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[发明专利]静电卡盘组件及其使用方法-CN202310194200.4在审
发明人： S·戈洛夫科夫;田中宏治 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：公开了静电卡盘组件、包括该组件的系统以及使用该静电卡盘组件和系统的方法。示例性静电卡盘组件包括检测夹持事件比如夹持力不足和/或衬底翘曲的检测器或电路。示例性系统和方法可以基于测量或确定的夹持事件来调节夹持力。
静电卡盘组件及其使用方法

[发明专利]涡旋压缩机-CN202080085156.8有效
发明人： 田中宏治;除补义信 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：提供一种涡旋压缩机，其抑制由涡旋件的磨损引起的效率的降低。涡旋压缩机(100)具备固定涡旋件(21)和可动涡旋件(22)。固定涡旋件(21)的固定侧涡旋齿(21b)的铅垂方向的尺寸、以及可动涡旋件(22)的可动侧涡旋齿的铅垂方向的尺寸被设定为，在可动涡旋件(22)相对于固定涡旋件(21)倾斜时，固定侧涡旋齿(21b)的末端面所包含的固定侧第一区域(21j)承受可动涡旋件(22)被按压于固定涡旋件(21)的力。固定侧第一区域(21j)包括从位于固定侧涡旋齿(21b)的最外周的固定侧基准点(21f)起0.0周～0.5周以及1.0周～1.5周的部分的末端面。
涡旋压缩机

[发明专利]推理装置、更新方法和更新程序-CN202080100874.8在审
发明人： 田中宏治;小林克希;小路悠介 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-05-21 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G06F16/28 文献下载
摘要：推理装置(100)具有：第1取得部(120)，其取得第1输入信息；存储部(110)，其存储包含与多个单词对应的多个节点的知识图；推理执行部(130)，其将多个节点中的基于第1输入信息的节点作为开始推理的推理开始节点，根据知识图执行推理；输出部(140)，其输出基于推理的结果的信息；第2取得部(150)，其取得表示用户针对推理的结果的意向且包含第1单词的第2输入信息；以及控制部(160)，其根据基于推理的结果的信息和第2输入信息来判定推理的结果是否适当，在推理的结果不适当的情况下，从多个节点中确定第1单词的节点，将AND节点追加到知识图中，经由AND节点将推理开始节点和第1单词的节点关联起来。
推理装置更新方法程序

[发明专利]推理装置、程序和推理方法-CN202080100701.6在审
发明人：池田久美子;田中宏治;小路悠介;小林克希 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G06N5/04 文献下载
摘要：具有：知识库部(112)，其存储用于进行针对请求的回答的推理的知识库；信息取得部(113)，其取得状况信息和响应信息，状况信息是包含来自用户的请求即用户请求的信息，响应信息包含用户针对推理的结果即推理结果的响应；推理部(114)，其针对状况信息中包含的用户请求，使用知识库进行推理；信息输出部(115)，其输出推理结果；反馈信息提取部(116)，其根据响应信息，针对用户请求确定用户期望的结果即期望结果；以及更新部(117)，其以使期望结果容易成为推理结果的方式对知识库进行更新。
推理装置程序方法

[发明专利]示教数据生成系统及示教数据生成方法-CN201910353288.3有效
发明人： 田中宏治;矢泽隆之;泷泽典彦 -专利权人：日本电产三协株式会社
申请日： 2019-04-29 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：一种示教数据生成系统及示教数据生成方法，即使简化机器人的示教作业，当装载于手上的玻璃基板在盒内移动时，也能够防止手上的玻璃基板和盒内部的构造物的干涉。在生成相对于盒搬运玻璃基板的机器人(3)的示教数据的示教数据生成系统(23)中，形成为与盒同形状并用于示教作业的虚拟盒(7)具备探测机构(28)，其测定装载于手上并且配置于虚拟盒(7)的基板放置部的上侧的玻璃基板的水平方向的位置及高度。生成示教数据的机器人控制部(4)基于探测机构(28)的测定结果，生成机器人(3)相对于虚拟盒(7)的基准示教数据，并且，基于盒相对于虚拟盒(7)的相对位置的数据和基准示教数据，生成机器人(3)相对于盒的示教数据。
数据生成系统方法

[发明专利]用于等离子体设备的基座组件-CN202111054274.5在审
发明人： S.金;田中宏治 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：用于反应器系统的基座组件可以提供各种等离子体控制益处。根据各种实施例，基座组件包括主体、加热器元件、第一电极和第二电极。主体可以具有顶表面、侧表面和底表面，其中顶表面是衬底支撑表面。加热器元件可以嵌入主体内。第一和第二电极也可以嵌入基座组件的主体内，第一电极设置在加热器元件和主体的顶表面之间。第二电极通常可以靠近侧表面和底表面中的至少一个设置。
用于等离子体设备基座组件

