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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]静电耗散性含氟聚合物复合物及由其所形成的物品-CN201980060216.8有效
发明人： J·P·普利亚;W·J·沙内尔;B·C·雷伊乔 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： F16L9/12 文献下载
摘要：本发明涉及例如流体处置系统的各种操作组件的物品，其将复合物并入到其构造中，所述复合物包含含氟聚合物基质且具有分布于所述基质内的全氟化区。并有所述复合物的导管及各种操作组件本质上具静电耗散性且具有范围在1×104欧姆/平方与1×1012欧姆/平方之间的表面电阻率。
静电耗散性含氟聚合物复合物形成物品

[实用新型]连接器和包括连接器的流体连接组合件-CN202222899634.8有效
发明人： S·戴维德 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： F16L41/03 文献下载
摘要：本申请案涉及连接器和包括连接器的流体连接组合件。一种流体连接组合件包含多个管道，其具有第一敞开端和与所述第一敞开端相对的第二敞开端；和多个连接器。所述连接器中的每一个包含至少两个连接器部分，其中所述至少两个连接器部分中的每一个从所述连接器的中心延伸并且具有连接到所述连接器的所述中心的第一末端和连接到所述多个管道中的一个的所述第二敞开端的第二末端。所述连接器部分与所述管道和所述连接器的所述中心连续形成且所述连接器部分流体连接在一起。所述至少两个连接器部分中的每一个是圆锥形的，其中所述连接器的所述中心处的所述第一末端的外径大于所述连接器部分的所述第二末端的外径以使得所述连接器部分是柔性的。
连接器包括流体连接组合

[发明专利]容器的整体密封件-CN202180074503.1在审
发明人： W·J·沙内尔;M·A·富勒;M·C·扎布卡;A·维尔德 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：一种物件包含用于容纳一或多个衬底或光罩的衬底容器。所述衬底容器具有外壳，其包含一或多个侧壁、封闭端、开放端及由所述一或多个侧壁及所述封闭端界定的内部空间。所述容器进一步具有经配置以封闭所述外壳的所述开放端的门。所述门包含具有密封耦合部分的门体。所述门体由门体聚合物形成。所述门进一步包含与所述门体的所述密封耦合部分一体成型的密封部件。
容器整体密封件

[发明专利]配体改性的过滤材料、复合膜以及从液体组合物中减少金属的方法-CN202010085063.7有效
发明人： J·哈姆齐克;J·A·贾比尔;J·布鲁斯特;N·J·菲利潘西克 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B01D69/12 文献下载
摘要：本申请涉及配体改性的过滤材料、复合膜以及从液体组合物中减少金属的方法。本发明描述了包括多元醇配体(例如n‑甲基葡糖胺)和/或聚膦酸配体的过滤材料，其对于从流体中过滤金属或金属离子非常有效。所述过滤材料可以尤其适用于过滤碱性和酸性流体组合物，例如用于微电子装置制造中的湿法蚀刻、移除光致抗蚀剂以及清洁步骤的那些碱性和酸性流体组合物。
体改过滤材料复合以及液体组合减少金属方法

[发明专利]化学机械抛光后(POST CMP)清洁组合物-CN202180076458.3在审
发明人： D·怀特;金榮玟;M·L·怀特 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-01 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C11D11/00 文献下载
摘要：本发明大体上提供用于介电表面，如PETEOS、SiO2、热氧化物、氮化硅、硅等的高pH清洁组合物。本发明的组合物提供优越表面润湿、粒子和有机残留物的分散，并且防止经分散的残留物在清洁期间再沉积和再附聚以提供优良清洁和低缺陷率。
化学机械抛光 post cmp 清洁组合

[发明专利]制备碘硅烷的方法-CN202180079218.9在审
发明人： S·A·拉内曼;J·W·迪布;J·M·斯塔布斯 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：提供用于通过烷氨基硅烷与某些经取代的酰基碘的反应制备例如H2SiI2和HSiI3的非常需要的碘硅烷的方法。在一个实施例中，双(二乙氨基)硅烷与苯甲酰碘反应以产生二碘硅烷。
制备硅烷方法

[发明专利]衬底载运器-CN201780016298.7有效
发明人： M·L·约翰逊;G·M·加拉格尔;B·格雷格森 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2017-02-09 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开一种衬底容器(100)，其包含基底(105)及盖(115)。盖(115)配合基底(105)以界定封闭空间。互锁托架(405)的堆叠可安置于基底(105)内。每一互锁托架(405)包含嵌入凸缘(410)，其界定用于支撑衬底的配准面(420)。互锁托架(405)还包含凸肩部分(415)。离隙特征(435)界定于凸肩部分(415)与配准面(420)之间的接合点。离隙特征(435)可防止衬底的尖锐边缘接触凸肩部分(415)，借此减少颗粒产生。
衬底载运

[实用新型]静电卡盘-CN202222842522.9有效
发明人：刘研;J·莱辛斯基;C·明斯基;S·唐奈 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型描述静电卡盘，所述静电卡盘包括：陶瓷层，其包括上表面及下表面；电极，其在所述下表面处；以及电介质层，其在所述陶瓷层与所述电极之间。
静电卡盘

