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[发明专利]多晶硅铸锭炉的气流控制结构及其使用方法-CN201110439458.3有效
发明人：杨细全;胡亚兰 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2011-12-23 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种多晶硅铸锭炉的气流控制结构，其特征在于，炉体包括两路充气口，一路为中央充气，另一路经侧导气管道引流至坩埚护板侧壁处充气，此外，炉体抽气口面的隔热笼的上部开有侧壁窗口。本发明还提供了一种上述多晶硅铸锭炉的气流控制结构的使用方法，即在杂质量较多的加热、熔化及长晶初期阶段，采用侧向充气，使得基本无含杂质气体在硅液表面循环流动，而在长晶后期，由于气体内部杂质量含量降低，且固液界面离硅液表面较近，故关闭侧充气气路，采用中央充气方式，从而保持中央略凸型的固液界面。本发明克服了含高浓度杂质气体在硅液表面循环流动从而污染硅料的缺点，提高铸锭炉排杂能力，进而提高硅片质量。
多晶铸锭气流控制结构及其使用方法

[发明专利]氮化硅的回收方法-CN201010570860.0有效
发明人：黄春来;薛抗美;朱战军;陈龙;田义良;胡亚兰 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2010-12-02 - 公布日： 2012-06-06 - 主分类号： C01B21/068 文献下载
摘要：本发明涉及从涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚回收氮化硅的方法，该方法包括：a)对置于惰性液体介质，优选水，更优选去离子水中的、涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚进行超声波处理，获得含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质，和b)对由步骤a)获得的含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质进行物理纯化步骤以分离氮化硅粉末。使用本发明的回收方法，可得到直接应用于生产的氮化硅粉末，坩埚壁上的氮化硅脱模剂回收率可以达到60-80％，极大地降低了生产成本。
氮化回收方法

[发明专利]硅片清洗剂-CN201010566271.5有效
发明人：黄春来;薛抗美;朱战军;陈龙;胡亚兰 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2010-11-29 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： C11D1/825 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片清洗剂，含有表面活性剂、助溶剂、金属络合物、悬浮剂、硅片腐蚀剂和水，其特征在于，所述的表面活性剂含有水溶性含氟非离子表面活性剂和醇醚类表面活性剂，所述水溶性含氟非离子表面活性剂和醇醚类表面活性剂的重量比为1∶10至1∶40。本发明公开的硅片清洗剂既不会对硅片表面造成严重腐蚀、又具有极佳的清洗效果。
硅片洗剂

[实用新型]一种铸锭炉-CN201120268299.0有效
发明人：武鹏;胡亚兰;陈伟 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2011-07-27 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铸锭炉，其中，隔热笼通过提升件活动连接在上炉体上，热交换台和下隔热板上下间隔开地通过支柱固定在下炉体上并将热交换台置于隔热笼内，顶隔热板通过电极固定于上炉体上，所述电极从顶隔热板的底部延伸出来并固定有加热器，在炉室内，还具有设于下隔热板之上和热交换台之下的辅助隔热板，其通过丝杆活动连接在所述下炉体上。在加热阶段，辅助隔热板与热交换块接触，减少硅溶液通过热交换块向下散热而导致的热量损失。当本结构用于单晶硅的生产时，可以使熔化阶段固液界面较平，有利于坩埚中间和四周的单晶籽晶厚度均匀，从而提高单晶硅质量。在长晶阶段，辅助隔热板打开，与下隔热板接触，可以加快硅溶液通过热交换块散热。
一种铸锭

[实用新型]用于铸锭炉的分体式隔热笼-CN201120152409.7有效
发明人：武鹏;陈伟;胡亚兰;杨晓琴;田义良 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2011-05-13 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于铸锭炉的分体式隔热笼，其特征在于：该分体式隔热笼由上侧隔热笼(3)和下侧隔热笼(4)组成，且上侧隔热笼(3)和下侧隔热笼(4)的底端四周设有向内突出的环形挡块(3′、4′)。该分体式隔热笼解决了现有铸锭炉在熔化过程中，单晶籽晶上浮熔化的问题，可在铸锭炉内生产出质量优异的铸造单晶硅。
用于铸锭体式隔热

[实用新型]多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具-CN201020691668.2有效
发明人：程宜红;薛抗美;朱战军;陈龙;胡亚兰 -专利权人： 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2010-12-27 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉上料用坩埚吊装夹具，用于夹持其上放置有坩埚的坩埚底板(3)，夹具包括吊装架(1)、夹持装置(2)和锁紧机构(4)，吊装架(1)的底端与夹持装置(2)活动连接，其中夹持装置(2)包括两个相对平行设置的用于夹持坩埚底板(3)的夹持臂(21)以及由每个夹持臂(21)的两端向内垂直延伸的活动臂(22)，吊装架(1)的底端具有两个垂直于夹持臂(21)的支撑梁(11)，活动臂(22)相对支撑梁(11)可滑动地连接，锁紧机构(4)用于在夹持臂(21)接合坩埚底板(3)后将活动臂(22)相对支撑梁(11)锁定。该夹具结构简易，方便使用，同时通过减少了对坩埚底板的损毁。
多晶铸锭炉上料用坩埚吊装夹具