[实用新型]涡旋式压缩机和具有该涡旋式压缩机的制冷装置-CN202020214708.8有效
发明人： 田中宏治;除补义信;森诚也 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2020-02-26 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：涡旋式压缩机和具有该涡旋式压缩机的制冷装置，抑制浮动部件与动涡旋盘之间的润滑不良。涡旋式压缩机(1)具有：压缩机构(20)，其具有静涡旋盘(21)和动涡旋盘(26)；驱动轴(40)，其用于驱动动涡旋盘(26)旋转；以及浮动部件(50)，其具有支承动涡旋盘(26)的涡旋盘支承部(51)、将驱动轴(40)支承为能够进行旋转的轴支承部(53)、以及连结涡旋盘支承部(51)和轴支承部(53)的连结部(55)。设轴支承部(53)的外周面的靠动涡旋盘(26)侧的端部与连结部(55)的内表面之间的最短距离为第1壁厚(t)。第1壁厚(t)小于轴支承部(53)的径向的最大长度(L)。
涡旋式压缩机具有制冷装置

[发明专利]基板处理设备-CN202010221967.8在审
发明人： 田中宏治;高桥祐树 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种基板处理设备的示例包括：基座；轴，其支撑基座；流动控制环，其围绕基座同时相对于基座提供间隙；排气管，其布置在流动控制环正上方；板，其设置在基座上方；室，其围绕基座、流动控制环、排气管和板；以及联接部，其将轴联接至室，其中，所述联接部的至少一部分是绝缘体。
处理设备

[实用新型]涡旋式压缩机-CN201921443017.9有效
发明人：山田壮宏;田中宏治;篠原庆大 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种涡旋式压缩机，在涡旋齿中，抑制润滑油不足的发生。涡旋式压缩机(10)具备固定涡旋件(41)、可动涡旋件(42)以及浮子(72)。浮子(72)将可动涡旋件(42)向固定涡旋件(41)按压。连结固定涡旋件(41)的中心(O)和固定涡旋件外周点(D)的第二线段(OD)的尺寸是第1尺寸(FSin)。从浮子(72)与可动涡旋件(42)接触的接触面(72s)的径向外侧的第一端部(72e)到固定涡旋件(41)的中心(O)的尺寸是第2尺寸(HSGout)。在第1尺寸(FSin)、第2尺寸(HSGout)、固定涡盘基准厚度(T)之间，HSGout≤FSin+T的关系成立。
涡旋式压缩机

[发明专利]工业用机器人-CN201811558711.5在审
发明人：王玉竹;矢泽隆之;荒川洋;田中宏治 -专利权人：日本电产三协(浙江)有限公司;日本电产三协株式会社
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B25J9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种工业用机器人，其搬运规定的搬运对象物，能够在臂伸缩时减少手与周边的构造物等碰撞的可能性。该工业用机器人具备能够沿水平方向伸缩以使手在朝向一定方向的状态下大致线性移动的臂、可转动地连结臂的基端侧的臂支承部(24)、可转动地支承臂支承部(24)的基台(9)。当将臂以手朝向收容搬运对象物的收容部大致线性移动的方式伸缩时的、臂支承部(24)相对于基台(9)的转动方向上的臂支承部(24)的位置设为臂伸缩容许位置时，工业用机器人具备用于探测在臂伸缩容许位置存在臂支承部(24)的探测机构(33)，探测机构(33)具备安装于基台(9)上的传感器和安装于臂支承部(24)的探测部件。
臂支承部伸缩工业用机器人基台搬运对象物大致线性容许位置探测机构可转动收容探测部件构造物连结臂支承部传感器移动承臂基端搬运转动探测

[实用新型]虚拟盒-CN201822216759.X有效
发明人：王卿;田中宏治 -专利权人：日本电产三协（浙江）有限公司;日本电产三协株式会社
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：一种虚拟盒，在示教数据生成系统的示教作业中使用，即使简化机器人的示教作业，当装载于手上的玻璃基板在盒内移动时，也容易防止手上的玻璃基板和盒内部的构造物的干涉。本实用新型的虚拟盒在示教数据生成系统的示教作业中使用，其具有放置玻璃基板的多个基板放置部，且形成为与能收纳多片玻璃基板的盒相同的形状，并且，虚拟盒具备探测机构，其用于测定由水平多关节机器人的手搬入虚拟盒并且在放置于基板放置部之前配置于基板放置部的上侧的玻璃基板、及由手从基板放置部举起并配置于基板放置部的上侧的玻璃基板中的至少任一方的玻璃基板的水平方向的位置及高度，且具备用于测定玻璃基板的高度的传感器，该传感器是反射型的位移传感器。
玻璃基板基板放置部虚拟示教作业生成系统示教数据传感器多关节机器人本实用新型位移传感器收纳多个基板探测机构反射型构造物多片配置手搬机器人装载举起干涉移动

