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[实用新型]用于晶圆片载盘存放的运输车-CN202321321411.1有效
发明人：林基明;李孟轩;林宏达;翟虎 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于晶圆片载盘存放的运输车，该运输车包括箱体、多个放置组件、空气净化装置、电源以及行走机构，其中，箱体内部设置有分隔板，以将箱体分成相互隔绝的第一空间和第二空间；多组放置组件沿竖直方向间隔均匀地布置在第一空间内，且每组放置组件分别包括两个相对设置在箱体两侧内壁的固定板；空气净化装置集成在箱体上以用于净化第一空间内的空气；电源容纳于第二空间内，用于为空气净化装置供电；行走机构设置于箱体的底部。通过上述技术方案，该运输车能够有效避免晶圆片在转运过程中被污染，同时提高晶圆片的转运效率。
用于晶圆片载盘存运输车

[发明专利]110kV单母线接线变电站母线停电转供电方法-CN202310766610.1在审
发明人：姚钊泓;刘文佳;陈翔;黄烜;林耿;陈晓佳;张泽彬;李文波;姜清雷;温嘉烨;马创鑫;林宏达;芮嘉毅;蔡晓明;肖良骐;黄旭艇;肖静妮 -专利权人：广东电网有限责任公司;广东电网有限责任公司汕头供电局
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H02J3/00 文献下载
摘要：本发明公开了110kV单母线接线变电站母线停电转供电方法。方法应用于110kV单母线接线变电站的母线停电转供电工作，所述110kV单母线接线变电站包括至少2回进线以及至少2台主变压器。方法包括：选择目标进线和目标主变压器停电并在所述目标进线设置临时电缆并为所述临时电缆送电；当进行检修时，控制所述110kV单母线接线变电站的110kV母线停电，通过所述临时电缆向所述目标主变压器供电，以通过所述目标主变压器为10kV母线供电；在检修完成时，控制所述临时电缆停止送电并解除所述临时电缆与所述目标进线的连接，以恢复110kV母线送电。本发明实施例的方案实现110kV单母线接线变电站既不停止该站10kV侧用户供电，又能满足110kV母线或母线隔离开关停电检修的需求。
110 kv 母线接线变电站停电供电方法

[实用新型]用于多线切片的固定装置及多线切片装置-CN202320553300.7有效
发明人：邹敏;翟虎;林宏达;孙金梅 -专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于多线切片的固定装置及多线切片装置，用于多线切片的固定装置包括：安装座；固定件，至少设有两个，至少两个所述固定件间隔设置在所述安装座的一侧；以及加工冶具，可拆卸地设置在所述固定件上用于安装待切割物。本公开的固定件设置在安装座上，固定件设有至少两个，这样可以同时切割多个待切割物，提高工作效率，多个固定件间隔设置可以用于切割尺寸较大的待切割物，固定件之间留有间距以使安装在固定件上的待切割物不会彼此触碰，待切割物通过加工冶具设置在固定件上，加工冶具与固定件可拆卸连接，方便更换，同时可以安装适用不同尺寸待切割物的加工冶具。
用于切片固定装置

[实用新型]维修工具-CN202320408400.0有效
发明人：谢国辉;翟虎;林宏达;李孟轩;孙金梅 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B25B13/48 文献下载
摘要：本公开涉及一种维修工具，用于对曝光机内部区域的螺母进行拆卸和安装，包括：维修杆，包括相对的维修端和连接端；延长杆，延长杆的一端形成有用于供连接端插入的插槽，以及弹性锁止结构，设于插槽，用于可解锁地将维修杆的连接端锁止于插槽内。该维修工具通过延长杆整体加长了维修工具的长度，方便操作，且可以通过弹性锁止结构将维修杆可解锁地锁止于延长杆，对于曝光机内不同大小的螺母可以更换不同大小的维修杆，提高维修工具的通用性。
维修工具

[发明专利]一种呼叫处理方法、相关设备以及通信系统-CN202180087694.5在审
发明人：左俊;林宏达;叶进洲;郭晓龙 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H04W12/06 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种呼叫处理方法、相关设备以及通信系统，其能够保证主叫设备呼叫被叫设备时，被叫设备振铃时所显示的与主叫用户的身份信息，和/或，所述主叫用户所属的企业的信息是可信的。方法包括：网络鉴权服务器接收来自主叫设备的呼叫请求消息，呼叫请求消息包括主叫用户的第一用户标识和呼叫鉴权标识；网络鉴权服务器向第一用户标识对应的企业鉴权服务器发送呼叫鉴权请求，呼叫鉴权请求包括呼叫鉴权标识；网络鉴权服务器接收来自企业鉴权服务器的呼叫鉴权成功指示，呼叫鉴权成功指示用于指示鉴权通过；网络鉴权服务器向被叫设备发送目标数据，目标数据包括主叫用户的身份信息，和/或，主叫用户所属的企业的信息。
一种呼叫处理方法相关设备以及通信系统

