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[发明专利]沉积源及显示装置的制造装置-CN202210825069.2在审
发明人：曹踊晧;洪锡俊;姜有珍;金东昱;郑和平;韩尚辰 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明公开一种沉积源及显示装置的制造装置。本发明的一实施例的沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，被设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。
沉积显示装置制造装置

[实用新型]沉积源及显示装置的制造装置-CN202221808768.8有效
发明人：曹踊晧;洪锡俊;姜有珍;金东昱;郑和平;韩尚辰 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开一种沉积源及显示装置的制造装置。本实用新型的一实施例的沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，被设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。
沉积显示装置制造装置

[实用新型]蒸发源-CN202221437850.4有效
发明人：徐敏逵;姜有珍;程相慜;郑和平 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸发源。根据一实施例的蒸发源包括：坩埚，容纳沉积材料；以及加热部，围绕所述坩埚的至少一部分。所述加热部包括：加热器，包括发热体以及位于所述发热体的两端的电极；盖体，围绕所述发热体；以及框架，固定有所述盖体。
蒸发

[发明专利]沉积源-CN202110939105.3在审
发明人：郑和平;徐敏逵;姜有珍;尹钟建;程相慜;洪锡俊 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：一实施例的沉积源包括沉积模块以及收纳沉积模块的壳体，沉积模块包括：第一坩埚，沿着第一方向延伸，并且在内部空间收纳沉积物质；多个喷嘴，配置在第一坩埚上，并且沿着第一方向排列多个喷嘴；发热部件，收纳第一坩埚；以及辐射热防止部件，配置在发热部件的上表面、外侧面和下表面上，辐射热防止部件包括多个反射器以及分别连接多个反射器之中的相邻的反射器之间的多个销，多个销被配置成在平面上彼此错开。本发明的沉积源防止在沉积源内产生的热朝向沉积源的外部的损失或散出，从而提供一种在高温环境下提高了可靠性的沉积源。
沉积

[发明专利]沉积设备的喷嘴堵塞清除装置及其喷嘴堵塞清除方法-CN202110929203.9在审
发明人：曹踊晧;徐敏逵;姜有珍;朴俊河;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B05B15/50 文献下载
摘要：公开了沉积设备的喷嘴堵塞清除装置以及使用其的喷嘴堵塞清除方法。沉积设备的喷嘴堵塞清除装置可以包括运载件、喷嘴堵塞清除部、喷嘴堵塞清除部移动构件和运载件移动构件，其中，喷嘴堵塞清除部位于运载件下方，并且包括至少一个喷嘴堵塞清除构件；喷嘴堵塞清除部移动构件在运载件下方移动喷嘴堵塞清除部；运载件移动构件将运载件移动到沉积腔的内部和外部。
沉积设备喷嘴堵塞清除装置及其方法

[发明专利]线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置-CN201710660922.9有效
发明人：安秉九;吴镇浩;尹昌宣;车敏徹;姜有珍 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2017-08-04 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：公开了线性蒸发源及包括该线性蒸发源的沉积装置，该线性蒸发源包括坩埚、加热单元和喷嘴单元，其中：坩埚配置成容纳蒸发材料；加热单元包围坩埚并且加热坩埚；喷嘴单元位于坩埚上方，该喷嘴单元包括喷嘴板和从喷嘴板突出的至少一个喷嘴。坩埚的长度是坩埚的宽度的约5倍至约30倍。坩埚包括相对于坩埚的总重量的约95.0重量百分比(wt％)至约99.99wt％的量的钼(Mo)和约0.01wt％至约5wt％的量的氧化镧(La2O3)。
线性蒸发包括沉积装置

[发明专利]沉积源-CN201610080804.6有效
发明人：薛在完;姜有珍;金东昱;尹日燮;车龙俊 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2016-02-05 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。
沉积

[发明专利]用于制造显示装置的设备-CN201910669080.2在审
发明人：韩尚辰;朴俊河;姜有珍;金东昱;卢喆来;薛在完;郑成镐;许明洙;徐敏逵 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括：腔室；多个源单元，位于腔室的外部，其中，多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体；喷嘴单元，位于腔室中，其中，喷嘴单元连接到多个源单元，并且将从多个源单元中的一个源单元供应的沉积材料喷射到腔室中；以及调节单元，位于多个源单元中的每个源单元与喷嘴单元之间，其中，调节单元使从多个源单元中的每个源单元供应到喷嘴单元的沉积材料中断，并且选择性地将多个源单元与喷嘴单元连接。
源单元喷嘴单元沉积材料腔室显示装置喷射制造容纳中断外部转化

[发明专利]有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法-CN201811357355.0在审
发明人：李侑钟;许明洙;郑成镐;韩尚辰;姜有珍;徐敏逵;韩种馩 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本发明公开一种有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法。本发明的有机物沉积装置设置于真空腔室内，并包括：沉积物质供应部；容器部，存储从沉积物质供应部供应的沉积物质；气化部，在内部设置有使沉积物质气化的第一加热器；移送部，结合于容器部，借助直线往复运动而将容器部移送至所述气化部的内部；以及喷嘴部，与气化部分离布置，且借助连接管而与气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。
沉积有机物沉积装置气化部容器部物质供应直线往复运动第一加热器内部设置喷射沉积物质气化连接管喷嘴部真空腔基板气化连通存储室内

