆位置限定的定位座，所述底座的一侧连接有滑动板，所述滑动板前后滑动在底座上，所述底座与滑动板之间设置有连接在滑动板上的活动板，所述活动板的一侧连接有安装架，所述安装架的上连接有用于实现对晶圆撕膜和贴膜的处理机构，所述处理机构位于定位座的上方；本实用新型撕膜辊与定位座上晶圆先接触对其撕膜，随后膜辊上的膜体经过压膜辊贴在晶圆上，从而完成对晶圆的撕膜贴膜操作，实现对晶圆一体化加工，避免了对晶圆撕膜贴膜需要两个步骤实现的情况，节约了大量时间，有效的提高了对晶圆加工的工作效率。
一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置

[实用新型]一种晶圆覆膜切割机-CN202222418699.6有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B26D7/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆覆膜切割机，属于晶圆覆膜技术领域，一种晶圆覆膜切割机，包括机架，所述机架的侧面上设置有用于装纳保护膜边角料的容纳箱，所述容纳箱内设置有用于将容纳箱内的保护膜边角料向容纳箱内底部按压的压板，所述压板的侧面上间隔开设有两条滑槽，所述滑槽上滑动装配有封口板，当容纳箱内的保护膜边角料与压板朝向容纳箱内底部的侧面接触时，工作人员把固定杆从固定孔内拉出，把压板向下按压，然后再将固定杆插入至靠近容纳箱底部的固定孔内，随后，将另外一个压板固定在容纳箱的箱口处，以此循环，这样就可以使容纳箱容纳更多的保护膜边角料，而且不用频繁的去倒保护膜边角料，节约了工作人员的时间，进而提高了工作效率。
一种晶圆覆膜切割机

[实用新型]一种全自动晶圆劈裂机-CN202222320736.X有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种全自动晶圆劈裂机，属于劈裂机技术领域，一种全自动晶圆劈裂机，包括矩形底座和设置在矩形底座上的机体，矩形底座的侧面上分别开设有安装槽，安装槽的数量为四个，四个安装槽两两对称布置，安装槽内插接有呈L形的承载板，安装槽的槽底上设置有磁铁，承载板朝向安装槽槽底的侧面上设置有铁板，工作人员可以把承载板从安装槽内拉出，使用固定螺栓对承载板进行固定，然后将第一防尘框套在机体上，并放置在承载板上，随后依次套入第二防尘框，将第一插接柱插入至第一插孔内，依次保证第二防尘框能够稳定的放置在第一防尘框上，随后框盖通过第二插接柱和第二插孔放置在第二防尘框上，这样就实现了对机体防尘的目的。
一种全自动劈裂

[发明专利]煤炭样品中挥发分的快速检测方法-CN202210492081.6在审
发明人：徐彦霞;蔡正道;李建敏 -专利权人：山东腾翔产品质量检测有限公司
申请日： 2022-05-07 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01N5/04 文献下载
摘要：本发明涉及煤炭分析检测技术领域，尤其涉及煤炭样品中挥发分的快速检测方法；本发明不需要昂贵的仪器设备，其过程简单，所耗费的时间也短，具有快速、操作简单、检测成本低、不需要昂贵检测仪器，并且具有检测快速的特点，节约了成本，提高了效率，能够满足当前检测的需求，方便快捷。
煤炭样品挥发快速检测方法

[实用新型]一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机-CN202222007719.0有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机，属于UV解胶机技术领域，包括：机箱，所述机箱的侧壁上开设有滑孔和放置孔，所述放置孔位于滑孔的下方；光源机构，所述光源机构设置于机箱内，所述光源机构用于提供光源；防尘放置机构，所述防尘放置机构通过滑孔滑动设置于机箱内，所述防尘放置机构包括穿过滑孔且与机箱的内侧壁滑动连接的防尘组件、设置于所述防尘组件上且用于承载晶圆的防尘支撑组件，所述防尘组件和防尘支撑组件均透光。本实用新型结构简单，使用方便，防尘放置机构滑动设置于光源机构的上方，既便于对晶圆进行取放，又具备良好的防尘效果。
一种带有防尘双层玻璃 uv 解胶机

