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- [发明专利]切削装置-CN201910413392.7有效
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2019-05-17
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2023-08-15
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H01L21/67
- 提供切削装置，即使在能够更换多孔卡盘工作台和治具卡盘工作台的结构中，也能够准确地判定多孔卡盘工作台上是否载置有被加工物。切削装置具有：第2开闭阀(86)，其设置于第1分支路(83)；压力传感器(87)，其设置于第1分支路(83)的第2开闭阀(86)与工作台基座(18)之间，对第1分支路(83)的压力进行测量；判定部(74)，在将第1开闭阀(85)打开的状态下，在利用压力传感器(87)所测量的负压未达到基准值的情况下，该判定部判定为多孔卡盘工作台(120)上未载置框架单元(103)；以及开闭阀控制部(73)，当在多孔卡盘工作台(120)被固定于工作台基座(18)的状态下利用判定部(74)进行判定时，该开闭阀控制部将第2开闭阀(86)关闭。
- 切削装置
- [发明专利]切削装置-CN202310121652.X在审
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2023-02-02
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2023-08-08
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B28D5/02
- 提供切削装置，其作业性良好。切削装置具有：卡盘工作台，其保持被加工物；切削单元，其对被加工物实施切削加工；X轴进给单元、Y轴进给单元和Z轴进给单元(32、34、36)，它们分别将卡盘工作台和切削单元在X轴、Y轴和Z轴方向上进行加工进给、分度进给和切入进给；载置台，其载置被加工物；搬送单元(40)，其保持被加工物而搬送至卡盘工作台。载置台包含：第一台(54)，其载置切削加工前的被加工物；第二台(56)，其在X轴方向上与第一台相邻配设，载置切削加工后的被加工物。切削装置还具有：使第一台、第二台在Z轴方向上升降的升降单元(72)；使第一台、第二台在X轴方向上移动而定位于搬送单元的搬送路径上的定位单元(74)。
- 切削装置
- [发明专利]被加工物的保持机构和加工装置-CN201710441368.5有效
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2017-06-13
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2023-04-07
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H01L21/683
- 提供被加工物的保持机构和加工装置，能够对被加工物进行更适当地保持。一种被加工物的保持机构(54)，其具有：保持基台(60)，其具有保持面(60a)；磁铁(62)，其设置于保持基台的保持面，在该磁铁与含有表现出强磁性的材料的被加工物(11)之间产生引力；以及释放构件(64)，其通过与磁铁之间所产生的引力对保持在保持基台的保持面侧的被加工物施加离开保持面的方向的力，释放构件具有：覆盖片(66)，其对保持面进行覆盖；以及流体提供部(72)，其向保持面与覆盖片之间提供流体而使覆盖片鼓出，被加工物的保持机构通过该被加工物与磁铁之间产生的引力而隔着覆盖片对被加工物进行保持。
- 加工保持机构装置
- [发明专利]加工装置的搬送机构-CN201711294061.3有效
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2017-12-08
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2023-04-07
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H01L21/677
- 提供加工装置的搬送机构，维持加工装置的省空间化，降低被加工物的搬送带来的操作者负担。搬送机构(40)具有：装载工作台(41)，其与搬出搬入区域(5)相邻，在加工进给单元(31)的侧方的区域隔着间隔件(S)层叠被加工物(W)而进行支承；卸载工作台(42)，其与搬出搬入区域相邻，在夹着加工进给单元与装载工作台相反的一侧的区域隔着间隔件层叠加工后的被加工物而进行支承；以及搬送单元(50)，其具有被加工物保持部和间隔件保持部，该搬送单元将被加工物和间隔件从装载工作台搬出，仅将被加工物搬入至卡盘工作台，使从装载工作台搬出而保持支承状态的间隔件与加工后的被加工物重叠而从卡盘工作台(10)搬入至卸载工作台。
- 加工装置机构
- [发明专利]加工装置-CN201810001870.9有效
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2018-01-02
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2023-03-28
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H01L21/67
- 提供加工装置，实现兼顾提高利用气体喷射对被加工物去除含有加工屑的加工液的去除性能和减少气体消耗量。加工装置(1)具有：卡盘工作台(10)，其对被加工物(W)进行保持；加工单元(20)，其一边对卡盘工作台(10)所保持的被加工物(W)提供加工液一边进行加工；以及第一气帘喷嘴(82)，其向加工后的被加工物(W)吹送气体，将加工液从被加工物(W)去除。第一气帘喷嘴(82)跨越卡盘工作台(10)所移动的移动路径而延伸，朝向进行移动的卡盘工作台(10)上所保持的被加工物(W)间歇地喷射气体。
- 加工装置
