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[发明专利]一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法-CN202310386885.2在审
发明人：陈美艳;沈丽如;唐德礼;蒲世豪;李民久 -专利权人：核工业西南物理研究院;中核同创（成都）科技有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于管状工件的内壁镀膜装置、镀膜方法，包括真空室；柱状阴极弧源，置于管状工件内部，与管状工件一起固定连接于真空室顶部；加热系统，装配于真空室上，用于对管状工件进行加热；阴极弧电源，连接于柱状阴极弧源以形成回路；电抗器，串联接入柱状阴极弧源与阴极弧电源、真空室形成的回路中；非对称双极性脉冲偏压电源，作为工件偏压具有输出电极A和输出电极B，输出电极A、B分别连接管状工件、真空室。采用电抗器的稳弧作用，再结合非对称双极性脉冲偏压电源的正、负脉冲周期性输出特性，解决半封闭环境中阴极弧源放电的“阳极消失”问题，实现内置式柱状阴极弧源长期稳定工作，工艺简单稳定，设备结构简单，镀膜效率高。
一种用于管状工件内壁镀膜装置方法

[发明专利]应用于PSM高压电源的高频变换器及PSM高压电源-CN202011352522.X有效
发明人：贺岩斌;姜亚南;陈常;熊涛;魏于苹;蒲世豪 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H02M7/217 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于PSM高压电源的高频变换器及PSM高压电源。PSM高压电源的主电路由模块化的高频变换器、高压高频变压器、PSM模块组构成。该高频变换器由三相EMI滤波器电路、可控整流电路、软开关逆变器电路和控制电路组成；通过多个高频变换器共同实现数百千瓦平均功率架构，为PSM高压电源提供前级供能。本发明提出的高频变换器具有体积小、模块化、成本低、性能稳定、制造简易、维修方便等优点。多个高压高频变压器实现不同电位的绝缘隔离。多个PSM模块组通过电位叠加实现高压输出。
应用于 psm 高压电源高频变换器

[发明专利]一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器-CN201911236265.0在审
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;贺岩斌;姜亚南;熊涛;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器。当电源输出高频脉冲时，该电弧检测器通过不断采样电源输出脉冲占空比内的电感电流值，并计算出电感电流变化斜率，这样在电弧产生的初期，电弧电流开始爬升，该控制器就已侦测到电弧，然后迅速的关断电源的输出能量，减小电弧能量。由于该电弧检测器采用直接采样电感电流并快速计算电流变化率的方法，能在电弧电流爬升的初期检测到电弧的发生，能更快的关断电源输出，从而能更有效的抑制住电弧能量并灭掉电弧，提高了镀膜质量、产品成品率和生产效率。
一种真空镀膜脉冲偏压电源电弧检测器

[发明专利]用于PSM高压电源控制的供电电路及其应用-CN202011346996.3在审
发明人：贺岩斌;魏于苹;陈常;熊涛;姜亚南;蒲世豪 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： H02M5/458 文献下载
摘要：本发明公开了用于PSM高压电源控制的供电电路及其应用，本发明的供电电路包括高频逆变恒流源、高频互感器、高频整流滤波稳压电路和EMI稳压电路；高频逆变恒流源输出端通过高压绝缘传输线遍历多个PSM模块的高频互感器，每个高频互感器输出的交流信号通过高频整流滤波稳压电路转换成直流信号；高频整流滤波稳压电路输出连接EMI稳压电路，EMI稳压电路用于将高频整流滤波稳压电路输出的直流信号转换为电平恒定、高频噪声小且满足PSM高压电源的各电路需要的控制供电。本发明使得PSM高压电源系统的各电路的运行不用依赖于功率隔离变压器是否工作，避免兆瓦级功率输出瞬间专用绕组尖峰电流扰动对控制电路的影响。
用于 psm 高压电源控制供电电路及其应用

