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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]复合多孔过滤膜及过滤器-CN202121403522.8有效
发明人： K·S·成;J·A·贾比尔;余超成;M·吴;吴东柱;J·哈姆齐克 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B01D71/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及复合多孔过滤膜及过滤器。本实用新型提供可用于从液体去除各种杂质的特定复合膜。在某些方面，所述复合膜包括其上涂有聚酰胺的疏水性聚合物，且在其它方面，此类复合膜上面涂有某些丙烯酸聚合物。所述复合膜可用于去除液体中的各种杂质，例如工业和生命科学过程中遇到的那些杂质。
复合多孔滤膜过滤器

[发明专利]多孔聚乙烯滤膜以及相关过滤器及相关方法-CN202111440402.X在审
发明人： V·卡利亚尼;C·A·道伊迪阿克 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B01D71/26 文献下载
摘要：本申请案涉及一种多孔聚乙烯滤膜以及相关过滤器及相关方法。本发明描述：多孔滤膜，其包含两个对置侧、厚度及所述对置侧之间的多孔结构；过滤器组件及过滤器，其包含此类型的多孔滤膜；通过共挤压技术制造所述多孔聚乙烯滤膜、过滤器组件及过滤器的方法；及使用所描述的多孔滤膜、过滤器组件或过滤器的方法。
多孔聚乙烯滤膜以及相关过滤器方法

[发明专利]具有可燃过滤匣及可重复使用的框架的气载分子污染物过滤匣系统-CN201780031802.0有效
发明人： T·勒布朗;J·沃尔德古斯;M·韦内;E·瓦宁尔斯;J·高卓 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本发明涉及用以控制气载分子污染物的用于半导体工具及洁净室应用的过滤器。过滤匣系统包含：过滤匣，其具有非织纤维及至少一种吸附剂。在一些实施例中，所述过滤匣由大体上可燃材料构成以支持其终止服务破坏。
具有可燃过滤重复使用框架分子污染物系统

[发明专利]氢化且富含三氟化硼同位素的掺杂剂来源的气体组合物-CN201780033136.4有效
发明人： S·毕晓普;S·N·叶达弗;O·布莱;J·斯威尼;唐瀛 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2017-03-27 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C01B35/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种氢化且富含三氟化硼(BF3)同位素的掺杂剂来源气体组合物。所述组合物含有(i)三氟化硼，其富含高于天然丰度的同位素原子质量11的硼(11B)；和(ii)氢气，以所述组合物中三氟化硼和氢气的总体积计，所述氢气的量是2体积％到6.99体积％。还描述使用所述掺杂剂来源气体组合物的方法，和其对应的相关设备。
氢化富含氟化同位素掺杂来源气体组合

[发明专利]涂覆有抗裂氟退火膜的制品及制造方法-CN202111367249.2在审
发明人： N·困达;劳季钧;S·J·安杰洛尼;W·内夫 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本申请涉及涂覆有抗裂氟退火膜的制品及制造方法。提供与具有优异的抗等离子体蚀刻性且可延长RIE组件的使用寿命的涂层相关的制品及方法。制品具有真空兼容衬底及覆盖所述衬底的至少一部分的保护膜。所述膜包括含钇的氟化金属氧化物，其中使用AC电源沉积氧化钇。所述膜在所述膜的30％总厚度的深度处具有至少10的氟原子％，并且所述膜不具有当使用激光共聚焦显微镜以1000倍的放大率观察所述膜的整个深度时可见的在所述膜的表面下方的表面下裂纹。
涂覆有抗裂氟退火制品制造方法

[发明专利]液体过滤设备及使用液体过滤设备过滤液体的方法-CN202111374483.8在审
发明人： B·L·格雷格森 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： B01D63/06 文献下载
摘要：本申请案涉及一种液体过滤设备及一种使用液体过滤设备过滤液体的方法。描述液体过滤器设备以及相关方法，所述液体过滤器设备包含：外壳；内部，其在所述外壳内；筒组合件(另称为“滤筒”)，其容纳于所述外壳内；及通气孔，其允许气态流体从所述外壳的内部释放到所述外壳的外部，或包含静电放电缓解特征。
液体过滤设备使用方法

[发明专利]液体过滤设备及使用液体过滤设备过滤液体的方法-CN202111375942.4在审
发明人： B·L·格雷格森 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： B01D63/06 文献下载
摘要：本申请案涉及一种液体过滤设备及一种使用液体过滤设备过滤液体的方法。描述液体过滤器设备以及相关方法，所述液体过滤器包含：外壳；内部，其在所述外壳内；筒组合件(另称为“滤筒”)，其容纳于所述外壳内；及通气孔，其允许气态流体从所述外壳的内部释放到所述外壳的外部。
液体过滤设备使用方法

[实用新型]用于流体容纳系统的配件及容纳系统-CN202120833945.7有效
发明人： G·W·博雷斯;M·J·施莱歇;J·A·利斯 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B65D8/02 文献下载
摘要：本实用新型大体上涉及一种用于流体容纳系统的配件及一种容纳系统。更具体来说，本实用新型涉及一种用于将衬里附接在容器内且提供从所述衬里到所述容纳系统的外部的流体路径的配件。所述衬里及所述配件的至少一部分为所述容纳系统提供湿表面，而所述配件具有可接合到举例来说提供刚性及光防护的外容器的一部分。所述配件可为具有所述衬里可接合到的衬里配件及可接合到容器的保持器的两件式配件，其中所述衬里配件及所述保持器举例来说通过机械连接而彼此接合。所述衬里及衬里配件可为含氟聚合物或其它非反应性聚合物。所述容器及保持器可为UV阻隔型聚合物。
用于流体容纳系统配件

