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- [发明专利]一种光照射装置-CN201910361956.7有效
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许凯迪
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2019-04-30
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2023-03-17
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G02B26/08
- 本发明公开了一种光照射装置。该装置包括线状光源；多个反射单元，围绕线状光源形成反射腔，反射腔包括出光口，线状光源出射的部分光束经至少一个反射单元反射后从出光口出射；多个第一探测单元，用于测量入射到对应的反射单元的光束的入射角和第一能量分布；多个旋转单元，用于带动反射单元旋转；第二探测单元，用于测量出光口的出射光束的出射角和第二能量分布；控制单元，用于获取入射角、第一能量分布、出射角和第二能量分布的数据，并根据预设出射角、预设能量分布和上述数据控制旋转单元旋转反射单元，以使出射光束以预设出射角和预设能量分布出射。本发明的技术方案，可实现出射光束的出射角和能量分布可调，以满足多种应用场景的需求。
- 一种照射装置
- [实用新型]加热搅拌机抗酸气腐蚀装置-CN202222250940.9有效
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张演锋;林伟鹏;李伯良;许凯迪
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闳康科技（厦门）有限公司
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2022-08-25
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2023-01-03
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B01F35/45
- 本实用新型涉及抗酸气腐蚀技术领域，公开了加热搅拌机抗酸气腐蚀装置，包括：底板，所述底板的侧面设置有抗酸气腐蚀机构，所述抗酸气腐蚀机构包括边板、长板一、长板二、端板一和端板二，所述端板一通过螺栓固定连接在底板的一端。本实用新型中，通过设置有底板、边板、长板一、长板二、端板一和端板二，将边板、长板一、长板二、端板一和端板二通过螺栓与底板的边缘固定连接，组成一个可将加热搅拌机本体前后左右均可包覆的抗化学气体腐蚀装置，同时插槽中滑动插接的隔板可将加热搅拌机本体上的操作键位覆盖，从而保证对加热搅拌机本体的裸露部分进行全覆盖，利用外包覆的耐酸硷工程塑胶做第一层的抗酸，通过设置CDA气室。
- 加热搅拌机抗酸气腐蚀装置
- [实用新型]具有电缆导入套管的机柜-CN201921686251.4有效
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杨光楼;许凯迪
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厦门市恒创斯自动化科技有限公司
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2019-10-10
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2020-05-19
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H05K5/02
- 本实用新型涉及具有电缆导入套管的机柜，包含柜体和导向套，所述柜体在其底部侧面设置有线缆导入孔，所述柜体在其底部的左右两边设置有突出部，所述柜体在所述突出部上端覆盖安装有第一隔板和第二隔板，所述第二隔板在其与所述第一隔板相对应的边缘处设置有若干通孔，所述若干通孔均安装设置有所述导向套，所述导向套为一体成型结构。本实用新型在使用时，在引入线缆时可以根据线缆的线径对套管的调节套的顶端进行剪切，选择小于线缆直径的大小进行剪切可以让线缆与调节套更紧密，保证密封性，引入线缆时可以保护引入线缆时不被第二隔板划破皮，杜绝由线缆皮引发的安全隐患。
- 具有电缆导入套管机柜
- [发明专利]一种激光退火装置-CN201910364335.4有效
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周伟;许凯迪;苏海业;黄元昊;罗闻
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2019-04-30
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2020-03-17
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H01L21/268
- 本发明实施例公开了一种激光退火装置，包括：控制模块；激光光束发生模块，激光光束发生模块与控制模块电连接，用于根据控制模块输出的激光控制信号产生第一激光光束；激光光束调整模块，激光光束调整模块与控制模块电连接，用于根据控制模块输出的可动机构参数对第一激光光束的激光强度分布进行调整以转换为第二激光光束；光学模块，光学模块用于对第二激光光束进行汇聚以在对应设置的衬底上形成与激光控制信号对应的光斑。本发明实施例中，无论激光器输出的光束质量如何变化，均不会对第一激光光束产生影响，也不会给工艺带来不确定的影响；无需频繁调节激光器的产率，保证了激光器产率最大化利用。
- 一种激光退火装置
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