[发明专利]一种通信方法、装置及通信系统-CN202210125987.4在审
发明人： 林宏达;张胜文;黄锴 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H04L65/1069 文献下载
摘要：本申请公开了一种通信方法、装置及通信系统，可以使得支持建立数据通道的UE的用户与不支持建立数据通道的UE的用户之间，或者建立了数据通道的UE的用户与未能建立数据通道的UE的用户之间实现实时互动。该方法应用于数据通道服务实体，该数据通道服务实体用于在处于同一个通话业务中的第一UE与第二UE之间传输实时互动信息。该方法包括：与第一UE建立第一数据通道且与第二UE建立第一视频通道，将第一UE通过第一数据通道发送的第一实时互动信息通过第一视频通道发送给第二UE，和/或，将第二UE通过第一视频通道发送的第二实时互动信息通过第一数据通道发送给第一UE。其中，第一数据通道用于基于SCTP传输数据，第一视频通道用于基于UDP传输数据。
一种通信方法装置系统

[发明专利]碳化硅废粉再利用以生产碳化硅的方法及应用-CN202310391497.3在审
发明人：李奕铭;林宏达;翟虎;宋亚滨 -专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C01B32/984 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅制备领域，公开了一种碳化硅废粉再利用以生产碳化硅的方法及应用。本发明的方法包括：向所述管状模具与所述反应容器的侧壁之间的间隙填充碳化硅废粉，并向所述管状模具的内侧填充碳硅混合料；填充完成后，拆卸所述管状模具，盖上所述反应容器的盖体，将所述反应容器置于合成炉进行合成反应制得所述碳化硅粉料。本发明提供的方法将无法用于晶体生长的碳化硅废粉回收再利用以生产碳化硅粉料，为碳化硅废粉的再利用开辟了新途径，提高了碳化硅废粉的利用率，同时，克服了现有技术合成的碳化硅粉料碳化而导致最终得到的碳化硅产率降低的问题，提高了碳硅混合料合成得到的碳化硅粉料的产率。
碳化硅再利用生产方法应用

[发明专利]抛光液换热装置和抛光机-CN202310653035.4在审
发明人：许伟峰;翟虎;林宏达;孙金梅 -专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本公开涉及一种抛光液换热装置和抛光机，该抛光液换热装置包括容器、流量控制单元以及第一测温组件，容器包括第一换热腔，第一换热腔上形成有第一进水口、抛光液进口以及抛光液出口，抛光液进口用于与抛光机的出液口连通，抛光液出口用于与抛光机的储液装置连通，流量控制单元的出口与第一进水口连通，流量控制单元的入口用于与冷水机的出口连通，第一测温组件用于检测从抛光液出口流出的抛光液的温度，第一测温组件与流量控制单元电连接。通过该抛光液换热装置，可以对抛光液的温度进行控制，使从抛光液出口流出的抛光液更接近其最佳工作温度，有利于提高抛光液对碳化硅晶片表面的抛光质量。
抛光液换热装置抛光机

[发明专利]一种纳米级图形转移的工艺方法及其应用-CN202310278478.X在审
发明人：谢国辉;李孟轩;孙金梅;林宏达;翟虎 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，公开了一种纳米级图形转移的工艺方法及其应用，该方法包括：(1)采用防粘试剂I对硅模板进行防粘处理I，得到模板I；(2)将PET膜覆盖在结构面含有快速模板胶稀释剂的所述模板I上，得到中间材料，然后采用压印设备对所述中间材料进行纳米压印I，得到柔性软模板；所述快速模板胶稀释剂中快速模板胶的含量为74‑76wt％；(3)采用防粘试剂II对所述柔性软模板进行防粘处理II，得到模板II；(4)采用所述压印设备并利用所述模板II对涂覆有紫外纳米压印胶的衬底片进行纳米压印II，得到压印产品。本发明提供的方法使得纳米图形转移更精确。
一种纳米图形转移工艺方法及其应用

[发明专利]碳化硅粉料的制备方法-CN202310406312.1在审
发明人：李奕铭;林宏达;翟虎;宋亚滨 -专利权人：成都中浦科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C01B32/984 文献下载
摘要：本申请提供一种碳化硅粉料的制备方法，涉及碳化硅粉料技术领域。该方法包括：向石墨坩埚的内部中铺设保护层；向增设有保护层的石墨坩埚中装入待处理物；其中，保护层用于阻隔待处理物对石墨坩埚的侵蚀。本方法通过铺设的保护层来隔断待处理物与石墨坩埚的接触，防止了装入待处理物在加热过程中对石墨坩埚的侵蚀，解决了现有石墨坩埚因易被待处理物侵蚀而导致的使用寿命短的问题。
碳化硅制备方法

