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[发明专利]射频阴极中和器-CN202110085599.3有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频阴极中和器，包括：电离腔室，靶材，维持极，发射极，以及磁铁组件；靶材通过第一绝缘部件设置在电离腔室底部，维持极和发射极设于电离腔室顶部，靶材连接射频电源，磁铁组件向电离腔室提供磁场；在工作中，向电离腔室通入工作气体，利用磁铁组件产生的磁场和射频电源输出的射频电磁波对工作气体进行电离产生等离子体；维持极和发射极用于分离等离子体中的正离子和负电子，并将负电子输出；该技术方案，使用了电容性射频驱动的方式驱动中和器，射频负载面对地直流绝缘，对地等效为电容，具有更高匹配效率，设备结构更加简单；而且通过引入磁场和射频电共同作用，使得等离子体更加活泼，也提高了电离效率。
射频阴极中和

[发明专利]射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备-CN202111638917.0有效
发明人：冀鸣;蔡雁萍;刘伟基;梁伟明;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H04B1/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备；所述方法包括：获取射频中和器工作时的当前发射极电流值以及待调整的目标发射极电流值，并确定所需调整的电流变化量；获取射频中和器当前工作的第一射频功率值以及在调整到目标发射极电流值下所匹配的第二射频功率值，并确定所需调整的射频功率变化量；根据预设的电流调整步长值计算射频中和器的发射极电流的调整时间，并计算射频功率调整的功率调整步长值；在调整射频中和器的发射极电流过程中，依据功率调整步长值将射频功率调整至第二射频功率值；该技术方案，实现了发射极电流和射频功率的同步匹配调整，保证了射频中和器输出稳定而不灭掉，提升了离子源使用的稳定性。
射频中和功率调整方法装置设备

[发明专利]镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备-CN202211743784.8有效
发明人：冀鸣;郭一鸣;裴宇辉;刘伟基;秦振江;易洪波;赵刚 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备，所述方法包括：获取目标产品的镀膜膜层对应的目标厚度；根据镀膜速率计算所述镀膜膜层当前时刻已镀膜的估计厚度；当所述估计厚度接近于所述目标厚度时，根据所述目标产品的实时透射率对所述估计厚度进行修正获得当前膜层已镀膜的实际厚度；根据所述目标厚度、实际厚度以及所述镀膜速率计算换层判停时间；在所述换层判停时间到达后输出换层判停指令；该技术方案，在镀膜厚度临近目标厚度时通过利用估计厚度来修正计算出镀膜膜层当前已镀膜的真实厚度，从而可以得到更加准确的换层判停时间，能够提升多层镀膜时的换层判停精度，提升镀膜质量。
镀膜换层判停方法装置控制设备

[发明专利]一种自动驾驶车辆多车道连续变道轨迹优化方法-CN202210926129.X有效
发明人：刘昱岗;郝悦;易洪波;郑帅;徐菀徽 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G08G1/0967 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动驾驶车辆多车道连续变道轨迹优化方法，通过不断的数据更新、求解轨迹优化模型可以完成完全自动驾驶环境下自动驾驶车辆的连续变道轨迹优化方法。本发明所公布的多车道轨迹优化方法可以满足自动驾驶车辆在规定的时间、空间内完成本车的换道任务，具有以下特点：1、能够保证本车在规定的时间、规定的空间内完成多次变道的实际需求；2、能够提升本车变道中的轨迹平滑度以及舒适性；3、能够降低本车的变道行为对前后所涉车辆的影响。
一种自动驾驶车辆车道连续轨迹优化方法

[发明专利]射频电离装置、射频中和器及其控制方法-CN202111670950.1有效
发明人：刘伟基;吴秋生;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频电离装置、射频中和器及其控制方法；所述射频电离装置，应用于射频中和器，包括：电离腔室以及射频线圈；所述电离腔室的侧壁内置有螺旋通道；所述射频线圈为螺旋形状设计，且结构与所述螺旋通道结构一致；所述射频线圈通过螺旋方式由所述电离腔室的一端安装进入所述螺旋通道；所述射频线圈的两端连接射频线；上述技术方案，通过在电离腔室的侧壁内置螺旋通道，射频线圈被牢固地固定在螺旋通道内，射频使用效率更高；降低了氧化几率，提升射频中和器的使用效果。另外，通过射频中和器控制方法，降低了射频中和器启动和调节过程的操作复杂性，提升了射频中和器的控制效率。
射频电离装置中和及其控制方法

