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[发明专利]一种碳化硅沟槽栅MOSFET的制备方法-CN202311182072.8在审
发明人： 胡舜涛;刘桂新;李防化;顾海彬 -专利权人：凌锐半导体（上海）有限公司
申请日： 2023-09-14 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L29/423 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种碳化硅沟槽栅MOSFET的制备方法。本发明将P型外延作为MOSFET的P阱，省去了传统方法的P阱的高温铝注入，节约高温离子注入产能。P型外延同时作为保护沟槽底部栅氧的深P阱，深P阱的深度由P型外延的厚度决定，突破传统高温高能注入设备的能力的限制。外延的厚度增加使得深P阱的深度增加，有效降低了沟槽底部的电场强度，保护沟槽底部栅氧，提高栅氧可靠性。
一种碳化硅沟槽 mosfet 制备方法

[发明专利]一种沟槽型MOSFET器件及其制造方法-CN202310875766.3有效
发明人：塞萨尔·龙思万里;李防化;胡舜涛;刘桂新 -专利权人：凌锐半导体（上海）有限公司
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明公开了一种沟槽型MOSFET器件制造方法，包括：在衬底上外延形成基层区；在基层区中形成第一沟槽；在第一沟槽内表面形成P型层；在P型层内填充多晶硅；在第一沟槽上方形成第二沟槽；在第二沟槽中形成栅结构。相应公开了一种沟槽型MOSFET器件，包括：衬底、基层区、第一沟槽和第二沟槽；基层区位于衬底上表面，第一沟槽位于第二沟槽正下方，且均设置在基层区内；第一沟槽的内表面形成有P型层，P型层中填充有多晶硅。利用超结概念获得更小的开通电阻，采用分离型沟槽多晶硅技术减少了栅极到漏极的米勒电容，可制造出结构紧凑、原胞密度大和电流密度大的沟槽型MOSFET器件，可显著的提高器件的功率密度，降低成本，提高产品的可靠性。
一种沟槽 mosfet 器件及其制造方法

[实用新型]加热系统的短路保护电路和加热系统-CN202121772892.9有效
发明人：曾祥幼;张杰;胡舜涛 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H02H3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热系统的短路保护电路和加热系统。加热系统包括：热敏器件；短路保护电路包括：短路功能模块、退饱和保护模块、过流保护模块和输出控制模块。短路功能模块的第一端与热敏器件的第二端电连接；退饱和保护模块的第一输入端与短路功能模块的第一端电连接，第二输入端与短路功能模块的第二端电连接；过流保护模块的第一端与短路功能模块的第二端电连接，第二端接入第二电源信号；输出控制模块的第一输入端与退饱和保护模块的输出端电连接，第二输入端与过流保护模块的输出端电连接，输出端与短路功能模块的控制端电连接。本实用新型实施例可以对加热系统的短路问题进行快速响应，并在故障解除后及时恢复系统运行。
加热系统短路保护电路

[发明专利]一种功率二极管的测试装置及测试方法-CN202111128611.0在审
发明人：曾祥幼;胡舜涛;张杰 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2021-09-26 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种功率二极管的测试装置及测试方法。其中，功率二极管的测试装置包括恒流源模块、连接模块、开关模块和信号发生器，连接模块分别与恒流源模块和开关模块的第一端电连接，连接模块用于连接待测功率二极管，开关模块的第二端与恒流源模块电连接，开关模块的控制端与信号发生器电连接。本发明提供的功率二极管的测试装置及测试方法，通过信号发生器向开关模块的控制端传输开关信号，控制待测功率二极管的导通时间，得到待测功率二极管所能承受的最大持续导通时间，进而得到待测功率二极管的极限能量值，实现功率二极管的极限能量信息的获取，从而在应用及选取功率二极管时能够知道功率二极管的极限能量参数，降低安全隐患。
一种功率二极管测试装置方法

[发明专利]一种图腾柱的车载充电机的控制电路-CN202111042713.0在审
发明人：曾祥幼;张杰;胡舜涛 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H02M1/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种图腾柱的车载充电机的控制电路。该控制电路包括图腾柱功率电路和PWM控制电路。PWM控制电路包括脉冲宽度调制单元、控制单元和延时输出单元。脉冲宽度调制单元与图腾柱功率电路的输出端连接，用于根据图腾柱功率电路输出的电压和电流输出控制信号；控制单元与脉冲宽度调制单元连接，用于根据控制信号输出PWM信号；延时输出单元与控制单元连接，用于对PWM信号延时后输出；图腾柱功率电路的控制端与延时输出单元连接，用于根据延时后的PWM信号控制图腾柱功率电路的工作状态。本发明实施例通过延时输出单元对PWM信号进行延时，可以减小图腾柱功率电路的死区时间，提高图腾柱的车载充电机的整机效率和功率因数。
一种图腾车载充电机控制电路

