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[实用新型]一种晶圆裂片检验机-CN202221591918.4有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B07C5/38 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆裂片检验机，属于检验机技术领域，一种晶圆裂片检验机，包括机架，所述机架的一侧设置有用于对合格的晶圆裂片进行存放的存放机构，所述机架的另一侧设置有用于对不合格的晶圆裂片进行回收的回收机构，当检验人员使用检验机对晶圆裂片进行检验时，检验人员可以通过支撑杆对存放板进行固定，用来放置合格的晶圆裂片，通过伸缩杆将安装板撑起，并将回收桶放置在安装孔内，用来回收不合格的晶圆裂片，这样就将合格的裂片和不合格的裂片完全的分开了，不会出现部分混合的情况，并且检验人员将不合格的裂片放置在回收桶内后可以直接进行回收处理，节约了检验人员再次将不合格的裂片进行回收处理的时间。
一种裂片检验

[发明专利]全自动晶圆覆膜机-CN202210105488.9在审
发明人：鲍占林;闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动晶圆覆膜机，包括：机台架、复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统、晶圆贴膜系统、多功能机器人系统和供料系统，所述复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统设置在机台架的纵向侧壁上，晶圆贴膜系统设置在机台架的水平架上，并处于复合膜放膜系统和收余料系统之间，多功能机器人系统包括六轴机械臂和固定在六轴机械臂上的多功能机械手，通过转到六轴机械臂，多功能机械手将晶圆由供料系统运送到晶圆贴膜系统，并对贴完PE膜的晶圆进行切割。
全自动晶圆覆膜机

[实用新型]一种晶圆加工用涂胶装置-CN202220848311.3有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆加工用涂胶装置，属于晶圆加工设备技术领域，包括装置机架，所述装置机架上设有用于固定晶圆的旋转升降工装以及同于晶圆涂层的涂覆机构，所述旋转升降工装上固定设有清洗槽，装置机架的上表面四角处设有便于吊装、搬运的吊环，所述装置机架的底面四角处设有地脚板，地脚板上设有对外固定连接的螺丝孔；本实用新型工件放置稳定，取放方便，结构运行平稳，涂覆均匀平整，自动化程度高，提高涂覆效果和效率。
一种晶圆加工用涂胶装置

[实用新型]晶圆裂片圆切机构-CN202220236932.6有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B26D1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆裂片圆切机构，包括精密滚珠丝杠组件，滚珠丝杠组件的螺母外侧下部通过轴承旋转固定在切割架上，滚珠丝杠的螺母外侧上部套接齿环，齿环与固定在圆切刀架上的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合；螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮，圆柱齿轮与固定在圆切刀架上的螺杆转动伺服电机输出端固定的第二齿轮啮合；螺杆下端径向固定有旋转臂，旋转臂的端部均固定有刀轮安装座，刀轮安装座端部通过摆动装置连接有刀轮。在螺杆移动伺服电机的带动下使切刀轮达到晶圆表面，螺杆移动伺服电机和螺杆旋转伺服电机的共同作用下使得螺杆开始转动，使得刀轮的角度能够得到调整，两侧的刀轮使得在切割过程中保持平稳。
裂片机构

[实用新型]晶圆裂片放膜机构-CN202220236923.7有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆裂片放膜机构，包括设置在放膜固定架上的放膜辊系，放膜辊系包括防静电驱动辊、气涨轴和与气涨轴连接的电磁制动器；气涨轴用于固定复合膜卷，防静电驱动辊驱动复合膜输送，防静电驱动辊与气涨轴连接的电磁制动器相互配合使复合膜拉紧。本实用新型提供的晶圆裂片放膜机构，在防静电驱动辊和与气涨轴连接的电磁制动器共同作用下，使得复合膜在晶圆裂片放膜机构中始终处于一个张紧的状态，晶圆裂片放膜机构中的驱动下压机构，能够进一步调节处于晶圆裂片放膜机构中的复合膜始终处于张紧的状态。
裂片机构

