“方建智”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果16个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]薄膜缺陷的检测方法、薄膜缺陷的检测装置及检测系统-CN202310055808.9有效
发明人： 方建智;张恩贡;胡周;刘凯文;周高 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜缺陷的检测方法、薄膜缺陷的检测装置及检测系统。该方法包括：获取目标薄膜的参考数据，该参考数据包括生产要求指标；根据参考数据发送测试指令至测试设备，以使得测试设备根据上述测试指令，测试待测薄膜，得到测试信息；获取并分析测试信息，得到待测薄膜的检测数据；判断检测数据和参考数据是否满足预设条件，在判断结果指示为否的情况下，确定待测薄膜存在缺陷，并输出预警信号。从而能够在工艺生产开始前根据检测结果调整生产设备，避免在生产过程中检测出缺陷导致大量产品不良或产品的报废，造成机台产能和耗材等的浪费，并且该方案还适用于产品生产过程中的周期性监控，有效提高了检测效率和准确度，降低了成本。
薄膜缺陷检测方法装置系统

[发明专利]晶圆检测方法、装置、设备、存储介质和计算机程序产品-CN202211575829.5有效
发明人：黄志贤;张婉;方建智;许凯迪;刘凯文 -专利权人：合肥新晶集成电路有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆检测方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：根据晶圆制备过程，确定预检站点；在预检站点检测晶圆是否有破片风险，若有破片风险，标记当前晶圆；若没有破片风险，继续进行晶圆的制备。采用本方法能够自动检测判断是否有跳站错误，进而判断晶圆是否有破片风险，在晶圆制备过程中可以及时判断破片风险，避免操作不必要的制备工艺，降低生产成本。
检测方法装置设备存储介质计算机程序产品

[发明专利]金属硅化物层的形成方法、半导体器件及其形成方法-CN201810717248.8有效
发明人：张玉贵;方建智;彭康钧;林群证 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：本发明提供了一种金属硅化物层的形成方法、半导体器件及其形成方法。通过在金属层和衬底之间形成缓冲材料层，从而在热退火工艺的过程中，可使金属层中的金属粒子能够在缓冲材料层的缓冲作用下穿过缓冲材料层，并扩散到衬底中，有利于减小金属粒子在衬底中的扩散速度和扩散深度，进而能够减缓金属和衬底中的硅的反应速度。如此一来，即能够有效降低所形成的金属硅化物发生聚集的风险，从而可避免在衬底中引发大量的针孔缺陷，并可改善所形成的金属硅化物层的界面粗糙度。
金属硅化物层形成方法半导体器件及其

[发明专利]一种半导体元件的制造方法-CN202110306176.X有效
发明人：刘小东;方建智;黄志贤;陈锦 -专利权人：晶芯成（北京）科技有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体元件的制造方法。所述制造方法包括提供一晶圆，所述晶圆表面具有源极区域、漏极区域以及栅氧化层；形成一硅层于所述源极区域、漏极区域以及栅氧化层上；形成一钴金属层于所述硅层上，并放入一溅镀装置的反应室中；溅镀形成一钛金属层于所述钴金属层上；溅镀形成一氮化钛层于所述钛金属层上；执行光照退火步骤，以反应形成硅化钴层；移除所述氮化钛层、钛金属层；其中，在形成所述钛金属层和所述氮化钛层的过程中，控制所述溅镀装置中金属靶材上的钛金属与氮化钛的重量比为1.6~2.4，以使所述钛金属将所述氮化钛黏附于所述金属靶材上。本发明解决了因金属靶材边缘附着大量氮化钛颗粒而易掉落到晶圆表面上的问题。
一种半导体元件制造方法

[发明专利]一种半导体结构制造方法-CN201810980356.4有效
发明人：张玉贵;方建智;彭康钧;李建财 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体结构制造方法，涉及半导体技术领域。该方法提供一种半导体堆叠结构，所述半导体堆叠结构包括基底以及依次堆叠在所述基底上的过渡层、金属层和捕获层，在所述半导体堆叠结构在进行热处理并形成半导体结构时，过渡层能够在形成半导体结构的过程中提供硅补偿，避免出现金属层与基底反应速度过快以及形成的半导体结构空洞、表面不平整以及粗糙度较大等问题，降低了半导体结构的表面电阻，提高了制程工艺的稳定性以及良品率。
一种半导体结构制造方法

[发明专利]预处理方法、金属硅化物的形成方法以及半导体处理装置-CN201910611966.1有效
发明人：黄志贤;刘小东;方建智;刘镇豪 -专利权人：合肥晶合集成电路有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明提供一种预处理方法、金属硅化物的形成方法以及半导体处理装置。所述预处理方法对半导体结构执行等离子刻蚀，半导体结构在衬底的有源区的部分表面上设置有第一导电部分以及覆盖于第一导电部分侧表面的隔离侧墙，在等离子刻蚀中，通过调节两个RF源的功率来调节施加在半导体结构表面的偏压不小于150V。所述金属硅化物的形成方法对包括第一导电部分和第二导电部分的半导体结构进行上述预处理后，沉积金属膜并进行退火以形成了金属硅化物。较大的偏压有助于避免从隔离侧墙上落下的侧墙材料停留在衬底表面，可以提高预处理效果进而提高金属硅化物的质量。所述半导体处理装置可以用于执行上述预处理方法以及金属硅化物的形成方法。
预处理方法金属硅形成以及半导体处理装置

