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[发明专利]一种基于ALD技术的硅湿法腐蚀掩膜方法-CN201810350030.3在审
发明人：杨芳;张大成;郭俊敏;姜博岩;李婷;罗葵;王玮;范泽新 -专利权人：北京大学
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于ALD技术的硅湿法腐蚀掩膜方法，其步骤包括：准备待腐蚀的硅片；采用ALD技术在所述硅片表面上淀积一层硅湿法腐蚀掩膜；对所述掩膜进行减薄，直至露出下方的硅片表面；利用湿法腐蚀溶液对所述硅片进行腐蚀，获得微结构。本发明利用ALD技术制备硅湿法腐蚀掩膜，淀积温度低，残余应力小，制备的掩膜材质致密，保形覆盖性好，抗腐蚀时间长，可以实现对带有金属、不能经受高温或应力敏感、有高深宽比结构或可动结构的硅片的腐蚀保护。
掩膜腐蚀硅湿法硅片硅片表面淀积制备致密保形覆盖残余应力腐蚀保护高深宽比可动结构湿法腐蚀抗腐蚀微结构减薄金属敏感

[发明专利]一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法-CN201610037420.6有效
发明人：关淘淘;杨芳;黄贤;张大成;王玮;姜博岩;何军;张立;付锋善;李丹;李睿;范泽新;赵前程;王玮 -专利权人：北京大学
申请日： 2016-01-20 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法。本发明首次提出具有回旋镖结构的硅应变膜，压敏电阻排布于回旋镖结构的应力集中处，提高了压阻式压力传感器的灵敏度和线性度；选择LPCVD的SiO₂/Si₃N₄作为KOH腐蚀工艺的掩膜，提高了KOH背腔腐蚀工艺中掩膜对K⁺的阻挡特性从而保证传感器的高可靠性；采用了硅玻璃阳极键合工艺，其中的玻璃起到了应力缓冲的作用，提高了传感器在后续封装和测试中的稳定性。本发明的MEMS压阻式压力传感器同时具有较高的灵敏度和线性度，其制备方法兼容于通用的MEMS加工技术，产品可靠性以及成品率较高。
一种 mems 压阻式压力传感器及其制备方法

[发明专利]一种压阻式压力计芯片结构及其制备方法-CN201510063605.X有效
发明人：黄贤;杨芳;张大成;姜博岩;王玮;何军;田大宇;刘鹏;罗葵;李婷;张立 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G01L9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种压阻式压力计芯片结构及其制备方法，优选采用TSV和CMP工艺来实现。其中硅应变膜的厚度可以利用TSV工艺提前确定，在利用CMP工艺进行硅片减薄时可以自停止在TSV金属填充孔位置，可以大幅提高硅应变膜厚度的控制精度，大幅提高芯片成品率；在完成键合面金属引线和键合面绝缘介质隔离层的制备后利用CMP工艺对待键合硅面做平整化处理，可以有效的提高硅玻璃阳极键合的气密性和强度，提高芯片长期可靠性；同时，通过键合面绝缘介质隔离层的制备有效避免了阳极键合过程中的高能离子对键合界面金属引线的损耗，可以有效提高金属电信号连接的可靠性。
一种压阻式压力计芯片结构及其制备方法

[发明专利]一种压力计芯片结构及其制备方法-CN201510903317.0在审
发明人：杨芳;王玮;张大成;黄贤;何军;张立;李婷;罗葵;王颖;姜博岩 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-12-09 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力计芯片结构及其制备方法，该结构相比传统典型结构具有尺寸小，稳定性好、抗过载能力强和长期可靠性高等突出优势。此外针对该芯片结构开发的工艺流程与常规微纳加工技术兼容，器件加工成本低廉，芯片可实现较高的一致性。这种方法加工的压力计芯片具有更高的长期工作稳定性和抗过载破坏性能、较高的工艺可靠性，更小的芯片尺寸和成本以及更广阔的应用领域。
一种压力计芯片结构及其制备方法

[发明专利]一种压力计芯片结构及其制备方法-CN201510064104.3在审
发明人：黄贤;王玮;张大成;姜博岩;杨芳;何军;田大宇;刘鹏;罗葵;李婷 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2015-06-03 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力计芯片结构及其制备方法，优选采用TSV后通孔技术实现。该结构的压力计芯片相比典型器件结构具有芯片尺寸小、自封装的优点；该设计加工工艺流程与常规微纳加工技术兼容，器件加工成本低，具有较高的成品率；该结构的压力计传感器拥有较薄的芯片厚度而且同时适用于芯片正面向上的压焊封装方式和芯片正面向下的倒装焊封装方式，具有较广阔的应用领域。
一种压力计芯片结构及其制备方法

[发明专利]一种压阻式压力计芯片结构及其制备方法-CN201510020963.2在审
发明人：黄贤;刘鹏;张大成;姜博岩;王玮;何军;田大宇;杨芳;罗葵;李婷;张立 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-01-15 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： G01L9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种压阻式压力计芯片结构及其制备方法，其中，压阻式压力计芯片结构包括压敏电阻、重掺杂接触区、金属引线、硅应变膜、玻璃底座以及硅应变膜和玻璃底座之间的空腔，该结构的压力传感器相比典型器件结构具有工艺简单、芯片尺寸小的优点；同时采用阳极键合和硅片减薄工艺，该设计加工方法与标准体硅压阻式压力传感器的加工工艺兼容，器件加工成本低，具有较高的成品率。
一种压阻式压力计芯片结构及其制备方法

[发明专利]一种采用紫外线固胶的电子束曝光方法-CN201310097604.8有效
发明人：刘鹏;王玮;田大宇;姜博岩;杨芳;戴小涛;张大成 -专利权人：北京大学
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： G03F7/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用紫外线固胶的电子束曝光方法，其步骤包括：1）清洗基片，并在基片上涂敷黏附层；2）在黏附层上旋涂剥离层光刻胶；3）对基片进行烘烤；4）在剥离层光刻胶上旋涂具有紫外敏感特性的电子束光刻胶；5）对基片进行烘烤；6）对电子束光刻胶进行电子束曝光；7）显影电子束光刻胶；8）采用紫外线照射显影后的电子束光刻胶图形，使其交联固化；9）显影剥离层光刻胶。本发明利用电子束光刻胶本身的紫外敏感特性，通过紫外线固胶的方式提高LOL剥离层和电子束光刻胶显影速度之比，解决双层胶的工艺兼容性问题，得到陡直的光刻胶侧壁。
一种采用紫外线电子束曝光方法