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[发明专利]一种表征铸锭长晶界面的方法-CN201710458233.X有效
发明人：王双丽;游达;黄春来 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种表征铸锭长晶界面的方法，检测小方锭的电阻率并记录电阻率在小方锭上的高度位置，建立电阻率的高度位置的数据矩阵，根据数据矩阵表征铸锭平行于长晶方向的任一横截面的长晶界面形状，或表征铸锭的同一电阻率的二维或三维界面；由于硅锭中的电阻率与掺杂剂的浓度正相关，因此电阻率的分布反应了硅锭中掺杂剂浓度大小，即在同一时刻同一固液界面完成长晶的多晶硅具有相同的掺杂剂浓度和电阻率值，因此通过获得电阻率的分布特点，能够较准确的得到长晶界面形状，进而揭示多晶硅铸锭过程的长晶行为。
一种表征铸锭界面方法

[实用新型]石墨护板、铸锭设备-CN201821419946.1有效
发明人：武鹏;赵玉兵;蒋立洋;胡动力 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种石墨护板，用于坩埚与侧加热器之间，石墨护板一侧的表面开设有多个凹槽，凹槽布满石墨护板的表面。上述技术方案至少具有以下技术效果：石墨护板一侧的表面开设有多个凹槽，减少了石墨护板与坩埚的接触面积，减少了高温时石墨护板与坩埚反应生成的一氧化碳气体，减少对硅锭中碳含量的影响，同时，也为坩埚提供了更大的形变空间。本实用新型还提供一种铸锭设备，包括：炉体，炉体内设有隔热笼体，隔热笼体内设有热交换块，热交换块上方设有坩埚，坩埚的外侧设有加热器，坩埚和加热器之间设有由多个如上任一项所述的石墨护板首尾拼接而成的坩埚护板，石墨护板开设凹槽的表面朝向坩埚。
护板石墨坩埚加热器本实用新型表面开设热交换块铸锭设备一氧化碳气体体内侧加热器隔热笼体技术效果首尾拼接形变空间隔热笼硅锭炉体

[发明专利]多晶硅铸锭炉二次加料装置及多晶铸锭系统-CN201610383050.1有效
发明人：田义良;王双丽;田野;居发亮 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2016-06-01 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明涉及多晶硅铸锭炉二次加料装置及多晶铸锭系统，包括：料仓，连接有加料管；输料管，与加料管连通；缓冲仓，通过缓冲仓进料管与输料管连通，缓冲仓的底部具有缓冲仓出料口，缓冲仓的内部设置有密封件用以封闭或打开缓冲仓出料口；升降装置，用以控制缓冲仓的升降及用以控制密封件的升降；出料连接管，与缓冲仓出料口连通；出料管，与出料连接管连通，且出料管的出口端弯曲；其中，加料管、输料管、缓冲仓进料管、缓冲仓出料口、出料连接管、出料管依顺序直径呈增大趋势，且相邻两个相连接的元件中，后一个的直径不小于前一个的直径。设置缓冲机构以缓冲硅料，减小加料时的冲击力，通过对输料管路的尺寸优化，避免造成堵塞管路的情况。
多晶铸锭二次加料装置系统

[发明专利]晶硅铸锭加热器及其使用方法-CN201811389892.3在审
发明人：王双丽;张华利;胡动力 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶硅铸锭加热器，包括顶部加热器；侧部加热器，包括侧部上加热器及侧部下加热器，其中所述侧部上加热器和顶部加热器串联形成串联单元，所述串联单元和侧部下加热器分别独立连接电源。上述晶硅铸锭加热器,侧部加热器分成两部分，一部分独立连接电源，另一部分与顶部加热器串联，从而在长晶过程中可以方便地控制各自的发热功率，从而可以灵活控制侧部加热器向硅料辐射热量，优化长晶耗时和铸锭周期。还提出一种上述加热器的使用方法。
加热器侧部加热器顶部加热器串联单元独立连接晶硅铸锭上加热器铸锭串联电源发热功率辐射热量灵活控制硅料种晶耗时优化

[实用新型]铸锭炉热场结构-CN201820641205.1有效
发明人：田野;居发亮 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铸锭炉热场结构，用于铸锭晶体硅锭，包括：炉体；隔热笼体，设置在所述炉体的内部，其中，所述隔热笼体包括固定的上隔热笼，以及可相对上隔热笼升降的下隔热笼；可升降的隔热底板，与所述隔热笼体可形成密闭空间；热交换台，设置在所述隔热底板的上方；坩埚，放置在所述热交换台上；顶加热器，设置在所述坩埚的上方；侧加热器，设置在所述坩埚的外侧。上述铸锭炉热场结构中，隔热笼体分成固定的上隔热笼和可升降的下隔热笼，在长晶过程中，通过移动下隔热笼，使得侧部加热器上半部分的热量能够有效地散失，防止热应力的产生，从而能够更有效地控制晶体生长后的固液界面，更加精确地控制晶体生长周期以及晶体质量。
隔热笼体热场结构上隔热笼下隔热笼铸锭炉坩埚隔热底板固定的可升降炉体热交换本实用新型侧部加热器有效地控制侧加热器顶加热器固液界面晶体硅锭晶体生长控制晶体密闭空间热交换台生长周期热应力有效地铸锭升降移动