[实用新型]一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器-CN201922162633.3有效
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;贺岩斌;姜亚南;熊涛;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本实用新型属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器。当电源输出高频脉冲时，该电弧检测器通过不断采样电源输出脉冲占空比内的电感电流值，并计算出电感电流变化斜率，这样在电弧产生的初期，电弧电流开始爬升，该控制器就已侦测到电弧，然后迅速的关断电源的输出能量，减小电弧能量。由于该电弧检测器采用直接采样电感电流并快速计算电流变化率的方法，能在电弧电流爬升的初期检测到电弧的发生，能更快的关断电源输出，从而能更有效的抑制住电弧能量并灭掉电弧，提高了镀膜质量、产品成品率和生产效率。
一种真空镀膜脉冲偏压电源电弧检测器

[实用新型]一种直流磁控溅射镀膜电源快速可靠助燃电路-CN201920760742.2有效
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;贺岩斌;姜亚南;熊涛;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： H02M7/5387 文献下载
摘要：本实用新型属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种直流磁控溅射镀膜电源快速可靠助燃电路，通过增加助燃电路，助燃电路输出的电压叠加上高频逆变开关电源的高频整流桥输出的电压，以达到助燃启辉电压的幅值，当启辉成功后，直流磁控溅射电源输出电流超过启辉成功判断阈值，或者直流磁控溅射电源输出电压低于主电源空载电压判断阈值，助燃电路停止工作，这时直流磁控溅射工艺需要的电压和电流由直流磁控溅射电源的主电路供给；一但辉光熄灭，助燃电路启动输出，电源的输出电压又达到助燃启辉电压的幅值，确保镀膜工艺连续性；减小电弧能量，提高镀膜质量。
一种直流磁控溅射镀膜电源快速可靠助燃电路

[实用新型]一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源-CN201920776684.2有效
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;熊涛;姜亚南;贺岩斌;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H02M9/06 文献下载
摘要：本实用新型属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源。该电源可以输出所需要的不同输出波形特性的直流负偏压、单极性脉冲负偏压、直流叠加单极性脉冲负偏压模式、非对称双极性脉冲偏压模式或直流叠加双极性脉冲偏压。并且，负偏压的脉冲电压幅度、频率和占空比可调节，直流叠加脉冲负偏压的直流电压幅度可调节，负偏压工作在高压低电流或低压大电流模式两种模式可设置，正脉冲电压幅度和占空比可调节。
负偏压可调节单极性脉冲双极性脉冲直流叠加占空比电力电子技术领域等离子体镀膜脉冲电压幅度直流电压幅度直流叠加脉冲自动控制技术本实用新型低压大电流正脉冲电压直流负偏压偏压电源偏压模式输出波形非对称复合式电源输出

[发明专利]一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源-CN201910441985.4在审
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;熊涛;姜亚南;贺岩斌;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： H02M9/06 文献下载
摘要：本发明属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种多用途复合式等离子体镀膜用偏压电源。该电源可以输出所需要的不同输出波形特性的直流负偏压、单极性脉冲负偏压、直流叠加单极性脉冲负偏压模式、非对称双极性脉冲偏压模式或直流叠加双极性脉冲偏压。并且，负偏压的脉冲电压幅度、频率和占空比可调节，直流叠加脉冲负偏压的直流电压幅度可调节，负偏压工作在高压低电流或低压大电流模式两种模式可设置，正脉冲电压幅度和占空比可调节。
负偏压可调节等离子体镀膜单极性脉冲双极性脉冲偏压电源直流叠加复合式占空比电力电子技术领域脉冲电压幅度直流电压幅度直流叠加脉冲自动控制技术低压大电流正脉冲电压直流负偏压偏压模式输出波形非对称电源输出

