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[发明专利]衬底预热系统、方法、电子设备、存储介质及外延设备-CN202210171589.6有效
发明人：孔倩茵;唐卓睿;王慧勇;刘欣;毛朝斌 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及衬底预热系统、方法、电子设备、存储介质及外延设备，用于在反应前对衬底进行预热，包括：预热装置、反应装置、移动装置、控制器，控制器与预热装置、反应装置和移动装置电性连接，用于获取预热装置内的第一温度信息和反应装置内的第二温度信息，还用于调节预热装置的温度和反应装置的温度，在反应装置需要装入新的衬底时，控制预热装置升温和反应装置降温，并在第一温度信息大于或等于第二温度信息时，同时控制预热装置停止升温和反应装置停止降温，并控制移动装置将预热装置内新的衬底转移至反应装置中，本申请通过上述系统，实现衬底从预热装置移动到反应装置的动态控制，提高了衬底的预热效率。
衬底预热系统方法电子设备存储介质外延设备

[发明专利]一种基于强化学习的小样本类增量识别方法-CN202310688597.2在审
发明人：李竞元;李勇;史鹏飞;钟鸿豪;王慧勇;山世光;山盛;高黎明;刘壮;高科;杨茹茵;申一中 -专利权人：中科视拓（北京）科技有限公司;中科深视（杭州）科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G06V10/764 文献下载
摘要：本发明提供的一种基于强化学习的小样本类增量识别方法，所述识别方法包括：下载小样本类增量学习数据集；设计基于强化学习的小样本增量分类识别网络；利用训练数据对所述网络进行训练，获得训练网络；根据所述训练网络生成小样本类增量学习模型；采用所述小样本类增量学习模型进行小样本增量分类识别。解决上述现有技术未自适应探索新类分类器学习策略造成不能缓和小样本增量学习灾难遗忘的问题。
一种基于强化学习样本增量识别方法

[发明专利]一种有效降低碳化硅外延片缺陷密度的方法-CN202310419900.9在审
发明人：张南;郭嘉杰;黄吉裕;刘自然;谭永炘;王慧勇;罗骞 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种有效降低碳化硅外延片缺陷密度的方法，属于半导体加工领域，将生长外延层的步骤分成了若干个周期，每个周期内依次包括高速生长过程、气氛修正过程和低速生长过程，气氛修正过程中的硅源流量小于低速生长过程的硅源流量，且碳源流量为零。气氛修正过程避免外延层长期处于富碳环境中，能够周期性地修正反应室中的气氛，全程不会完全中断生长源气流，对台阶流生长模式的影响小，有利于降低外延片缺陷密度，低速生长过程在不中断生长源气流的前提下起到刻蚀作用和退火作用相结合的综合效果，有利于修复衬底表面缺陷、提升外延层的结晶质量，从而为下一轮高速生长过程提供良好表面作为基础，能进一步减少外延片缺陷。
一种有效降低碳化硅外延缺陷密度方法

[发明专利]一种真空射频镀膜设备的观察窗的制造方法及观察窗-CN202210711263.8有效
发明人：吴国发;罗骞;刘自然;何嵩;王慧勇;孔倩茵 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本申请涉及真空镀膜技术领域，具体提供了一种真空射频镀膜设备的观察窗的制造方法及观察窗，其包括：准备并清洗基板玻璃；对所述基板玻璃进行真空镀膜处理，以使所述基板玻璃至少一侧具有至少一层透明导电氧化膜；根据至少一种刻划图案对所述透明导电氧化膜进行刻划处理，以使所述透明导电氧化膜的透光率大于等于预设透光率；在刻划后的所述透明导电氧化膜上设置引出电极；利用封装胶膜及盖板玻璃封装所有所述透明导电氧化膜，以制成所述观察窗；该方法制造的观察窗能同时满足高电磁屏蔽效果和大观察范围的要求。
一种真空射频镀膜设备观察窗制造方法

[发明专利]掺杂浓度测量方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310810542.4在审
发明人：张南;郭嘉杰;黄吉裕;胡承;王慧勇;刘自然;罗骞 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本申请属于测量掺杂浓度的技术领域，公开了一种掺杂浓度测量方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：步骤S101，获取测量点的数量和位置坐标，步骤S102，根据数量和位置坐标，对测量点进行拍照，得到测量点的位置图片，步骤S103，基于位置图片，对测量点进行坐标修正，得到修正坐标后的测量点，步骤S104，对修正坐标后的测量点进行测量，得到修正坐标后的测量点的掺杂浓度数据，通过测量修正坐标后的测量点的掺杂浓度，以获取测量点的掺杂浓度，提高了掺杂浓度的测量效率。
掺杂浓度测量方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉-CN202210438710.7有效
发明人：伍三忠;徐俊;王慧勇;刘欣然;盛飞龙 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本发明属于外延生长技术领域，特别涉及一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉，其中，外延炉的阀门隔热装置包括：法兰，用于连接外延炉的反应室和外延炉的传输阀，法兰上设有用于进行衬底上下料的传输口；装置还包括：隔热挡板，活动安装在法兰靠近反应室的一侧；驱动机构，安装在法兰上，且与隔热挡板连接，用于根据反应室的运行状态驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输口；该装置能根据反应室的运行状态利用驱动机构驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输阀与反应室之间的法兰上的传输口，从而减少了传输阀的温升，有效避免了传输阀的阀板因高温而损耗使用寿命，并有效减少反应室内高温对传输室内温度的影响。
一种外延阀门隔热装置