[发明专利]制造显示设备的设备和方法-CN201810315462.0在审
发明人：韩尚辰;姜有珍;朴俊河;徐敏逵;李侑钟;韩种馩;高银儿;朴盛锺 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：公开了用于制造显示设备的设备和方法。该设备包括腔室、沉积源、喷头、衬底固定件和防沉积件。沉积源位于腔室外部并使沉积材料蒸发或升华。喷头位于腔室中、与至少一个沉积源连接并且将沉积材料同时喷射到显示衬底的整个表面上。衬底固定件与腔室连接并且线性地移动，其中，显示设备安装在衬底固定件上。防沉积件在腔室中围绕喷头的边缘部分和衬底固定件的边缘部分。防沉积件在沉积过程期间被加热。
衬底固定件腔室喷头显示设备沉积源防沉积沉积材料腔室外部整个表面衬底沉积加热喷射制造蒸发升华移动

[发明专利]用于沉积装置的罐及使用罐的沉积装置-CN201110006623.6无效
发明人：郑珉在;李基龙;洪钟元;罗兴烈;姜有珍;张锡洛;徐晋旭;梁泰勋;郑胤谟;苏炳洙;朴炳建;李东炫;李吉远;白原奉;朴钟力;崔宝京;伊凡·马伊达楚克;郑在琓 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2011-01-10 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：一种用于沉积装置的罐和使用罐的沉积装置，并且更为具体地，一种能够提供包含在供应到沉积室中的反应气体中的均匀量的原材料并且提高原材料供应的安全性的沉积装置的罐，以及使用罐的沉积装置。该沉积装置包括：沉积室；将反应气体供应到该沉积室的罐；以及用于将载气供应到罐的载气供应器，其中该罐包括主体、加热该主体的加热单元以及布置在该主体下方的温度测量单元。
用于沉积装置使用

[发明专利]加热单元和具有加热单元的基板处理装置-CN201010285202.7有效
发明人：洪钟元;郑珉在;罗兴烈;姜有珍;张锡洛 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-09-15 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及加热单元和具有加热单元的基板处理装置。该基板处理装置包括加热单元，该加热单元对处理多个基板的处理室进行加热，并且在所述处理之后快速冷却所述处理室。所述加热单元包括：具有进气口和排气口的主体；位于所述主体内部的一个或多个加热器；连接至所述主体的进气口的冷却器；连接至所述主体的排气口的排气泵；以及控制所述冷却器的控制器。所述基板处理装置包括：船形体，多个基板被堆叠在该船形体中；提供处理所述基板的空间的处理室；将所述船形体送入或送出所述处理室的传送单元；以及位于所述处理室外部的所述加热单元。
加热单元具有处理装置

[发明专利]用于沉积装置的罐以及利用该罐的沉积装置和方法-CN201010224415.9有效
发明人：罗兴烈;李基龙;徐晋旭;郑珉在;洪钟元;姜有珍;张锡洛;梁泰勋;郑胤谟;苏炳洙;朴炳建;伊凡·马伊达楚克;李东炫;李吉远;白原奉;朴钟力;崔宝京;郑在琓 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-07-07 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种用于沉积装置的罐和一种利用该罐的沉积装置和方法，所述罐在原料通过原子层沉积被沉积在基板上时能够保持包含在供应到沉积室的反应气体中的原料的预定量，该罐包括：主体、被配置为存储原料的原料存储器、设置在所述主体的外侧的加热器以及被配置为控制所述原料从所述原料存储器供应到所述主体的第一供给控制器。
用于沉积装置以及利用方法

[发明专利]基板处理设备-CN201010128599.9有效
发明人：罗兴烈;李基龙;徐晋旭;郑珉在;洪钟元;姜有珍;张锡洛;郑胤谟;梁泰勋;苏炳洙;朴炳建;李东炫;李吉远;朴钟力;崔宝京;伊凡·迈丹丘克;白原奉;郑在琓 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-03-03 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明公开一种基板处理设备，其通过均匀地加热基板，在多个基板上形成薄膜和热处理基板。该基板处理设备包括处理室、其中堆叠基板的船形器皿、位于处理室外部的外部加热器、将船形器皿移进和移出处理室的输送器、位于输送器下方的下部加热器、和位于船形器皿中间的中间加热器。
处理设备

[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法和有机发光二极管显示器装置-CN201010124380.1有效
发明人：朴炳建;梁泰勋;徐晋旭;李基龙;马克西姆·利萨琴科;崔宝京;李大宇;李吉远;李东炫;朴钟力;安志洙;金永大;罗兴烈;郑珉在;郑胤谟;洪钟元;姜有珍;张锡洛;郑在琓;尹祥渊 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-02-26 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜晶体管(TFT)和有机发光二极管(OLED)显示器装置。所述TFT和OLED显示器装置包括基板；缓冲层，所述缓冲层位于所述基板上；半导体层，所述半导体层位于所述缓冲层上；栅电极，所述栅电极与所述半导体层绝缘；栅绝缘层，所述栅绝缘层将所述半导体层与所述栅电极绝缘；以及源电极和漏电极，所述源电极和漏电极与所述栅电极绝缘，且部分连接所述半导体层，其中所述半导体层由金属催化剂结晶化的多晶硅层形成，且所述金属催化剂通过使用蚀刻剂吸杂来去除。此外，OLED显示器装置包括绝缘层，所述绝缘层位于所述基板的整个表面上；第一电极，所述第一电极位于所述绝缘层上，且电连接所述源电极和漏电极其中之一；有机层；和第二电极。
薄膜晶体管及其制造方法有机发光二极管显示器装置

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