[发明专利]一种直流磁控溅射镀膜电源快速可靠助燃电路-CN201910441113.8在审
发明人：李民久;陈庆川;蒲世豪;贺岩斌;姜亚南;熊涛;黄雨;邵斌 -专利权人：核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： H02M7/5387 文献下载
摘要：本发明属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种直流磁控溅射镀膜电源快速可靠助燃电路，通过增加助燃电路，助燃电路输出的电压叠加上高频逆变开关电源的高频整流桥输出的电压，以达到助燃启辉电压的幅值，当启辉成功后，直流磁控溅射电源输出电流超过启辉成功判断阈值，或者直流磁控溅射电源输出电压低于主电源空载电压判断阈值，助燃电路停止工作，这时直流磁控溅射工艺需要的电压和电流由直流磁控溅射电源的主电路供给；一但辉光熄灭，助燃电路启动输出，电源的输出电压又达到助燃启辉电压的幅值，确保镀膜工艺连续性；减小电弧能量，提高镀膜质量。
助燃直流磁控溅射电源直流磁控溅射电路镀膜电源启辉电压输出电压启辉电力电子技术领域高频逆变开关电源自动控制技术电弧能量电路启动电路输出镀膜工艺高频整流空载电压输出电流桥输出主电路主电源辉光减小熄灭成功输出

[发明专利]强流金属离子源-CN200910131412.8有效
发明人：唐德礼;童洪辉;蒲世豪;谢峰;赵杰;耿少飞;张华芳;武洪臣;刘亮 -专利权人：核工业西南物理研究院;中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所
申请日： 2009-03-30 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种可工作于直流和脉冲两种模式的大面积、高能强流金属离子源。其特点是它采用磁场控制阴极弧放电产生直流金属等离子体，金属等离子体经磁镜场输运到离子引出区域，再经过栅极加速后获得高能离子束流；在等离子体输运区域中间加有由螺线管形成的反向磁岛，可以提高输出等离子体的均匀性，同时阻挡大颗粒进入离子引出区域，提高离子束流均匀性和稳定性；离子束流引出和加速方式可采用直流或脉冲模式，以获得纯离子束流或等离子体/离子束流；还可以利用送气管在等离子体产生区域充入工作气体，使之参与等离子体放电，获得金属和气体混合的离子束流。本装置可用于在工件上注入和沉积高质量反应薄膜，离子注入和离子镀膜等。
流金离子源

[发明专利]直流磁过滤阴极真空弧等离子体源-CN200810132183.7有效
发明人：唐德礼;童洪辉;蒲世豪;谢峰 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2008-07-22 - 公布日： 2008-12-10 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明属于一种等离子体源，具体公开了一种直流磁过滤阴极真空弧等离子体源。其特点是利用正偏压电源有效减少等离子体损失，提高输出效率，利用轴向磁场和圆截锥形阴极斜面的夹角来约束和稳定阴极弧放电发生在阴极端面，使本发明在高真空下可以稳定工作，并且提高了进入真空腔体的等离子体的均匀性；还可在水冷阳极筒与水冷引出直管之间连接有电阻，避免阳极直接接地导致的低等离子体输出效率和水冷引出直管过热现象，从而进一步提高等离子体输出效率；还可利用送气管在等离子体产生区充入工作气体，使之参与等离子体放电，有助于在工件上沉积高质量反应薄膜。
直流过滤阴极真空等离子体

[发明专利]离子注入复合镀膜设备-CN03129551.7有效
发明人：蔡珣;童洪辉;陈庆川;蒲世豪;赵军;陈秋龙;刘佑铭 -专利权人：上海交通大学;核工业西南物理研究院
申请日： 2003-06-26 - 公布日： 2004-02-04 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：一种离子注入复合镀膜设备属于镀膜技术领域。本发明的气体离子源、金属离子源、直流磁控溅射靶源、中频脉冲磁控溅射靶源和两套直流磁过滤电弧离子镀源、六个源头共用一个真空室，并固定在复合镀膜机的外壳上，气体离子源垂直位于真空室上部的正中，金属离子源位于气体离子源的一侧，斜插于真空室上部，直流磁控溅射靶源和中频磁控溅射靶源、两个直流磁过滤电弧离子镀源则分布在二条对角线上，并位于真空室两侧偏上部位，六个源头的中心线汇聚在多用样品台工件上，真空抽气系统与真空室连接。本发明集几种材料表面改性技术于一体，一机多用，既降低了设备制造成本，又具有多功能效果，设备设计新颖，结构合理紧凑。
离子注入复合镀膜设备

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