[发明专利]一种医用保温箱温湿度监控设备-CN202310279063.4在审
发明人：许鹏飞;郭姣;贺政杰;王慧勇;陈辉辉;梁君伟 -专利权人：河南新电信息科技有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G05D27/02 文献下载
摘要：本发明涉及温湿度物联网技术领域，更具体的公开了一种医用保温箱温湿度监控设备，包括外箱体，其特征在于，所述外箱体的顶端设有箱体盖，所述外箱体顶端的侧面设有监控外壳，所述箱体盖底端的内壁上固定连接设有控制灯控联，所述控制灯控联的内侧活动卡接设有紫外线杀菌灯，所述外箱体的内壁设有内保温隔绝层，所述监控外壳的内部设有工作主板，所述工作主板顶端的一侧固定连接设有压杆传接杆，所述压杆传接杆的顶端活动连接设有上压连柱，通过开关时间，温度采集时间间隔，温控范围值，湿度范围值，开关前后内部温度湿度对比值确定杀菌时间，使杀菌效果更好，更加的稳定，药物的后续使用效果更好。
一种医用保温箱温湿度监控设备

[发明专利]一种托盘基座、气流驱动装置及外延设备的反应室机构-CN202111187817.0有效
发明人：孔倩茵;唐卓睿;赵海英;王慧勇;刘欣 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请涉及外延生长技术领域，具体公开了一种托盘基座、气流驱动装置及外延设备的反应室机构，其中，托盘基座底部设有多个圆周阵列的气流槽，多个气流槽通过一进气槽连通，气流槽包括：内槽，与进气槽连通；外槽，与内槽和托盘基座边缘连通；内槽深度小于外槽深度以使得进气槽导入的气流进入内槽中增大动压而托起托盘基座后，再进入外槽中朝外释放而驱动托盘基座旋转；该托盘基座将气流槽设置为内槽和外槽两部分，使得导入的气流从进气槽导入至内槽时产生较大的动压而将托盘基座浮起，其后气流再进入外槽中朝外释放以驱动托盘基座旋转，从而实现了托盘基座先浮起后旋转的启动方式。
一种托盘基座气流驱动装置外延设备反应机构

[发明专利]一种外延反应加热控制方法、系统、电子设备及存储介质-CN202210794117.6有效
发明人：谢利华;毛朝斌;王慧勇 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种外延反应加热控制方法、系统、电子设备及存储介质，外延反应加热控制方法用于外延反应设备，包括以下步骤：输出最大加热功率信息以使外延反应设备的外延腔迅速升温至预设的第一温度信息；根据第一温度信息、预设的第二温度信息以及第二温度信息对应的起始加热功率信息生成加热功率曲线；根据加热功率曲线调节并输出加热功率信息以使外延腔逐渐升温，直至加热功率信息下降至起始加热功率信息；对外延腔进行PID控制加热使外延腔升温至预设的外延反应温度信息所对应的温度，本申请通过上述方法使外延腔在加热过程中不会因为加热功率突变而导致温度产生波动，从而提高加热效率及加热稳定性。
一种外延反应加热控制方法系统电子设备存储介质

[发明专利]一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法-CN202210481219.2有效
发明人：盛飞龙;郭嘉杰;王慧勇;王鑫;吴彩庭;孔倩茵 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法，其包括：所述反应室包括上半月石墨腔体和下半月石墨腔体，所述上半月石墨腔体两侧通过侧壁支撑石墨件与所述下半月石墨腔体连接，以围合构成气体反应腔，所述上半月石墨腔体的底壁具有多条平行设置的冷却流道，所述上半月石墨腔体一侧设有与所述冷却流道连接的冷却气体提供组件，所述冷却气体提供组件用于在所述反应室进行外延生长时为所述冷却流道提供所述冷却气体；该外延沉积反应室能够有效地减少由于反应气体在上半月石墨腔体的底壁发生化学反应而形成晶体的情况。
一种外延沉积反应系统方法