[发明专利]中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器-CN202110085518.X有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器，所述方法包括：向中空阴极管导入工作气体；启动维持电源，向中空阴极管输入维持电流；对所述中空阴极管的头部位置进行持续加热；当所述中空阴极管的头部位置的温度满足热电子输出时，控制温度调整至设定温度值；开启阴极电源向中空阴极中和器提供工作电源；该技术方案能适应低温阴极材料工作环境，降低了高压启动对电源的要求，无需大量的气体流量来启动，便于启动控制。
中空阴极启动方法装置中和

[发明专利]直流阴极中和器-CN202110085601.7有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种直流阴极中和器，包括：电离腔室，阴极靶材，维持极以及磁铁组件；其中，维持极设于电离腔室上部，连接维持电源；阴极靶材设于电离腔室底部，连接电离电源，且阴极靶材与维持极保持绝缘隔离；磁铁组件设于阴极靶材底部，用于在电离腔室产生强磁场；在工作中，电离腔室通入工作气体，磁铁组件在电离腔室的电离区域产生强磁场，电离区域在强磁场和电场的共同作用下对工作气体进行电离产生等离子体；等离子体中的负电子在维持极的作用下，通过设置在电离腔室的电子输出口进行输出；该技术方案，结构简单，维护方便，使用强磁场提高了电离效率；而且阴极靶材可以使用多种金属，可以使用耐高温稀有金属，对产品不产生污染等不利影响。
直流阴极中和

[发明专利]调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机-CN202211600718.5在审
发明人：蒋毅;刘伟基;冀鸣;易洪波;陆其彬;赵刚 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请涉及一种调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机，调速阀门结构包括：真空密封的阀门腔体，设于阀门腔体内的真空阀板，以及设于阀门腔体外部的驱动机构和间接传动装置；阀门腔体上设有抽气口，其中，抽气口两侧面上设有上连接件和下连接件；上连接件用于与真空腔室密封连接，下连接件用于与分子泵密封连接；驱动机构连接间接传动装置，间接传动装置与真空阀板通过非接触方式连接；驱动机构驱动间接传动装置进行运动，间接传动装置以非接触方式驱动真空阀板进行移动，调整抽气口的开度大小；该技术方案具有更高的真空度调整速度，减少了需要真空密封的部件，降低了整体设备的成本，并提升了真空腔室的真空密封效果。
调速阀门结构空腔真空镀膜

[发明专利]光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机-CN202111081912.2有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机，所述装置包括：设于真空室外部的光谱仪和光源，设于真空室壳体上连接光源的光输入接口和连接光谱仪的光输出接口，以及旋转样品夹具；光输入接口和光输出接口为真空密封接口；旋转样品夹具上设置有至少一个透光通孔和至少一个样品通孔；光输入接口或光输出接口对准通孔的位置；光源输出检测光通过光输出接口进入真空室；旋转样品夹具旋转样品，检测光垂直入射到样品表面得到测量光通过光输出接口传输至光谱仪进行光谱检测；该技术方案，可以进行全光谱的检测，实时检测样品的光谱数据，特别适用于非规整膜系的薄膜检测，可以提升膜厚监测系统对膜厚检测精度、降低误差。
光谱检测装置厚实监控方法系统真空镀膜

[实用新型]一种电能耗监测及预警装置-CN202223371199.8有效
发明人：汪云程;张建林;卢怀钿;易洪波;张来球;魏文武;陈武;周志磊;阮会星 -专利权人：华能江西能源销售有限责任公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电能耗监测及预警装置，包括柜体，柜体内设有电流表和电能表，所述柜体上设有固定装置、密封装置和警告装置，所述固定装置包括第一固定板和第二固定板，柜体上设有通槽，第一固定板和第二固定板均设置在通槽处，第一固定板和柜体连接，第一固定板的顶部和第二固定板的顶部铰接，第一固定板和第二固定板上设置有相配合的第一半孔和第二半孔，本实用新型中设置有固定装置，便于对导线进行固定，当不小心在外部拉动导线时，防止其从接线处松动，导致出现接线不良，第一固定板和第二固定板铰接，便于将导线放在第一固定板和第二固定板之间。
一种能耗监测预警装置