[实用新型]用于静电卡盘的螺旋多相电极-CN202123140945.8有效
发明人：陈俊泓;J·莱辛斯基;刘研 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请案涉及用于静电卡盘的螺旋多相电极。静电卡盘包含各自具有围绕所述静电卡盘的表面的中心的螺旋形状的多个电极，以提供多相静电卡盘。各电极可连接到不同相位的电力。所述螺旋形状可各自相互避开以及避开所述静电卡盘中的所述表面中的孔或开口。所述螺旋形状可使用处理器用算法确定。这些静电卡盘可包含三个或更多个电极。制造所述静电卡盘的方法包含确定所述电极中的每一者的形状及提供所述电极中的每一者。
用于静电卡盘螺旋多相电极

[发明专利]低金属含量聚烯烃过滤膜-CN202111269554.8在审
发明人： C·L·冈萨雷斯;J·A·贾比尔 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： B01D71/26 文献下载
摘要：本申请涉及低金属含量聚烯烃过滤膜。提供了某些聚烯烃膜，其可用作液体纯化过滤器的组件。有利地，本公开的所述过滤膜具有极大降低的某些痕量金属的浓度，因此使得其在制造微电子装置所用液体的过滤中特别有用。在一个方面，本公开提供了一种包含聚烯烃的过滤膜，其中所述聚烯烃具有总计小于约4ppm的选自钛、铝、铁、锌和镁的金属。
金属含量烯烃滤膜

[实用新型]复合膜及过滤器-CN202121049001.7有效
发明人：吴东柱;K·S·成;R·B·帕特尔;T·余;P·波伦;M·吴 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B01D69/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种复合膜和一种过滤器。具体地，本实用新型涉及一种通过层压两个或更多个单独的多孔聚合物层而形成的复合膜，以及一种用于层压的方法和系统。有利地，所得复合材料是单层，所述单层难以分离成其组成层，但又有效地维持了所述组成层未被层压时的过滤能力。
复合过滤器

[实用新型]过滤器及过滤器与歧管系统-CN202122256446.9有效
发明人：杨杰超;王瀚毅;谢博荣;杨熙濬 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B01D35/30 文献下载
摘要：本申请案涉及一种过滤器及一种过滤器与歧管系统。自锁到过滤器歧管的所述过滤器包含在平面图中具有长轴及短轴且沿着所述长轴比沿着所述短轴长的凸缘。所述过滤器进一步包含在所述长轴上的止挡器，所述止挡器可在所述过滤器插入到过滤器歧管中且旋转时接触所述歧管。所述过滤器可与具有狭槽的过滤器歧管一起使用，所述狭槽具有宽度比所述凸缘沿着所述短轴的长度大且比所述凸缘沿着所述长轴的长度小的开口，并且越过所述开口具有足以容纳所述长轴的所述长度的宽度。此布置允许所述凸缘在插入定向上插入到所述狭槽中，但不准许所述凸缘在其处于锁定位置中时穿过所述狭槽的所述开口。
过滤器歧管系统

[发明专利]经由受控制收缩制造的高保持性聚酰胺中空纤维膜-CN201780048017.6有效
发明人： M·吴;J·E·汤利;K·S·郑 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： B01D63/02 文献下载
摘要：本文中描述一种聚酰胺中空纤维膜，及制作且使用所述中空纤维膜的方法。所述聚酰胺中空纤维膜具有从约5L/m2h巴到约150L/m2h巴的异丙醇渗透率，及针对具有从约1nm到约25nm的标称直径的颗粒的约100％的颗粒排斥百分比。本文中所描述的所述聚酰胺中空纤维膜例如对于光致抗蚀剂过滤尤其有用。
经由受控收缩制造保持聚酰胺中空纤维

[实用新型]静电卡盘组合件-CN202122108858.8有效
发明人：刘研;S·唐奈;J·莱辛斯基;陈俊泓;C·明斯基 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种静电卡盘组合件。本实用新型描述了在处理工件的步骤期间用以支撑所述工件的静电卡盘，所述静电卡盘包含由多个经沉积层制成的凸起，所述层包含类金刚石碳层及含有基于硅的材料的层，例如碳化硅层。
静电卡盘组合

[发明专利]用于从胺中去除金属物种的膜-CN202111149755.4在审
发明人： J·哈姆齐克;J·布鲁斯特;S·桑帕斯;J·A·贾比尔;A·A·米尔 -专利权人： 恩特格里斯公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： B01D71/60 文献下载
摘要：本申请案涉及用于从胺中去除金属物种的膜。本公开内容涉及从流体中去除金属污染物，以及用于实施此类方法的配体改性过滤材料。本公开的过滤器及方法对于从包含胺的液体组合物中去除金属特别有效。此类金属量明显减少的液体组合物可用于微电子制造工艺，例如用于去除光致抗蚀剂的液体或蚀刻中所使用的液体。配体改性过滤器(例如配体改性多孔膜)可经配置用于微电子制造系统，所述配体改性过滤器可作为对进入所述系统的液体使用金属去除特征的点用于所述系统中。
用于去除金属物种

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