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- [发明专利]晶圆劈裂检知方法-CN201210196421.7有效
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张振昌;赵祐成
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竑腾科技股份有限公司
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2012-06-14
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2013-04-17
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H01L21/66
- 本发明是关于一种晶圆劈裂检知方法，主要是于晶圆劈裂前由影像撷取器撷取承载台劈裂空间处的晶圆待劈裂切割道及其两侧区域影像，于晶圆劈裂作用时间区段撷取该承载台劈裂空间处的晶圆劈裂切割道及其两侧的影像，再由计算机以明暗灰阶比对手段分析所撷取晶圆劈裂前与劈裂时的晶圆劈裂切割道及劈裂切割道两侧区域影像的明暗灰阶度差异比值判断晶圆是否完整被劈裂，或由计算机以明暗灰阶比对手段分析晶圆劈裂作用时间区段的劈裂切割道两侧区域影像的明暗灰阶度差异比值判断晶圆是否完整被劈裂，提高判断自动化检知晶圆是否被完全劈裂的精确度。
- 劈裂方法
- [发明专利]避免产生双晶的晶圆劈裂方法-CN201110071121.1无效
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陈孟端
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正恩科技有限公司
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2011-03-23
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2012-09-26
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H01L21/78
- 本发明为一种避免产生双晶的晶圆劈裂方法，其步骤包含预备一待劈裂的晶圆与预备一劈裂装置，该晶圆上设有多个供该劈裂装置劈断且垂直相交的激光切割线，该劈裂装置包含一劈刀、一工作台与两个相对移动的劈裂台，该晶圆置于该工作台与该两个劈裂台上，该劈刀正对该两个劈裂台的间隙；接着为执行劈裂作业，通过该劈刀对该激光切割线进行劈裂动作，且在该劈刀对该多个激光切割线的任一个劈裂后，使该劈裂装置选择是否改变该两个劈裂台的间隙；据而该劈刀每次劈裂时，皆可依据劈裂的顺序而设定改变该两个劈裂台的间隙
- 避免产生双晶劈裂方法
- [发明专利]球形劈裂装置-CN201510566683.1有效
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段中红;韩晓翠;曹喜平;康建;梁旭东
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圆融光电科技股份有限公司
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2015-09-08
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2017-12-26
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H01L21/78
- 本发明提供一种球形劈裂装置，包括机械臂，与所述机械臂同轴设置的凹面劈裂受台、球形劈裂刀和旋转轴；所述凹面劈裂受台为凹面向上的凹面体，所述凹面用于放置晶圆片COW；所述球形劈裂刀设置在所述凹面劈裂受台的正上方，所述球形劈裂刀的球形外表面设置有劈裂齿；所述旋转轴固定在所述球形劈裂刀的轴心，用于带动所述球形劈裂刀绕所述轴心旋转；所述机械臂固定在所述球形劈裂刀的上方，用于带动所述球形劈裂刀上下移动。本发明提供的球形劈裂装置，可以同时将多行X方向和Y方向上的未完全分开的晶粒完全分开，提高了裂片效率。
- 球形劈裂装置
- [发明专利]一种机载劈裂系统及其位置调节装置-CN201010269506.4无效
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方莹
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方莹
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2010-08-31
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2011-04-06
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E21C37/12
- 本发明公开了一种机载劈裂系统及其位置调节装置。其机载劈裂机通过位置调节装置设置在机械臂上。该机载劈裂机的位置调节装置包括：使机载劈裂机直线运动的进给单元，以及调整机载劈裂机角度的角度调节单元；机载劈裂机通过进给单元与所述角度调节单元连接，并最终通过角度调节单元安装至机械臂。采用了本发明技术方案一种机载劈裂机的位置调节装置的机载劈裂系统，操作者通过操作机械臂将机载劈裂机举送到预设孔洞附近大致位置之后，可通过机载劈裂机的位置调节装置来调整机载劈裂机的位置，使其对准预设孔洞；对准之后无需通过机械臂将机载劈裂机插入孔洞中，而是通过机载劈裂机的位置调节装置将机载劈裂机插入孔洞中，因而降低了操作难度。
- 一种机载劈裂系统及其位置调节装置
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