[发明专利]一种功率器件的短路测试装置及方法-CN202110875630.3在审
发明人：曾祥幼;张杰;胡舜涛 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01R31/52 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种功率器件的短路测试装置及方法。该装置包括高压电源模块、开关模块、脉冲信号产生模块和测试底座；高压电源模块与开关模块连接，开关模块与测试底座的测试端子连接，开关模块在测试时闭合，将高压电源模块提供的高压电源信号输出至测试端子；脉冲信号产生模块与测试底座的控制端子连接，脉冲信号产生模块用于在测试时提供脉冲信号至控制端子；脉冲信号的脉冲时间可调；测试底座在脉冲信号输出时测试待测试功率器件，直至待测试功率器件短路。本发明实施例可以避免待测试功率器件的损坏，扩大功率器件的短路测试装置的使用范围；同时可以简化功率器件的短路测试过程，提高测试效率。
一种功率器件短路测试装置方法

[发明专利]一种恒温测试系统及测试方法-CN202110152637.2在审
发明人：曾祥幼;张杰;胡舜涛 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种恒温测试系统及测试方法，其属于半导体开关管测试技术领域，恒温测试系统用于对半导体开关管在恒定温度下进行测试，包括：恒温块，所述恒温块上设置有绝缘导热垫片，所述半导体开关管设于所述绝缘导热垫片上；加热套件，与所述恒温块连接，用于对所述恒温块进行加热；温度传感器，设于所述恒温块上，用于测试所述恒温块的温度；半导体开关管底座，所述半导体开关管与所述半导体开关管底座连接；示波器，所述半导体开关管底座与所述示波器连接。本发明能够对半导体开关管在设定温度下进行准确测试。
一种恒温测试系统方法

[发明专利]屏蔽栅沟槽型MOSFET器件及其制造方法-CN202010693343.6有效
发明人：李豪;张杰;胡舜涛;潘晓伟 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种屏蔽栅沟槽型MOSFET器件及其制造方法。屏蔽栅沟槽型MOSFET器件的制造方法包括：提供半导体衬底，并在所述半导体衬底上形成沟槽；其中，所述半导体衬底的上表面设置有第一绝缘层，所述沟槽由所述半导体衬底和所述第一绝缘层围合而成；在所述沟槽底部形成屏蔽导体；在所述屏蔽导体上形成栅极导体，所述栅极导体的上表面与所述第一绝缘层的上表面齐平；去除所述第一绝缘层，所述栅极导体的上表面高出所述半导体衬底的上表面。与现有技术相比，本发明实施例减小了屏蔽栅沟槽型MOSFET器件的栅极电阻。
屏蔽沟槽 mosfet 器件及其制造方法

[发明专利]半导体器件的终端结构和绝缘栅双极型晶体管-CN202010928400.4有效
发明人：潘晓伟;张杰;胡舜涛;李豪 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L29/739 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件的终端结构和绝缘栅双极型晶体管。所述半导体器件的终端结构包括：主结、场限环和截止环；所述场限环位于所述主结与所述截止环之间；漂移层，所述主结、所述场限环和所述截止环共用所述漂移层；其中，所述主结包括位于所述漂移层顶部的第一扩散区和第二扩散区，所述第一扩散区位于所述第二扩散区远离所述场限环的一端，且所述第一扩散区的深度小于所述第二扩散区的深度；所述主结还包括至少一个第一沟槽，所述第一沟槽位于所述第一扩散区内；所述第一沟槽用于驱使所述主结内的部分电流路径为纵向流动。本发明可以在提高器件击穿电压的同时保证器件终端结构的可靠性。
半导体器件终端结构绝缘栅双极型晶体管

[实用新型]拉丝机塔轮激光熔覆设备-CN201821727352.7有效
发明人：侯伟鹏;胡铁千;胡舜涛 -专利权人：湘潭市联通工贸有限公司
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： C23C24/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种拉丝机塔轮激光熔覆设备。所述拉丝机塔轮激光熔覆设备包括设置在激光熔覆机床的激光移动座上的固定装置，所述固定装置一侧设置有升降轴，所述升降轴的末端可拆卸的设置有感应线圈，所述感应线圈由二个半线圈拼合而成，二个所述半线圈的连接处以可拆卸的结构连接。本实用新型提供的所述拉丝机塔轮激光熔覆设备解决了现有技术的激光熔覆设备加工塔轮时的效率低、步骤繁琐的技术问题。
激光熔覆设备拉丝机塔轮本实用新型感应线圈固定装置可拆卸的升降轴激光熔覆激光移动结构连接拼合塔轮机床加工