[发明专利]微电子装置清洁组合物-CN202180075325.4在审
发明人： E·托马斯;M·L·怀特;A·K·达斯;金荣玟;刘俊;D·怀特 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-01 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C11D3/33 文献下载
摘要：本发明提供一种用于清洁微电子装置衬底的组合物。所述组合物可用于清洁具有暴露的钴、钼、铜、钼、钨和电介质表面的过程中微电子装置衬底。也提供一种清洁此类装置的方法和包含所述组合物的组分中的一或多者的试剂盒。
微电子装置清洁组合

[实用新型]化学机械平坦化(CMP)垫调节器组合件-CN202222598597.7有效
发明人： D·耶内尔;J·索萨;E·巴卢;L·厄乌尔;A·祖特时 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本申请案涉及一种化学机械平坦化CMP垫调节器组合件，所述CMP垫调节器组合件包含包括至少一种聚合物及至少一种添加剂的背板。所述至少一种添加剂以足以导致背板具有磁性性质、颜色性质、结构性质或其任何组合中的至少一者的量存在。所述CMP垫调节器组合件包含多个区段，所述多个区段包含陶瓷衬底及与所述陶瓷衬底成一体的多个激光纹理化突部。所述多个激光纹理化突部经涂覆有保形金刚石层。
化学机械平坦 cmp 调节器组合

[实用新型]高蒸汽压输送系统-CN202222851329.1有效
发明人： S·L·巴特尔;J·N·格雷格;D·K·奈托;B·亨德里克斯 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本申请案涉及高蒸汽压输送系统。一种系统包含汽化器容器。所述汽化器容器包含流体连接到所述汽化器容器的出口。加热器经配置以加热所述汽化器容器。阀经配置以调节所述出口处汽化材料的压力。响应于所述出口处的所述压力在设置压力范围外，所述加热器经配置以增加或减少到所述汽化器容器的热。
蒸汽输送系统

[发明专利]具有高纯度输送气体的吸附型储运容器和相关方法-CN202180072113.0在审
发明人： J·R·德斯普雷斯;J·斯威尼;E·A·斯特姆 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F17C11/00 文献下载
摘要：描述储存和分配系统和相关方法，其用于储存和从容器选择性分配试剂气体锗烷，在所述容器中所述试剂气体保持与储存容器的内部的固体吸附介质呈吸附关系，且其中所述方法和分配系统提供所述试剂气体从所述储存容器的分配，其中在所分配试剂气体中含有含量减少的大气杂质。
具有纯度输送气体吸附储运容器相关方法

[发明专利]用于衬底容器的闩锁机构-CN201780031745.6有效
发明人： R·V·拉施克;J·T·斯蒂芬斯 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明揭示一种衬底容器，其利用闩锁机构中由旋转凸轮致动的摇臂连杆或线性凸轮布置。所述摇臂连杆或线性凸轮被安装到所述衬底容器的门的内部面板，且可被安置靠近所述内部面板的边缘部分。所述摇臂连杆或线性凸轮可经配置以在所述衬底容器的外壳上施加轴向力分量，以将所述门设置抵靠密封部件。所述摇臂连杆或线性凸轮还将所述轴向闩锁力传递到所述门以减少力到所述凸轮的传递。所述摇臂连杆或线性凸轮可经布置以当接合所述闩锁机构时，在径向向外方向上传递轴向力，以防止回推于所述旋转凸轮上。
用于衬底容器机构

[发明专利]晶片容器及其尺寸调适系统-CN202180064194.X在审
发明人： M·Z·A·穆托利布;蔡健坪;林欣润 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-04 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶片容器包含：舱；门；具有顶壁的晶片匣；底板；及偏置构件。所述舱包含侧壁、封闭端及开放端。当由所述门关闭时，所述底板位于所述门与所述晶片匣之间且所述偏置构件经压缩于所述晶片匣与所述舱的所述封闭端之间。一种用于将晶片匣固定于封闭舱的内部空间内的尺寸调适系统包含：底板；及偏置构件。所述底板包含用于耦合所述底板与所述晶片匣的突起及用于耦合所述底板与所述门的凹口中的至少一者。所述偏置构件压缩安置于所述晶片匣与所述舱的封闭端之间。
晶片容器及其尺寸调适系统

[发明专利]具有可移动连接机构的歧管-CN202010469422.9有效
发明人：神元智 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B01D33/23 文献下载
摘要：本申请涉及具有可移动连接机构的歧管。描述了用于过滤器歧管系统的过滤器滤芯和歧管块。所述过滤器滤芯包含在所述过滤器滤芯的第一和第二端部处的环绕开口的凸缘，其中所述凸缘中具有面密封件。歧管块包含端部块，其中至少一个端部块是可移动的，使得所述端部块之间的距离能够改变。当过滤器滤芯通过接合所述凸缘与所述歧管端部块中的槽而安装到歧管中时，形成通过第一歧管端部块、进入所述过滤器滤芯、通过所述过滤器滤芯、离开所述过滤器滤芯并进入第二歧管端部块的流体路径。所述流体路径被所述面密封件密封，其中流从歧管端部块进入或离开所述过滤器滤芯。
具有移动连接机构歧管

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