- [发明专利]缝喷嘴的制造方法和缝喷嘴-CN201910468603.7有效
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福冈武臣;畑中英治
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株式会社迪思科
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2019-05-31
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2022-11-08
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B28D5/02
- 提供缝喷嘴的制造方法和缝喷嘴，在使用中不容易因施加至管材的流体的压力等而使缝的宽度变宽。该缝喷嘴的制造方法具有如下的步骤：准备切削刀具；准备筒状的管材；沿着管材的轴心方向对切削刀具的切刃进行定位，使切削刀具的切刃从管材的径向的外侧切入至管材，然后将切刃从管材拔出，从而形成第1缝；使切削刀具和管材沿着轴心方向相对地移动；沿着管材的轴心方向对切削刀具进行定位，使切削刀具的切刃从管材的径向的外侧切入至管材，然后将切刃从管材拔出，在第1缝的长度方向的延长线上按照与第1缝不连续的方式形成第2缝。
- 喷嘴制造方法
- [发明专利]切削装置-CN201811566974.0有效
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2018-12-20
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2022-08-02
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B24B41/06
- 提供切削装置，不使用独立的搬送机构而对被加工物进行搬送。切削装置具有：切削单元，其利用切削刀具对被加工物进行切削；加工进给单元，其使卡盘工作台在对被加工物进行切削的加工区域与对被加工物进行搬入搬出的搬入搬出区域之间移动；移动单元，其使切削单元在分度进给方向和与保持面垂直的方向上移动；载置区域，其供切削前的被加工物载置；搬出单元，其将切削后的被加工物搬出；搬送垫，其将切削前的被加工物搬送至位于搬入搬出区域的卡盘工作台，将切削后的被加工物搬送至搬出单元，搬送垫相对于移动单元进行装拆，在安装于移动单元的状态下对被加工物进行吸引保持，吸引保持着被加工物而通过移动单元进行移动从而对被加工物进行搬送。
- 切削装置
- [发明专利]卡盘工作台-CN201710030777.6有效
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2017-01-17
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2022-05-03
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H01L21/683
- 提供卡盘工作台，能够防止因液体的侵入而导致的堵塞。一种卡盘工作台(10、38)，其设置在对板状的被加工物(11)进行加工的加工装置(2)中并对被加工物单元(1)进行保持，该被加工物单元(1)由被加工物、围绕被加工物的环状的框架(15)以及粘贴在被加工物和框架上的粘合带(13)构成，其中，该卡盘工作台具有：主体部(42)，其具有隔着粘合带对被加工物进行吸引保持的保持面(42a)；以及框架支承部(48)，其在主体部的外侧对框架进行支承，框架支承部形成为外径比框架的外径小，当将框架重叠在框架支承部上以使框架的外缘(15a)向框架支承部的外侧探出时，主体部和框架支承部的上表面整体由被加工物单元覆盖。
- 卡盘工作台
- [发明专利]切削装置和被加工物的切削方法-CN202110996499.6在审
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福冈武臣;宫崎高志
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株式会社迪思科
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2021-08-27
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2022-03-01
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B28D5/02
- 本发明提供切削装置和被加工物的切削方法，与以往相比能够减少切削刀具的振动。切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；切削单元(20)，其利用经由安装座(24)而固定于主轴(22)的前端的切削刀具(21)对卡盘工作台所保持的被加工物进行切削；以及喷嘴(30)，其向切削刀具(21)提供切削水，切削刀具(21)以厚度为0.2mm以下且刀尖伸出量/刀厚所示的纵横比为30以上的方式固定于安装座(24)，该切削装置具有喷嘴(31)，该喷嘴(31)与切削刀具(21)的侧面(21‑3)平行地从外周朝向切削刀具(21)的外周面提供切削水，喷嘴(31)在内部具有对切削水的流动进行整流的分隔板(38)。
- 切削装置加工方法
- [发明专利]加工装置-CN201610987077.1有效
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福冈武臣;楠部浩司
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株式会社迪思科
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2016-11-09
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2022-02-18
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H01L21/683