[实用新型]一种紫外灯调节便捷的晶圆UV解胶机-CN202222008065.3有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种紫外灯调节便捷的晶圆UV解胶机，属于UV解胶机技术领域，包括：机箱，所述机箱的侧壁上开设有滑孔和放置孔，所述放置孔位于滑孔的下方；晶圆放置机构，所述晶圆放置机构通过滑孔滑动设置于机箱内，所述晶圆放置机构用于承载晶圆；光源机构，所述光源机构设置于机箱内，所述光源机构位于晶圆放置机构的下方，所述光源机构包括设置于机箱内底部的支架、均匀设置于支架顶部且高度可调的若干调节支撑杆、设置于调节支撑杆顶部的紫外灯。本实用新型结构简单，使用方便，设置晶圆放置机构，便于对晶圆进行取放，设置光源机构，能够通过改变调节支撑杆的高度，进而达到调节紫外灯与晶圆之间的距离的目的，提高工作效率，实用性更强。
一种紫外调节便捷 uv 解胶机

[实用新型]一种新型硅晶圆激光切割加持用夹具结构-CN202221340165.X有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新型硅晶圆激光切割加持用夹具结构，属于半导体制造技术领域，包括工作台以及工作台上设置的滑槽，所述滑槽内设置螺纹杆，所述螺纹杆上设置两个滑块，所述滑块通过设置螺纹孔与螺纹杆相连接，所述工作台侧边设置驱动电机，所述驱动电机的输出轴与螺纹杆端部相连接，两个所述滑块上分别设置第一固定块与第二固定块，所述第一固定块与第二固定块上分别通过轴承设置第一转杆与第二转杆，所述第一转杆与第二转杆上均设置支撑块，所述支撑块上均设置限位机构，所述限位块上设置夹持机构；本实用新型可以将晶圆放置在两个夹板之间，然后控制驱动电机工作就能够使得夹持机构对晶圆进行夹持，摇动摇柄就能够使得晶圆的角度发生改变。
一种新型硅晶圆激光切割加持用夹具结构

[实用新型]一种带有拆装便捷的玻璃托盘的晶圆UV解胶机-CN202222007718.6有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带有拆装便捷的玻璃托盘的晶圆UV解胶机，属于UV解胶机技术领域，包括：机箱，机箱的侧壁上开设有滑孔和放置孔，放置孔位于滑孔的下方；光源机构，光源机构设置于机箱内，光源机构用于提供光源；放置机构，放置机构穿过滑孔滑动设置于机箱内，放置机构包括穿过滑孔且与机箱内侧壁滑动连接的边框、与边框的内侧壁固定连接的滑板、开设于滑板顶部且用于放置晶圆的放置槽、开设于放置槽底部的通孔、与通孔的内环周侧壁可拆卸连接的玻璃板。放置机构包括边框、滑板、放置槽、通孔和玻璃板，玻璃板与通孔的内环周侧壁可拆卸连接，便于对玻璃板进行更换、清理，晶圆放置在放置槽内，边框的存在进一步防止晶圆滑落，更加安全、可靠。
一种带有拆装便捷玻璃托盘 uv 解胶机

[实用新型]一种晶圆裂片机-CN202221340164.5有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆裂片机，属于半导体制造技术领域，包括支撑板，所述支撑板上设置第一滑槽，所述第一滑槽内设置螺纹杆，所述第一滑槽内设置第一滑块，所述第一滑块通过螺纹孔与螺纹杆相连接，所述支撑板端部设置步进电机，所述步进电机的输出轴与螺纹杆端部相连接，所述第一滑块上对应晶圆设置夹持机构，所述支撑板侧边设置固定块，所述固定块上设置切割机构；本实用新型可以将切割后的晶圆沿着划痕进行切割，并且切割的过程中压辊能够和夹持机构能够对晶圆进行限位和固定，从而使得切割机构上的切割刀能够准确的接触到晶圆的划痕上。
一种裂片

[实用新型]一种晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒-CN202221368568.5有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆激光low‑k设备涂胶机构转动套筒，属于晶圆加工技术领域，包括直线导轨，所述直线导轨安装在喷涂机构直线轴承套筒内；升降直线轴承安装座，升降直线轴承安装座通过螺栓封闭喷涂机构直线轴承套筒的一端；本实用新型外形流线，不易残留水；对轴升降过程中有足够的导向长度；多种组合密封方式：往复运动密封圈、旋转密封圈以及底座密封圈，按照从上向下往复运动密封、旋转密封的方式，升降过程中往复运动密封将外界粉尘隔离，旋转密封在高度洁净区域工作有效减小粉尘对旋转件的磨损，可增大设备的使用寿命，可有效的防止粉尘和水雾进入旋转套筒内部以及从清洗仓中泄露至设备其他位置。
一种激光 low 设备涂胶机构转动套筒

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