[实用新型]一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空载台-CN202221713440.8有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空载台，包括固定架，固定架沿竖直方向设置，工作台安装在固定架上方，且工作台可水平方向做圆周运动，工作台底部固定安装有固定输气轴套，驱动机构设于固定架底部，驱动机构的输出端通过真空转接装置与固定输气轴套传动连接；本实用新型响应迅速，高扭矩、轴间的连接选用高扭矩涨紧套，密封优良，真空对接位置采用专用的密封方式；结构稳固、转台框架行程闭合的机构减小高扭矩作用下的变形；高吸附强度、真空载台均匀的真空吸孔使晶圆每个位置受力均匀，真空载台周围铅锤在高速旋转过程中产生大的下压力，卡爪可对晶圆钢环限位，防止甩飞。
一种激光 low 设备旋转涂胶空载

[实用新型]全自动晶圆覆膜机-CN202220236527.4有效
发明人：鲍占林;闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动晶圆覆膜机，包括：机台架、复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统、晶圆贴膜系统、多功能机器人系统和供料系统，所述复合膜放膜系统、收余料系统、保护膜收膜系统设置在机台架的纵向侧壁上，晶圆贴膜系统设置在机台架的水平架上，并处于复合膜放膜系统和收余料系统之间，多功能机器人系统包括六轴机械臂和固定在六轴机械臂上的多功能机械手，通过转到六轴机械臂，多功能机械手将晶圆由供料系统运送到晶圆贴膜系统，并对贴完PE膜的晶圆进行切割。
全自动晶圆覆膜机

[实用新型]一种高精度晶圆载台载盘-CN202123412103.3有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种高精度晶圆载台陶瓷载盘，所述载盘上端设置多孔陶瓷层；所述载盘下表面设置至少一个环形的载盘真空通道，所述载盘下表面位于所述载盘真空通道的中心区域还设置载盘真空气腔。相对于现有技术，载盘上表面采用多孔陶瓷精度高吸附性好。所述真空通道使得所述基座和载盘之间紧密连接。基座和载盘通过真空吸附固定、加工其他尺寸晶圆只需更换对应载盘，而且更换载盘方便。本实用新型的载盘的载盘真空通道设置均布的主气路和分支气路；每个主气路都连通各自的真空管路。另外，本实用新型中主气路的深度大于分支气路的深度，在相同的时间内，主气路和分支气路内产生的负压大致相等或者差值变小。吸附过程中，所述载盘位置稳定，精度高。
一种高精度晶圆载台载盘

[实用新型]一种易换型高精度晶圆载台-CN202123412079.3有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种易换型高精度硅晶圆载台，所述载台包括在基座以及通过真空吸附设置在所述基座上的载盘，所述基座和载盘之间通过定位销定位；所述载台内设置至少一个环形的用于吸附所述基座和所述载盘的真空通道。相对于现有技术，载盘上表面采用多孔陶瓷精度高吸附性好。基座和载盘通过真空吸附固定、加工其他尺寸晶圆只需更换对应载盘，而且更换载盘方便。本实用新型的载盘的载盘真空通道设置均布的主气路和分支气路；每个主气路都连通各自的真空管路。另外，本实用新型中主气路的深度大于分支气路的深度，在相同的时间内，主气路和分支气路内产生的负压大致相等或者差值变小。吸附过程中，所述载盘位置稳定，精度高。
一种换型高精度晶圆载台

[实用新型]一种气浮轨道装置-CN202220236075.X有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气浮轨道装置，包括：大理石基体，所述大理石基体的上表面伸出大理石基座，大理石基座两侧设置有横梁安装座和气浮侧板，横梁安装座与气浮侧板垂直安装构成直角，并与大理石基座配合，大理石基座的两侧均设置有磁性材料；气浮侧板上设置有与磁性材料高度相对应的第一磁铁，磁铁的下方设置有侧板气浮平板轴承，横梁安装座上表面设置有横梁安装槽，横梁安装座底部设置有安装板气浮平板轴承，气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，横梁安装座在在受到重力与气浮力之间保持平衡。本实用新型的气浮侧板在受到气浮力与磁力的作用下保持平衡，在运行过程中，通过正压与负压之间配合能够平稳的运行。
一种轨道装置