[发明专利]一种载人电动垂直起降飞行器起降点选址方法-CN202310066932.5在审
发明人：陈济达;刘昱岗;易洪波;郑帅;陈新杰 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G06Q10/047 文献下载
摘要：本发明公开了一种载人电动垂直起降飞行器起降点选址方法。本发明将城市相应的地理信息数据导入Arcgis，生成城市3D影像图，排除空域受限区域，通过栅格筛选符合高度和面积的候选点。然后通过建设成本估算出适合城市建设的起降点数量，并建立各需求点的繁忙系数。最后结合P中值模型以需求点到起降点的加权路径最短为优化目标建立数学模型，对各点位进行服务半径分析，用贪心算法对模型进行分段计算，获取最终选址方案。
一种载人电动垂直起降飞行器选址方法

[发明专利]一种基于模块化运输车的应急救援方法-CN202211461729.X在审
发明人：刘昱岗;徐菀徽;易洪波;詹雨;郑帅 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于模块化运输车的应急救援方法，包括：提供应急运输和生命支持的模块化医疗运输车辆；仅提供应急运输的模块化医疗急救车辆；停放模块化医疗运输车辆的车站；停放模块化医疗急救车及提供急救服务的医院。当某地点发生存在大量患者的应急救援事件时，事件点外多个医院与车站同时派出匹配数量的模块化医疗急救车辆和模块化医疗运输车辆。一辆模块化医疗急救车辆与一辆模块化医疗运输车辆形成一个车队。模块化医疗运输车辆直接响应事件点运输患者；模块化医疗急救车辆不直接前往事件点，而是在转移段与模块化医疗运输车辆进行编组和解编操作，实现患者不下车转移。本发明能够实现充分利用运输资源，减少患者到达医院的时间。
一种基于模块化运输车应急救援方法

[发明专利]工艺控制方法、装置及工业控制系统-CN202210304203.4有效
发明人：冀鸣;刘伟基;林秀刚;张军;陈文俊;易洪波;郭一鸣;赵刚;易卓越 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请涉及一种工艺控制方法、装置及工业控制系统，所述方法包括：接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。该技术方案，实现了对工艺过程全自动执行，可以形成完整的全自动流程控制输入，极大提升了工艺设备的控制效率。
工艺控制方法装置工业控制系统

[发明专利]基于宽光谱监控的镀膜工艺方法-CN202211744081.7在审
发明人：裴宇辉;冀鸣;刘伟基;郭一鸣;易洪波;秦振江;赵刚 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法，所述方法包括：安装待镀膜的工件及监控片；初始化并加载镀膜工艺；绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置；镀膜工艺程序的自动执行；在镀膜过程中，实时采集监控片的光谱能量数据，拟合出当前膜层的真实厚度；并以此计算换层判停时间并触发换层判停逻辑；在换层后，对下一个膜层进行镀膜，直至完成镀膜工艺中的所有膜层。该技术方案，可以准确地定位到换层位置，避免了采用常规的以评价函数方法来控制换层的延时缺陷，可以确保成膜过程中对各个膜层厚度监控的精准度，特别是在多层镀膜时，能够显著减少换层误差累积，提升了光学薄膜产品的镀膜质量。
基于光谱监控镀膜工艺方法

[发明专利]真空镀膜设备及其镀膜控制方法-CN202211743783.3在审
发明人：裴宇辉;刘伟基;冀鸣;郭一鸣;秦振江;易洪波;赵刚 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜控制方法，所述设备包括：真空腔室，内置有连接控制系统的产品转盘、溅射系统以及离子源；光谱检测装置，连接至控制系统，用于在镀膜过程中检测镀膜产品的光谱能量数据并上报至控制系统；控制系统，用于控制产品转盘、溅射系统以及离子源的运行，采集光谱检测装置检测的光谱能量数据并计算镀膜产品的实时透射率，在膜层厚度接近目标厚度时，基于实时透射率预测出已镀膜的实际厚度；依据实际厚度计算换层判停时间并输出换层判停指令进行换层操作，直至完成所有膜层的镀膜；该技术方案，极大提升了换层判停精度，特别是层数较多的镀膜中，避免了镀膜层数增加所带来的误差累积，提升了镀膜产品的膜层质量。
真空镀膜设备及其镀膜控制方法

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