[发明专利]一种检测实体瘤微小残留病灶的方法-CN202211269850.2在审
发明人： 王慧勇;李超;夏林 -专利权人：慧算基因科技（上海）有限公司;上海津熙医学检验实验室有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C12Q1/6886 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测实体瘤微小残留病灶的方法，包括通过142基因的检测panel(MRDPanel)对实体瘤患者检测ctDNA突变信息；以及通过低深度WGS测序评估实体瘤患者的基因组不稳定性；结合ctDNA突变信息及基因组不稳定性结果,得到ctDNA含量的估计，并给出对应的风险分级。本发明提供了一种检测实体瘤微小残留病灶的方法，本发明提出了可同时检测ctDNA突变信息及基因组不稳定性的检测流程，通过同时评估两个指标,可显著提升MRD检出率,降低假阴性。
一种检测实体微小残留病灶方法

[实用新型]保温板定位件及住宅建筑保温墙体结构-CN202223268645.2有效
发明人：常军军;王慧勇;宫志林 -专利权人：中化二建集团有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： E04B1/76 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种保温定位件及住宅建筑保温墙体结构，保温板定位件包括U型定位固定卡、堵头、连接管和压盖；所述U型定位固定卡包括前端的两个头部和后端的U形部，所述堵头内侧设置有两个插孔，U形定位固定卡的两个头部分别插入所述插孔内，U形定位固定卡的U形部固定于连接管内，压盖可拆卸连接于连接管末端。住宅建筑保温墙体结构中，保温板定位件贯穿所述墙体结构、保温板和保护层。利用本实用新型能够实现保温板与主体工程同期浇筑施工，外墙无需再次加贴保温层，可缩短工期，提高施工速度。形成保温板夹层结构，防火等要求可达到标准要求，且延长了保温板的使用寿命。
保温定位住宅建筑墙体结构

[发明专利]一种反应腔内表面保护装置、外延反应监控装置及方法-CN202210205878.3有效
发明人：刘欣然;黄吉裕;王慧勇;刘自然;王鑫;徐俊 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种反应腔内表面保护装置、外延反应监控装置及方法，用于保护外延设备的反应腔的内表面，所述反应腔内表面保护装置包括：石墨纸、第一转轴和第二转轴，所述第一转轴和所述第二转轴分别安装在所述反应腔的进气端和出气端，所述石墨纸两端分别套接在所述第一转轴与所述第二转轴上，所述石墨纸在所述反应腔的内顶部具有水平段，且能在所述第一转轴以及所述第二转轴的转动作用下在所述反应腔的内顶部沿单一方向水平输送，通过在反应腔内表面设置保护装置，石墨纸持续工作带走石墨纸上的结晶，防止结晶掉落在衬底上，且无需对反应腔内表面频繁清洗。
一种反应表面保护装置外延监控装置方法

[实用新型]一种建筑施工技术安全防护装置-CN202222088348.3有效
发明人：贾芳萍;温燕萍;王慧勇 -专利权人：山西广林建筑工程有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： E04H17/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种建筑施工技术安全防护装置，属于安全防护装置技术领域，以解决现有技术中，其仍需要手动拧松固定的螺栓，还是较为费时，不能快速进行拆卸，包括护栏、安全警示灯牌和支杆，所述护栏的中部下端固定安装透视盒，在透视盒的内部放置有安全警示灯牌，安全警示灯牌的上端电性连接有蓄电池，所述护栏的两端均套接有支杆并通过支杆外部的螺钉进行固定，通过设置公连接件和母连接件采用插接后利用卡块插接卡槽的固定方式，对多个装置拼接时起到了快速固定的作用，相比采用螺钉的固定方式，该方式利用弹簧复位抵触卡块插接卡槽的方式更为高效，在进行多个装置组装时，相比螺钉固定方式，要更为快捷。
一种建筑施工技术安全防护装置

[发明专利]一种低残留的植物精油提取系统及方法-CN202211165171.0在审
发明人： 王慧勇 -专利权人： 王慧勇
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C11B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及植物精油提取领域，尤其涉及一种低残留的植物精油提取系统及方法，包括提取罐体，所述提取罐体内安装有以下组件：碎化组件，用于将待提取精油的植物进行粉碎处理；聚拢斗，用于将粉碎后的植物残渣进行聚拢收集；滤板，用于承载粉碎后的植物，为蒸汽提取过程提供保证；残渣承载组件，用于盛接处理后落下的植物残渣；提取组件，用于将精油提取过程中产生的蒸汽进行收集处理，保证精油提取过程的顺利进行。本发明能够有效地提高植物精油提取过程中的提取率，还能够降低后续残渣产物的体积，达到低残留的效果。
一种残留植物精油提取系统方法

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