[实用新型]晶圆裂片贴膜机构-CN202220236880.2有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆裂片贴膜机构，包括：安装在机架上的移动伺服模组、移动吸附底座和移动吸附装置，移动吸附底座安装在移动伺服模组上下移动的组件中，移动吸附装置安装在移动吸附底座上，移动吸附装置包括移动吸附直线轴承、移动吸附负压源和移动吸附固定位吸盘，移动吸附直线轴承包括移动吸附直线轴承套和移动吸附直线轴承轴，移动吸附直线轴承套固定在移动吸附底座上，移动吸附直线轴承轴穿过移动吸附直线轴承套，移动吸附直线轴承轴顶部设置有移动吸附限位块，底部连接有移动吸附固定位吸盘，移动吸附负压源通过移动吸附气道与移动吸附固定位吸盘连接。
裂片机构

[实用新型]晶圆裂片移膜机构-CN202220236943.4有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆裂片移膜机构，所述晶圆移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着PE膜移动。上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。本实用新型公开了一种晶圆裂片移膜机构，贴膜机构通过移动吸附装置将切割完成后的PE膜贴在晶圆上，并且贴膜机构中的辊压机构能够将PE膜贴的更加牢固。
裂片机构

[实用新型]一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置-CN202222629874.6有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B65B69/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，属于晶圆生产技术领域，包括底座，所述底座的上方连接有用于对晶圆位置限定的定位座，所述底座的一侧连接有滑动板，所述滑动板前后滑动在底座上，所述底座与滑动板之间设置有连接在滑动板上的活动板，所述活动板的一侧连接有安装架，所述安装架的上连接有用于实现对晶圆撕膜和贴膜的处理机构，所述处理机构位于定位座的上方；本实用新型撕膜辊与定位座上晶圆先接触对其撕膜，随后膜辊上的膜体经过压膜辊贴在晶圆上，从而完成对晶圆的撕膜贴膜操作，实现对晶圆一体化加工，避免了对晶圆撕膜贴膜需要两个步骤实现的情况，节约了大量时间，有效的提高了对晶圆加工的工作效率。
一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置

[实用新型]一种晶圆覆膜切割机-CN202222418699.6有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B26D7/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆覆膜切割机，属于晶圆覆膜技术领域，一种晶圆覆膜切割机，包括机架，所述机架的侧面上设置有用于装纳保护膜边角料的容纳箱，所述容纳箱内设置有用于将容纳箱内的保护膜边角料向容纳箱内底部按压的压板，所述压板的侧面上间隔开设有两条滑槽，所述滑槽上滑动装配有封口板，当容纳箱内的保护膜边角料与压板朝向容纳箱内底部的侧面接触时，工作人员把固定杆从固定孔内拉出，把压板向下按压，然后再将固定杆插入至靠近容纳箱底部的固定孔内，随后，将另外一个压板固定在容纳箱的箱口处，以此循环，这样就可以使容纳箱容纳更多的保护膜边角料，而且不用频繁的去倒保护膜边角料，节约了工作人员的时间，进而提高了工作效率。
一种晶圆覆膜切割机

[实用新型]一种全自动晶圆劈裂机-CN202222320736.X有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种全自动晶圆劈裂机，属于劈裂机技术领域，一种全自动晶圆劈裂机，包括矩形底座和设置在矩形底座上的机体，矩形底座的侧面上分别开设有安装槽，安装槽的数量为四个，四个安装槽两两对称布置，安装槽内插接有呈L形的承载板，安装槽的槽底上设置有磁铁，承载板朝向安装槽槽底的侧面上设置有铁板，工作人员可以把承载板从安装槽内拉出，使用固定螺栓对承载板进行固定，然后将第一防尘框套在机体上，并放置在承载板上，随后依次套入第二防尘框，将第一插接柱插入至第一插孔内，依次保证第二防尘框能够稳定的放置在第一防尘框上，随后框盖通过第二插接柱和第二插孔放置在第二防尘框上，这样就实现了对机体防尘的目的。
一种全自动劈裂

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