[发明专利]一种半导体层的制造方法及制造系统-CN202010937773.8在审
发明人：宫保友;黄志贤;方建智;杨承宪 -专利权人：南京晶驱集成电路有限公司
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提出一种半导体层的制造方法及制造系统，包括：将第一晶圆置于腔体内，以在所述第一晶圆上形成金属薄膜；其中，在形成所述金属薄膜之前，所述腔体内的温度为第一温度；将已形成所述金属薄膜的所述第一晶圆转移出所述腔体；其中，所述腔体内的温度为第二温度，所述第二温度大于所述第一温度；向所述腔体内通入惰性气体，以对所述腔体进行冷却，以使所述腔体内的温度变为所述第一温度；在所述腔体温度为所述第一温度之后，将第二晶圆置于所述腔体内，以在所述第二晶圆上形成所述金属薄膜。本发明提出的半导体层的制造方法可以减少金属薄膜表面上的缺陷。
一种半导体制造方法系统

[实用新型]大型节能高效破碎机中的破碎腔调节机构-CN201320887113.9有效
发明人：陈一佳;陈斌嘉;沈辉;方建智;陈飞 -专利权人：海盐机械厂;浙江博远机械设备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B02C23/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大型节能高效破碎机中的破碎腔调节机构。目前用于破碎机中的破碎腔调节机构的结构设计不够合理。本实用新型包括主机架、调整套和上衬板，所述上衬板固定在调整套中，其结构特点在于：还包括支承套、进料斗、外齿圈和推动缸，所述支承套中设置有内螺纹，所述调整套上设置有外螺纹，所述支承套安装在主机架上，所述调整套螺纹连接在支承套中，所述进料斗固定在调整套上，所述外齿圈固定在进料斗上，所述调整套和外齿圈由内而外依次排列，所述推动缸安装在支承套上，该推动缸与外齿圈配合。本实用新型的结构设计合理，布局科学，使用方便，能够方便、有效的对破碎腔进行调节。
大型节能高效破碎中的腔调机构

[实用新型]一种用于圆锥破碎机中的破碎腔控制机构-CN201320887194.2有效
发明人：陈一佳;陈斌嘉;沈辉;方建智;陈飞 -专利权人：海盐机械厂;浙江博远机械设备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B02C25/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于圆锥破碎机中的破碎腔控制机构。本实用新型包括进料斗、上衬板和主机架，其结构特点在于：还包括支承套、调整套、外齿圈、推动缸、锁紧环、16个锁紧缸、8个液压缸和4个千斤顶，支承套活动连接在主机架上，锁紧环活动连接在支承套上，调整套螺纹连接在锁紧环和支承套中，16个锁紧缸均安装在支承套上，8个液压缸中的液压缸本体均固定在主机架上，进料斗固定在调整套上，外齿圈固定在进料斗上，推动缸安装在支承套上，4个千斤顶均安装在主机架上，该4个千斤顶中的升降端均顶在支承套上。本实用新型能够方便、有效的调节破碎腔的大小；能够控制排矿口的尺寸大小；当不能被破碎的物体进入破碎腔时，能够有效保护设备不受破坏。
一种用于圆锥破碎中的控制机构

[实用新型]一种圆锥破碎机中的破碎圆锥机构-CN201320886820.6有效
发明人：陈一佳;陈斌嘉;沈辉;方建智;陈飞 -专利权人：海盐机械厂;浙江博远机械设备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B02C2/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种圆锥破碎机中的破碎圆锥机构。目前常用的圆锥破碎机中的破碎圆锥机构的结构设计不够合理。本实用新型包括机架、偏心套、偏心轴、破碎圆锥和衬板，偏心套活动安装在机架中，偏心轴安装在偏心套中，破碎圆锥固定在偏心轴上，其特点在于：还包括锥齿轮、碗形轴承和碗形轴承密封环，锥齿轮固定在偏心套上，碗形轴承安装在机架上，该碗形轴承位于破碎圆锥的正下方，碗形轴承密封环的上表面上设置有润滑凹槽，碗形轴承密封环安装在碗形轴承和破碎圆锥之间，破碎圆锥的底部为球面结构；碗形轴承密封环的上表面和破碎圆锥底部的球面结构接触，下表面和碗形轴承接触。本实用新型的结构设计合理，布局科学，运行过程中的磨损较小。
一种圆锥破碎中的机构