- 提供加工装置，即使不利用真空也能够对被加工物进行保持并加工。一种加工装置(2)，对包含示出强磁性的物质而形成的被加工物(11)进行加工，该加工装置(2)包含如下的部件：卡盘工作台(10)，其利用保持面(10a)对被加工物进行保持；加工构件(12)，其对由卡盘工作台保持的被加工物进行加工；以及搬送构件(48)，其将被加工物搬入到卡盘工作台上或将被加工物从卡盘工作台搬出，卡盘工作台在保持面侧具有第1磁力保持部(64)，该第1磁力保持部(64)利用磁力对被加工物进行保持，搬送构件具有第2磁力保持部(84)，该第2磁力保持部(84)利用磁力对被加工物或支承被加工物的支承部件(15)进行保持。
- 加工装置
- [发明专利]卡盘台-CN201610230634.5有效
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2016-04-14
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2021-11-30
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H01L21/687
- 卡盘台。防止切削屑等堆积到卡盘台的上表面，以不弄脏环框架。解决手段：卡盘台(10)具备：吸引面(120)，其吸引板状工件(1)；吸引孔(122)，其使吸引面(120)与吸引源(121)連通；以及框架保持单元(13)，其利用磁吸附力保持环框架(2)，框架保持单元(13)具备：载置面(130)，其载置环框架(2)；磁铁(131)；磁吸附力发生部(132)，其以在载置面(130)中不露出磁铁(131)的方式将磁吸附力作用于载置面(130)，因此能够构成为在载置面(130)的上表面不形成凹凸部分。由此，能够防止切削屑等堆积在载置面(130)，防止弄脏环框架(2)的下表面，并防止磁铁(131)对于环框架(2)的磁吸附力下降。
- 卡盘
- [发明专利]被加工物的保持机构和加工装置-CN202110527385.7在审
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2021-05-14
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2021-11-26
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H01L21/683
- 本发明提供被加工物的保持机构和加工装置，能够实现被加工物的适当的保持和简单的取下。被加工物的保持机构具有：保持基台，其具有保持面，该保持面的形状和大小与含有示出强磁性的材料的被加工物对应；磁铁，其设置于保持基台的保持面，在磁铁与被加工物之间产生引力；以及释放构件，其对通过与磁铁之间所产生的引力而被保持于保持基台的保持面侧的被加工物施加从保持面离开的方向的力，释放构件具有：盖片，其覆盖保持面；以及流体提供部，其向保持面与盖片之间提供流体，在盖片的与保持面相反的一侧的面上，设置有抑制盖片对被加工物的吸附的凹凸构造或者含有促进被加工物从盖片剥离的剥离促进剂的层。
- 加工保持机构装置
- [发明专利]切削装置-CN202110520743.1在审
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福冈武臣;桑本博美
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株式会社迪思科
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2021-05-13
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2021-11-19
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B24B27/06
- 本发明提供切削装置，该切削装置能够抑制因切削水的飞散而引起的雾的产生。切削装置包含：保持构件，其对被加工物进行保持；切削构件，其具有能够旋转的主轴，该主轴安装有对保持构件所保持的被加工物进行切削的切削刀具；X轴进给构件，其将保持构件和切削构件沿X轴方向相对地进行加工进给；以及Y轴进给构件，其将保持构件和切削构件沿与X轴方向垂直的Y轴方向相对地进行分度进给，切削构件还具有：刀具罩，其覆盖切削刀具；喷嘴，其设置于刀具罩，向切削刀具提供切削水；以及雾抑制部，其通过附壁效应来抑制由于切削水伴随着切削刀具的旋转沿X轴方向飞散而引起的雾的产生。
- 切削装置
- [发明专利]加工装置的搬送机构-CN201610889067.4有效
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福冈武臣
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株式会社迪思科
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2016-10-12
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2020-06-05
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B23Q7/16
- 提供加工装置的搬送机构，该加工装置(2)具有卡盘工作台(10)、加工单元(12)、使卡盘工作台在加工被加工物(11)的加工区域与搬出搬入被加工物的搬出搬入区域之间沿加工进给方向移动的加工进给单元以及使加工单元沿与加工进给方向垂直的分度进给方向移动的分度进给单元(16)，搬送机构将被加工物搬出搬入卡盘工作台，其具有：装载工作台(42)，其在与搬出搬入区域相邻的加工进给单元的一侧的区域内支承加工前的被加工物；卸载工作台(44)，其在与搬出搬入区域相邻的加工进给单元的另一侧的区域内支承加工后的被加工物；以及搬送单元(46、48、52)，其在卡盘工作台与装载工作台或卸载工作台之间搬送被加工物。
- 加工装置机构
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