[发明专利]坩埚护板及其使用方法-CN201811079222.1在审
发明人：武鹏;蒋立洋;赵玉兵;周声浪;张华利;胡动力 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2018-09-17 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种坩埚护板，包括：坩埚侧护板，由多个石墨护板首尾拼接而成；石墨盖板，设于坩埚侧护板一侧，与坩埚侧护板共同形成可容纳坩埚的腔体，石墨盖板的中心位置设有与腔体的内部空间连通的进气孔；石墨护板靠近石墨盖板的位置设有至少一个第一排气孔，第一排气孔连通腔体内外的空间；石墨护板和石墨盖板密封连接；石墨护板和石墨盖板的内表面均附着有碳化硅层。上述坩埚护板中的石墨护板和石墨盖板的内表面均附着有碳化硅层，在铸锭过程中，能够阻隔高温时硅蒸汽、一氧化硅与石墨护板、石墨盖板中碳材质的反应，减少碳杂质的引入，从而减少硅锭中碳杂质沉淀，降低铸造晶体硅中碳杂质含量，以减少太阳能电池的漏电现象。
护板石墨盖板坩埚石墨侧护板碳杂质碳化硅层内表面排气孔附着腔体太阳能电池漏电现象密封连接首尾拼接一氧化硅铸锭过程硅蒸汽进气孔晶体硅连通腔碳材质硅锭连通沉淀阻隔铸造容纳体内引入

[发明专利]一种全熔高效多晶硅铸锭的方法-CN201610345926.3有效
发明人：郑玉芹;武鹏;黄春来;张华利;吴义华 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2016-05-23 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种全熔高效多晶硅铸锭的方法，包括以下步骤：将混合有无机或有机成孔剂的形核源涂液涂覆在坩埚底部，形成疏松多孔的形核源层；在形核源层上方设置熔融状态的硅料；控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升，使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶，生成晶体硅锭。上述方法中，形核源层制备过程中加入有无机或有机成孔剂，形成疏松多孔的形核源层，使硅液与底部形核源层接触面积增加，从而使全熔高效多晶底部形核点更多且更均匀，使从而提升形核能力。此外，还可以减少铺底形核颗粒料的使用，降低铸锭成本。
一种高效多晶铸锭方法

[实用新型]晶体铸锭加热器及铸锭设备-CN201721539287.0有效
发明人：武鹏;王双丽;徐岩 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶体铸锭加热器及铸锭设备，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，或所述加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器，所述铸锭设备包括所述加热器。通过改变顶部加热器、侧部加热器和底部加热器的电阻分布情况，即所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低，所述底部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，从而实现电阻的分布不均匀，使得在制备晶体硅锭的过程中，能够调整长晶时的固液界面，使其固液界面变平。
加热器侧部加热器顶部加热器电阻分布底部加热器逐渐降低铸锭设备固液界面铸锭本实用新型晶体硅锭不均匀变平电阻制备

[发明专利]制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉-CN201711136155.8在审
发明人：武鹏;王双丽;徐岩 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： C30B11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备晶体硅锭的加热器及铸锭炉，所述加热器包括顶部加热器和侧部加热器，或所述加热器包括顶部加热器、侧部加热器和底部加热器，所述铸锭炉包括所述加热器。通过改变顶部加热器、侧部加热器和底部加热器的电阻分布情况，即所述顶部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，所述侧部加热器的电阻分布为自上而下逐渐降低，所述底部加热器的电阻分布为自中间向四周逐渐降低，从而实现电阻的分布不均匀，使得在制备晶体硅锭的过程中，能够调整长晶时的固液界面，使其固液界面变平。
制备晶体加热器铸锭

[实用新型]一种用于铸锭炉的热交换块及铸锭炉-CN201720463362.3有效
发明人：武鹏;王双丽;田义良;居发亮;黄春来;郭晓琛 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于铸锭炉的热交换块，包括热交换块主体部分、环绕热交换块主体部分一周的热交换块外延部分以及位于二者之间的隔热层。上述热交换块的外延部分与主体部分由于中间间隔有隔热层，因此两者之间的热传导率低，可以减少热交换块边缘区域向中间区域的传热，减缓坩埚侧壁处的长晶速度，形成中间微凸的固液界面，利于提高铸锭工艺的排杂能力。还提出一种具有上述热交换块的铸锭炉。
一种用于铸锭热交换