[发明专利]一种二氧化硅-蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用-CN202310314617.X在审
发明人：李孟轩;林宏达;翟虎 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体氮化镓外延基材领域，具体涉及一种二氧化硅‑蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用。该方法包括：(1)在刻蚀气体存在下，对基体I进行第一刻蚀处理，得到中间体I；(2)在刻蚀溶剂存在下，对所述中间体I进行第二刻蚀处理；所述第二刻蚀处理的条件至少满足：温度为24‑26℃，时间为30‑35秒；其中，所述刻蚀溶剂中含有HF溶液，且在所述刻蚀溶剂中，所述HF溶液的浓度为45‑55体积％。本发明提供的二氧化硅‑蓝宝石复合衬底的蓝宝石基面能够充分裸露，且能够避免由SiO2材料形成的圆锥体底部形成蓝宝石圆凸台，解决蓝宝石衬底的过刻蚀导致的SiO2圆锥体积难以最大化的问题。
一种二氧化硅蓝宝石复合衬底及其制备方法应用

[发明专利]一种蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用-CN202310259548.7在审
发明人： 林宏达;翟虎;李孟轩 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用，蓝宝石复合衬底包括由蓝宝石衬底材料形成的具有平面结构的基底和设置在所述基底上的至少两个圆锥体，各个所述圆锥体相同，且所述圆锥体由二氧化硅材料形成，所述圆锥体的锥底与所述基底直接接触，所述圆锥体的高度与底径的比值为1：1.1‑1.9，该蓝宝石复合衬底具有体积最大化的二氧化硅材料形成的至少两个圆锥体、充分裸露的由蓝宝石衬底材料形成的具有平面结构的基底底面，其制备工艺简单，适用于工业化生产。
一种蓝宝石复合衬底及其制备方法应用

[实用新型]晶圆片花篮-CN202320209183.2有效
发明人：林基明;李孟轩;林宏达;翟虎 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本公开提供一种晶圆片花篮，包括：花篮主体(2)，花篮主体包括两块沿第一方向相对设置的主板(22)，主板上设有沿垂直于第一方向的第二方向间隔排列的多个插板(23)，多个插板之间形成晶圆片插槽；以及辅助件，辅助件(1)能够可拆卸地设置在花篮主体(2)的沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向的插入端，辅助件(1)包括分别沿第三方向对齐于两个主板的两个第一支撑梁(11)以及分别设置在第一支撑梁上的沿第二方向排列的限位板(12)，限位板沿第三方向一一对齐于插板。通过上述技术方案，晶圆片通过辅助件插入花篮中，限位板能够起到限位作用，解决了手动放入花篮中的晶圆片会出现剐蹭、串位栏、叠片等放置不当导致的表面刮伤。
晶圆片花篮

[发明专利]衬底片背面缺陷返修方法-CN202310344894.5在审
发明人：邹敏;翟虎;林宏达;孙金梅 -专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本公开涉及一种衬底片背面缺陷返修方法，包括：分选不良衬底片，测量不良衬底片的弯曲度值；选取弯曲度值接近的第一衬底片和第二衬底片；在第一衬底片的待抛光面上施加液态蜡，以预设速度旋转第一衬底片以使液态蜡均匀涂布在第一衬底片的待抛光面上；加热施加在第一衬底片待抛光面上的液态蜡，并将第二衬底片的待抛光面与第一衬底片的待抛光面进行贴合挤压并冷却；研磨第一衬底片的背面和第二衬底片的背面；加热去蜡剂至预设温度，将第一衬底片和第二衬底片放入盛有去蜡剂的容器中，以分离第一衬底片与第二衬底片；对分离后的第一衬底片与第二衬底片进行去蜡清洗。该方法能够降低返修工艺中的衬底片厚度要求，提高返修效率，降低成本。
衬底背面缺陷返修方法

[发明专利]生产碳化硅粉料的方法、碳化硅粉料及其应用-CN202211582777.4在审
发明人：李健;林宏达;宋亚滨;翟虎 -专利权人：成都中浦科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C01B32/984 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅制备技术领域，公开了生产碳化硅粉料的方法、碳化硅粉料及其应用。该方法包括：将原料进行第一合成反应；在惰性气体的存在下，将第一合成反应的产物进行第二合成反应；其中，原料由混合料A和混合料B沿垂直方向依次层叠堆积而得，混合料A和混合料B中均含有硅粉和碳粉；混合料A的层数与混合料B的层数相同且不小于1；混合料A的硅碳摩尔比大于1：1；混合料B的硅碳摩尔比小于1：1；混合料A和混合料B的用量使得原料的硅碳摩尔比等于1：1‑1.03。该方法能够避免反应前期硅碳上下分层，使得混合料在反应过程中层与层之间再次反应混合，达到更充分的反应，进而提高产率。此外，该方法也不引入新的杂质且成本较低。
生产碳化硅方法料及应用

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