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- [发明专利]带有叠置适配器板的晶片搬运器-CN01819931.3无效
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菲尔·格林
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恩特格里斯公司
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2001-12-04
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2004-02-25
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H01L21/00
- 一种前部开口的晶片容器(30)具有带透明壳体的容器部分(32)和关闭开口的前部的门(34)。容器部分(32)在壳体底部上具有机械接口，如运动偶接器(56)，以及在壳体顶部处的插口(73)，以容纳附件，尤其是机器人提升凸缘或适配器板(50)。适配器板(50)理想地具有相配合的机械接口部分，以允许晶片搬运器叠置。在优选实施例中，插口(73)具有滑动支承部(72、74)，该滑动支承部带有根切部分(75)，用于保持机器人提升凸缘或适配器板(50)。附件理想地具有定位在附件上的棘爪，以可释放地将所述附件闭锁到容器部分(32)的特定位置处。
- 带有适配器晶片搬运
- [发明专利]具有闭锁门的输送组件-CN00811582.6有效
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格雷戈里·W·博里斯;迈克尔·C·扎布卡
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恩特格里斯公司
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2000-07-06
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2002-11-06
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B65D85/90
- 一种晶片容器,其具有与门尺寸相适应的接收支架。门(94)包括闭锁联动装置(250、252),其使得闭锁部分从门延伸、上升、下降、退回,进入门支架中的闭锁插座(150),或者从闭锁插座(150)中退出。各闭锁机构采用具有连接手柄(170、172)的滑动板(210),手柄暴露在门的前面上。滑动板有与闭锁联动装置协同作用的提升联动装置(220、222)。移动手柄使得闭锁部分延伸进入闭锁插座。借助在重叠的联动装置上的斜表面(226)和随动表面(277),使闭锁部份沿着垂直于第一方向的方向移动,以便向内拉门并使门密封容器。滑动板包括与小齿轮(290)啮合的齿条部件(224)。从门的前面借助闭锁键(300)可以通入小齿轮。
- 具有闭锁输送组件
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