[实用新型]虚拟盒-CN201822215349.3有效
发明人：王卿;田中宏治 -专利权人：日本电产三协（浙江）有限公司;日本电产三协株式会社
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：一种虚拟盒，在示教数据生成系统的示教作业中使用，即使简化机器人的示教作业，当装载于手上的玻璃基板在盒内移动时，也容易防止手上的玻璃基板和盒内部的构造物的干涉。本实用新型的虚拟盒在示教数据生成系统的示教作业中使用，其具有放置玻璃基板的多个基板放置部，且形成为与能收纳多片玻璃基板的盒相同的形状，并且，虚拟盒具备探测机构，其用于测定由水平多关节机器人的手搬入虚拟盒并且在放置于基板放置部之前配置于基板放置部的上侧的玻璃基板、及由手从基板放置部举起并配置于基板放置部的上侧的玻璃基板中的至少任一方的玻璃基板的水平方向的位置及高度，且具备用于测定玻璃基板的高度的传感器，该传感器是镜面反射型的位移传感器。
玻璃基板基板放置部虚拟示教作业生成系统示教数据传感器多关节机器人本实用新型镜面反射型位移传感器收纳多个基板探测机构构造物多片配置手搬机器人装载举起干涉移动

[发明专利]压缩机-CN201880013848.4在审
发明人： 田中宏治;松川和彦;川本启介 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2018-02-22 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： F04B39/12 文献下载
摘要：本发明的压缩机具有能够使用最佳量的钎料适当地对配管进行钎焊的构造。涡旋压缩机(101)包括外壳(10)、配管接头(80)和外部配管(82)。外壳(10)具有形成有上表面开口(12b)的上表面(12a)。配管接头(80)在上表面开口(12b)处固定于外壳(10)。外部配管(82)插入配管接头(80)的内部，并通过钎焊固定于配管接头(80)。配管接头(80)具有止动部(80b)。止动部(80b)限制插入于配管接头(80)的内部的外部配管(82)的固定位置。第1距离(D1)为第2距离(D2)的30％以下。第1距离(D1)是配管接头(80)的轴向上的上表面开口(12b)的外周处的上表面(12a)与止动部(80b)之间的距离。第2距离(D2)是处于配管接头(80)的内部的外部配管(82)的轴向的尺寸。
配管接头上表面配管止动部外部开口压缩机钎焊涡旋压缩机钎料外周轴向

[发明专利]压缩机-CN201580046374.X有效
发明人：野吕匡宏;村上泰弘;田中宏治 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： F04C29/02 文献下载
摘要：提供一种使用平衡重的压缩机，其能够抑制由平衡重引起的溢油。涡旋压缩机具备曲柄轴(50)、电动机、上部平衡重(60)和溢油抑制部件(70)。电动机具有转子，其与曲柄轴连结；和定子，其在内部隔着气隙容纳转子。平衡重与转子相邻地配置，并与曲柄轴成为一体。溢油抑制部件围绕平衡重通过空间(Sbw)的上方、下方和侧方。平衡重通过空间是在曲柄轴旋转了360°时供平衡重的至少一部分通过的空间。
压缩机

[发明专利]压缩机-CN201480016767.1有效
发明人： 田中宏治;北浦洋;村上泰弘;冈村勇太 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2014-01-31 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： F04B39/02 文献下载
摘要：在驱动轴(23)上，形成与供油孔(71a、72a、73a)连通的平面状或者凹面状的排油通路(71c、72c、73c)，且该排油通路(71c、72c、73c)的宽度在供油孔(71a、72a、73a)的外径尺寸以下，并且构成为：排油通路(71c、72c、73c)的靠驱动轴(23)旋转方向后方的端缘比供油孔(71a、72a、73a)的靠驱动轴(23)旋转方向后方的端缘位于驱动轴(23)的旋转方向的后方，由此防止异物积存在压缩机的驱动轴(23)上的供油孔(71a、72a、73a)处，从而防止轴承(29a、29b、29c)受到损伤。
压缩机

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