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- [实用新型]一种小区域多工位转运装置-CN202223121199.2有效
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陶为银;蔡正道;王鹏;闫兴
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河南通用智能装备有限公司
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2022-11-23
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2023-06-06
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B65G47/91
- 本实用新型公开了一种小区域多工位转运装置，包括机架、第一工位、第二工位、第三工位和第四工位，空置区上沿X方向设置有位于第一工位和第二工位之间的第一转移机构，机架上设置有第一双轴转移机构，第一双轴转移机构包括双轴转移组件、设置在第三工位和第四工位之间的第二中转平台以及推移组件，第三工位和第四工位之间设置有旋转机械手，第一转移机构包括设置在机架上的一号中转平台、设置在一号中转平台一侧的一号直线模组、设置在一号直线模组输出端的一号气缸、设置在一号气缸输出端的一号连接臂以及第一夹爪和第二夹爪。优点：能够在小区域的范围内将产品进行循环的加工，减少了传统的转运机构的占地面积，使得整个设备更加的紧凑。
- 一种小区域多工位转运装置
- [实用新型]一种晶圆双向移料装置-CN202223123798.8有效
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陶为银;蔡正道;乔赛赛;闫兴
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河南通用智能装备有限公司
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2022-11-22
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2023-06-06
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种晶圆双向移料装置，包括机架、设置在机架上的储料机构、设置在机架上的UV解胶机构以及设置在储料机构和UV解胶机构之间的中转机构和双头夹爪机构，所述储料机构的出料口与UV解胶机构的进料口对应，所述双头夹爪机构包括两端分别对应储料机构和双头夹爪机构的直线模组、设置在直线模组输出端的一号气缸、设置在一号气缸输出端的连接臂以及对称设置在连接臂末端的一号夹爪和二号夹爪，所述一号夹爪和二号夹爪结构相同，所述一号夹爪的夹持口方向朝向供料机构的出料口，所述二号夹爪的夹持口方向朝向UV解胶机构的进料口，所述直线模组设置在中转机构侧部。优点：整个设备集成度高、节约成本，有效的节约产品转移的时间。
- 一种双向装置
- [发明专利]一种晶圆清洗线及晶圆清洗方法-CN202310152591.3在审
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陶为银;闫兴;蔡正道;乔赛赛
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河南通用智能装备有限公司
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2023-02-22
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2023-05-12
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B08B11/00
- 本发明公开了一种晶圆清洗线及晶圆清洗方法，包括机架，所述机架上沿X方向依次设置有上料站、第一工站、第二工站、第三工站、第四工站和下料站，所述上料站和第一工站之间设置有第一静电吸附机构，所述第四工站和下料站之间设置有第二静电吸附机构，所述第一工站一侧对应设置有清洗剂喷洒机构，所述第二工站一侧对应设置有清洁刷机构，所述第三工站一侧对应设置有吹风机构，所述第四工站对应设置有粘尘机构，所述机架上还设置有移载机构，所述移载机构用于将晶圆在相邻的两个工站之间进行转移。优点：能够高效的完成对晶圆的双面清洗，使得晶圆的表面洁净度高，保证晶圆的利用。
- 一种清洗方法
- [实用新型]一种晶圆清洗装置-CN202223073773.1有效
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陶为银;蔡正道;乔赛赛;闫兴
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河南通用智能装备有限公司
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2022-11-18
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2023-04-18
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括安装座、连接座、环形槽、设置在连接座上的旋转升降组件、设置在环形槽的内壁的喷头和设置在环形槽外的伺服电机，连接座设置在环形槽的环孔下方，旋转升降组件包括一号电机、固定设置在连接座上且输出端向上的四号气缸、固定设置在四号气缸输出端的升降板、设置在升降板上的滚珠轴承、套设在滚珠轴承上的转轴和设置在转轴上端的转盘，一号电机包括电机本体和电机输出端，电机输出端与转轴下端固定连接，电机本体与升降板固定连接，转盘上设置有真空吸附区，还设置有紧固件。优点：能够有效的对晶圆进行清洗，并且在清洗的过程中因为转盘转动产生的离心力能够自动的将晶圆表面的清洗液甩干。
- 一种清洗装置
- [实用新型]一种晶圆热缩加工机构-CN202223184065.5有效
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陶为银;蔡正道;王鹏;闫兴