[实用新型]一种电子级多晶硅的生产系统-CN201720111678.6有效
发明人：吴锋;梁帅军;韩锋;杨亮 -专利权人：江苏鑫华半导体材料科技有限公司;江苏协鑫硅材料科技发展有限公司;江苏中能硅业科技发展有限公司
申请日： 2017-02-06 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： C01B33/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子级多晶硅的生产系统，包括顺序连接的反应精馏装置(1)、精馏除杂装置(2)、还原装置(3)、尾气回收装置(4)和氢气提纯装置(5)；其中尾气回收装置(4)连接到精馏除杂装置(2)，氢气提纯装置(5)连接到精馏除杂装置(2)，所述各装置各自独立的包含若干个进料口和若干个出料口，前一个装置的出料口通过管道连接到后一个装置的进料口。本实用新型的系统可以生产低成本电子级多晶硅。
一种电子多晶生产系统

[实用新型]晶硅铸锭炉-CN201720212243.0有效
发明人：田野;游达;黄春来;张华利 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶硅铸锭炉，包括炉体；隔热笼；热交换台；水冷盘，包括与热交换台底部接触的导热板、与导热板的表面相接触的冷却水管，其中冷却水管在导热板的表面上自导热板的中心向外围以等速螺旋的方式延伸，冷却水管的注水口对应于导热板的中心位置，出水口在导热板表面上的投影靠近导热板的边缘，导热板的中心与热交换台底部中心对应，且导热板的四周边缘与热交换台底部四周边缘重合。冷却水先对热交换台底部的中部区域进行散热，带走较多热量，冷却水经过四周时水温已升高故只带走少量热量，使得热量主要通过热交换台的中部区域散热，四周辅助散热，且冷却水管均匀分布，能获得相对平整、中间微凸的固液界面，利于铸锭排杂。
铸锭

[发明专利]一种电子级硅粉制备硅块的方法-CN201710495911.X有效
发明人：倪鹏;刘仪科;丁俊 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2017-10-17 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种电子级硅粉制备硅块的方法，包括步骤：将电子级硅粉引入位于碳管炉中的管道内；使碳管炉内保持惰性气氛，加热管道内的硅粉使其熔化，并使硅液流入设置在碳管炉中的坩埚中固化成硅块。上述方法，在碳管炉中加热熔化硅粉，使硅粉熔化后形成的硅液注入冷坩埚中，在坩埚中固化成硅块，此种方法不需要借助价格昂贵的铸锭炉或单晶炉铸锭实现，提供了一种工艺简单且成本低的处理方法。
一种电子级硅粉制备方法

[实用新型]一种电子级多晶硅尾气吸收的控制系统-CN201720109977.6有效
发明人：吴锋;袁浩;陈远新;孙江桥 -专利权人：江苏鑫华半导体材料科技有限公司;江苏协鑫硅材料科技发展有限公司;江苏中能硅业科技发展有限公司
申请日： 2017-02-06 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子级多晶硅尾气吸收的控制系统，包括吸收塔、解吸塔、第一在线色谱仪、第二在线色谱仪和DCS控制系统，通过在解吸塔底部出口管上设置第一控制点，在吸收塔顶部出料管上设置第一控制点，通过三通引出少量物料向在线色谱仪进料获得检测结果Q1和Q2，Q1和Q2输入DCS控制系统，以串级控制的方式对解吸塔回流管线上的气动阀进行控制，以控制解吸塔的回流比，提高回收氢气的质量。通过本控制系统，可以使吸收塔对于氢气物料中HCL等杂质的吸收效果稳定有效，不会对后续吸附塔中吸附提纯效果造成影响，进而能够产出纯度合格的氢气原料。
一种电子多晶尾气吸收控制系统

[发明专利]一种多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭-CN201410632434.3有效
发明人：张帅;朱常任;郭晓琛;王双丽 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2014-11-11 - 公布日： 2017-08-01 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种多晶硅锭的制备方法及由该方法制得的多晶硅锭，其中多晶硅锭的制备方法包括以下步骤制备悬浮有形核颗粒的硅溶液；使熔化的硅溶液定向凝固，制得多晶硅锭。硅溶液中悬浮有形核颗粒，促使铸锭过程中不断形核生长，从而能均匀控制制得的多晶硅锭的晶粒的尺寸和缺陷密度，提升硅片的转换效率。
一种多晶制备方法