[发明专利]一种二氧化硅-蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202310314617.X | 申请日： | 2023-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN116469968A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 李孟轩;林宏达;翟虎 | 申请（专利权）人： | 浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/20 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 姚娟 |
| 地址： | 323010 浙江省丽水市莲都区南明山*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明涉及半导体氮化镓外延基材领域，具体涉及一种二氧化硅‑蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用。该方法包括：(1)在刻蚀气体存在下，对基体I进行第一刻蚀处理，得到中间体I；(2)在刻蚀溶剂存在下，对所述中间体I进行第二刻蚀处理；所述第二刻蚀处理的条件至少满足：温度为24‑26℃，时间为30‑35秒；其中，所述刻蚀溶剂中含有HF溶液，且在所述刻蚀溶剂中，所述HF溶液的浓度为45‑55体积％。本发明提供的二氧化硅‑蓝宝石复合衬底的蓝宝石基面能够充分裸露，且能够避免由SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 二氧化硅 蓝宝石 复合 衬底 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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