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河南通用智能装备有限公司
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2022-11-25
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2023-04-18
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆热缩加工机构，包括机架、盖板组件、可相对机架升降的安装架、固定架以及热吹风组件，安装架包括一号架和二号架，一号架包括若干可相对机架端面升降的一号导轴、托板以及与一号导轴下端固定连接的三号板，二号架包括若干二号导轴、吸板以及与二号导轴连接的四号板，固定架上设置有六号气缸和丝杆模组，托板上设置有三号通孔，吸板位于三号通孔下方，盖板组件包括直线导轨、分别滑动设置在两条直线导轨上的移动板、限位板以及五号气缸，限位板上设置有通风孔，吸板上设置有若干吸风孔，热吹风组件设置在安装架一侧用于对托板上的产品吹热风。优点：不用更换钢环。使得工作效率更高，生产成本更低。
- 一种晶圆热缩加工机构
- [实用新型]一种晶圆冷扩机构-CN202223183081.2有效
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陶为银;蔡正道;乔赛赛;闫兴
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河南通用智能装备有限公司
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2022-11-24
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2023-04-18
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆冷扩机构，包括底板、侧板和盖板，其中一个侧板上设置有进料孔且挡板以及三号气缸，侧板、盖板、挡板和底板形成腔体，侧板上设置有进气口，腔体内设置有托举板和顶板，底板设置有一号直线轴承和二号直线轴承，一号直线轴承内套设有一号导柱，一号导柱固定连接有一号板，底板下方设置有一号升降动力源，托举板上设置有一号通孔，二号直线轴承内套设二号导柱，二号导柱固定连接有二号板，底板下方设置有二号动力源，顶板在二号动力源的驱动下可通过一号通孔，腔体内还设置有卡板，卡板固定设置在托举板的上方，卡板上设置有二号通孔。优点：实现DAF膜的高品质分割，降低后续贴片工艺的不良等问题的发生效率。
- 一种晶圆冷扩机构
- [发明专利]一种晶圆加工设备及晶圆加工方法-CN202211534983.8在审
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陶为银;蔡正道;乔赛赛;闫兴
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河南通用智能装备有限公司
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2022-11-30
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2023-04-11
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H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆加工设备及晶圆加工方法，包括机架、储料机构、对位机构、用于对产品的DAF膜进行冷扩的冷扩机构、用于对产品的UV膜进行热缩的热缩机构、清洗机构以及UV解胶机构，还包括推移夹取组件和中转台、用于将储料机构中的产品转移至对位机构的一号转移机构、用于将对位机构中的产品转移至中转台的二号转移机构、用于将产品在冷扩机构和中转台之间转运的推移夹取组件、用于将中转台中的产品转移至热缩机构的三号转移机构，三号转移机构还用于将热缩机构中的产品转移至清洗机构，一号转移机构还用于将产品在清洗机构和UV解胶机构之间转运。优点：提高了DAF膜的切割分离质量，提高了封装良率，提高了生产效率并降低了生产成本。
- 一种加工设备方法
- [实用新型]晶圆裂片圆切机构-CN202220236932.6有效
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闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊
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河南通用智能装备有限公司
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2022-01-28
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2023-03-24
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B26D1/28
- 本实用新型公开了一种晶圆裂片圆切机构，包括精密滚珠丝杠组件，滚珠丝杠组件的螺母外侧下部通过轴承旋转固定在切割架上，滚珠丝杠的螺母外侧上部套接齿环，齿环与固定在圆切刀架上的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合；螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮，圆柱齿轮与固定在圆切刀架上的螺杆转动伺服电机输出端固定的第二齿轮啮合；螺杆下端径向固定有旋转臂，旋转臂的端部均固定有刀轮安装座，刀轮安装座端部通过摆动装置连接有刀轮。在螺杆移动伺服电机的带动下使切刀轮达到晶圆表面，螺杆移动伺服电机和螺杆旋转伺服电机的共同作用下使得螺杆开始转动，使得刀轮的角度能够得到调整，两侧的刀轮使得在切割过程中保持平稳。
- 裂片机构
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