[实用新型]复合型圆锥破碎机-CN201320886745.3有效
发明人：陈一佳;陈斌嘉;沈辉;方建智;陈飞 -专利权人：海盐机械厂;浙江博远机械设备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B02C2/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种复合型圆锥破碎机。本实用新型包括机架、上衬板、下衬板、驱动机构、偏心破碎圆锥和破碎腔控制机构，偏心破碎圆锥安装在机架中，下衬板安装在偏心破碎圆锥中，驱动机构和偏心破碎圆锥连接，其特点是：破碎腔控制机构包括进料斗、支承套、调整套、外齿圈、推动缸、锁紧环、数个锁紧缸、数个液压缸和数个千斤顶，支承套活动连接在机架上，所述锁紧环活动连接在支承套上，所述调整套螺纹连接在锁紧环和支承套中，上衬板安装在调整套中，锁紧缸均安装在支承套上，液压缸均固定在机架上，推动缸安装在支承套上，千斤顶均安装在机架上。本实用新型能调节破碎腔的大小，控制排矿口的大小，便于清腔操作。
复合型圆锥破碎

[实用新型]用于大型节能高效破碎机中的保险缸装置-CN201320887104.X有效
发明人：陈一佳;陈斌嘉;沈辉;方建智;陈飞 -专利权人：海盐机械厂;浙江博远机械设备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B02C23/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于大型节能高效破碎机中的保险缸装置。现有的用于破碎机中的保险缸装置的结构设计不够合理。本实用新型包括主机架、调整套和上衬板，上衬板固定在调整套中，其特点在于：还包括支承套和数个液压缸，支承套中设置有内螺纹，调整套上设置有外螺纹，主机架上设置有一圈主机架法兰圈，支承套上设置有一圈支承套法兰圈，支承套安装在主机架上，调整套螺纹连接在支承套中；液压缸本体固定在主机架上，液压缸本体位于主机架法兰圈的下方，活塞杆竖直安装在液压缸本体中，活塞杆从下往上依次穿接在主机架法兰圈和支承套法兰圈中。本实用新型的结构设计合理，布局科学，当不能被破碎的物体进入破碎腔时能够有效保护设备不受破坏。
用于大型节能高效破碎中的保险装置

[实用新型]圆锥破碎机的破碎腔清腔装置-CN201320886883.1有效
发明人：陈一佳;陈斌嘉;沈辉;方建智;陈飞 -专利权人：海盐机械厂;浙江博远机械设备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B02C23/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种圆锥破碎机的破碎腔清腔装置。目前用于圆锥破碎机中的破碎腔清腔装置的结构设计不够合理。本实用新型包括主机架、调整套和上衬板，所述上衬板固定在调整套中，其特点在于：还包括支承套和至少三个千斤顶，所述支承套的外壁设置有一圈法兰圈，该支承套中设置有内螺纹，所述调整套上设置有外螺纹，所述支承套活动连接在主机架上，所述法兰圈呈水平状结构，所述调整套螺纹连接在支承套中，所述千斤顶均安装在主机架上，该千斤顶位于支承套的正下方，所述千斤顶均呈竖直状结构，该千斤顶中的升降端顶在法兰圈的底面。本实用新型的结构设计合理，布局科学，操作容易，能够方便、有效的将破碎腔中的非破碎物排除。
圆锥破碎腔清腔装置

[实用新型]圆锥破碎机中的排矿口定位机构-CN201320887115.8有效
发明人：陈一佳;陈斌嘉;沈辉;方建智;陈飞 -专利权人：海盐机械厂;浙江博远机械设备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B02C2/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种圆锥破碎机中的排矿口定位机构。目前用于圆锥破碎机中的排矿口定位机构的结构设计不够合理，难以方便、有效的对排矿口的尺寸进行调节和定位。本实用新型包括主机架和上衬板，其特点在于：还包括支承套、调整套、锁紧环和数个锁紧缸，所述支承套和锁紧环中均设置有内螺纹，所述调整套上设置有外螺纹，所述支承套安装在主机架上，所述锁紧环活动连接在支承套上，数个锁紧缸均安装在支承套上，该数个锁紧缸均与锁紧环配合，所述上衬板固定在调整套中，该调整套螺纹连接在支承套和锁紧环中。本实用新型的结构设计合理，操作简单，能够方便、有效的对排矿口的尺寸进行调节和定位。
圆锥破碎中的排矿口定位机构

[发明专利]用于圆锥破碎机中的破碎腔控制机构-CN201310748123.9有效
发明人：陈一佳;陈斌嘉;沈辉;方建智;陈飞 -专利权人：海盐机械厂;浙江博远机械设备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： B02C25/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于圆锥破碎机中的破碎腔控制机构。本发明包括进料斗、上衬板和主机架，其结构特点在于：还包括支承套、调整套、外齿圈、推动缸、锁紧环、16个锁紧缸、8个液压缸和4个千斤顶，支承套活动连接在主机架上，锁紧环活动连接在支承套上，调整套螺纹连接在锁紧环和支承套中，16个锁紧缸均安装在支承套上，8个液压缸中的液压缸本体均固定在主机架上，进料斗固定在调整套上，外齿圈固定在进料斗上，推动缸安装在支承套上，4个千斤顶均安装在主机架上，该4个千斤顶中的升降端均顶在支承套上。本发明能够方便、有效的调节破碎腔的大小；能够控制排矿口的尺寸大小；当不能被破碎的物体进入破碎腔时，能够有效保护设备不受破坏。
用于圆锥破碎中的控制机构

1
2
下一页»
尾页
共 16 条