[实用新型]一种双脉冲测试平台-CN201820461840.1有效
发明人：曾祥幼;张杰;胡舜涛 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双脉冲测试平台。本实用新型的双脉冲测试平台，包括：检测模块，检测模块与待测试元件连接，用于对待测试元件进行检测；驱动模块，驱动模块包括驱动脉冲电路和驱动电阻转换电路，驱动脉冲电路通过驱动电阻转换电路与待测试元件连接，驱动脉冲电路为待测试元件提供脉冲信号，驱动电阻转换电路用于改变待测试元件的驱动电阻阻值；和控制模块，控制模块的信号输出端分别与检测模块、驱动脉冲电路和驱动电阻转换电路通信连接；控制模块的信号输入端与待测试元件连接。本实用新型的双脉冲测试平台，能够解决现有技术无法在不对设备进行破坏的基础上更改驱动电流大小的问题。
待测试元件驱动电阻测试平台驱动脉冲转换电路双脉冲本实用新型检测模块控制模块电路驱动模块信号输出端信号输入端测试元件脉冲信号驱动电流通信连接检测

[实用新型]一种半导体开关管测试装置-CN201820464187.4有效
发明人：曾祥幼;张杰;胡舜涛 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体开关管测试装置。本实用新型的半导体开关管测试装置，包括：测试箱，测试箱具有容纳腔，容纳腔的侧壁上设有进风口和出风口，出风口上设有导流风扇；测试板，测试板设置于容纳腔内，测试板包括用于对待测试元件进行双脉冲测试的测试电路，测试电路包括：检测模块、驱动模块和控制模块；其中，驱动模块和检测模块依次由进风口向出风口方向布置。本实用新型的半导体开关管测试装置，由于具有散热结构，能够对其内部的元件进行散热，提高使用寿命和可靠性。
半导体开关管测试装置本实用新型测试板出风口容纳腔测试电路检测模块驱动模块测试箱进风口测试元件导流风扇控制模块散热结构使用寿命双脉冲散热侧壁测试

[实用新型]一种半导体开关管测试装置-CN201820463042.2有效
发明人：曾祥幼;张杰;胡舜涛 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体开关管测试装置。本实用新型的半导体开关管测试装置，包括：测试板，测试板包括用于与待测试元件连接的测试接口和用于对待测试元件进行双脉冲测试的测试电路；测试箱，测试箱具有容纳腔，且测试箱的顶板开设有测试窗口，测试板可拆卸地设置于容纳腔内，并且使测试接口通过测试窗口伸出容纳腔。本实用新型的半导体开关管测试装置，可对待测试元件进行不同应用场景下的测试，测试方法简单、可靠，且成本较低。
半导体开关管测试装置本实用新型测试板测试箱容纳腔测试窗口测试接口测试元件测试待测试元件测试电路应用场景可拆卸双脉冲伸出

[实用新型]一种双脉冲测试平台-CN201820473176.2有效
发明人：曾祥幼;张杰;胡舜涛 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双脉冲测试平台。本实用新型的双脉冲测试平台，包括：检测模块，检测模块包括元件测试电路和脉冲测试电路，元件测试电路和脉冲测试电路分别与待测试元件连接，元件测试电路用于对待测试元件进行失效测试，脉冲测试电路用于对待测试元件进行双脉冲测试；驱动模块，驱动模块与待测试元件连接，为待测试元件提供双脉冲测试信号；和控制模块，控制模块的信号输出端分别与元件测试电路、脉冲测试电路和驱动模块通信连接；控制模块的信号输入端与待测试元件连接，以获取待测试元件的测试结果。本实用新型的双脉冲测试平台，能够解决现有技术中由于待测试元件失效，导致双脉冲测试平台损坏的问题。
双脉冲待测试元件测试平台脉冲测试电路元件测试本实用新型控制模块驱动模块电路测试元件检测模块信号输出端信号输入端测试信号失效测试通信连接测试

[实用新型]开关管散热夹具-CN201820415135.8有效
发明人：曾祥幼;胡舜涛;张杰 -专利权人：上海陆芯电子科技有限公司
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种开关管散热夹具，包括上夹片和下夹片，所述上夹片和下夹片采用铰接的形式连接形成夹子状结构，所述上夹片设置在所述下夹片的正上方，所述上夹片的头部设置有散热板。采用本实用新型的开关管散热夹具扩大了散热面积，有效散掉开关管所发的热量，降低因温度过高造成的器件失效和烫伤测试人员的风险；同时采用导热绝缘材料，降低成本的同时也能有效散热的同时形成绝缘保护，避免测试人员发生触电的危险；所述开关管散热夹具下夹片内侧设置的柱状凸起设计可以使所述开关管散热夹具与开关管的压接从面面接触转换为线性接触，避免因压接不均而导致的热传导面不能有效的贴合从而可能带来的散热失效的风险。
开关管散热夹具上夹片下夹片本实用新型散热压接导热绝缘材料夹子状结构测试绝缘保护面面接触器件失效热传导面头部设置温度过高线性接触有效散热柱状凸起散热板烫伤触电铰接贴合转换

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