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[外观设计]涂胶显影机（Rubi1）-CN202230452724.5有效
发明人：邵东;魏祥红;支少毅 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： 16-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：涂胶显影机（Rubi1）。2.本外观设计产品的用途：晶元的涂胶、显影。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
涂胶显影 rubi1

[外观设计]型材（50-50）-CN202230403301.4有效
发明人：魏红祥;田来;袁良照 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： 25-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：型材（50‑50）。2.本外观设计产品的用途：机器支撑用铝型材。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品为不定长产品。
型材 50

[实用新型]一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具-CN202221204314.X有效
发明人：赵明山;徐政伟 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具，包括监测壳体、以及设于监测壳体上的连接机构，监测壳体内设置有控制单元和连接控制单元的入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元；控制单元，用于接收和处理入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元发送的数据；入口监测单元，用于监测设于监测壳体上气体入口和液体入口开启关闭监测状态；阀门监测单元，用于监测设于监测壳体电磁阀开启闭合状态；液体监测单元，用于监测通过监测壳体的液体流量；压力监测单元，用于监测通过监测壳体内的气体压力；本实用新型可以便捷的对涂胶显影设备机组进行监测，降低了设备联合调试的工作量，提高了设备的生产效率。
一种涂胶显影化学品设备监测工具

[实用新型]一种晶圆加热装置-CN202221204315.4有效
发明人：邵东;蔡虹 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆加热装置，包括安装座、设置在所述安装座上的加热组件、顶料组件和输料组件，所述输料组件滑动设置在所述加热组件一侧，所述输料组件通过驱动机构驱动沿伸入或远离加热组件方向运动；通过设置输料组件实现机械手臂与加热组件之间的转接，机械手臂不用直接伸入加热组件进行晶圆的放、取，避免高温对机械手臂造成损坏，同时设置顶料组件完成晶圆在输料组件和加热组件之间的取放工作，提升晶圆转接效率，降低晶圆取放难度。
一种加热装置

[发明专利]一种涂胶显影机用HMDS多出口药液罐-CN202210545798.2在审
发明人：支少毅 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供一种涂胶显影机用HMDS多出口药液罐，包括上端面开设储液槽的罐体、设于储液槽内的分隔机构、以及设于储液槽上的出液机构，分隔机构包括将储液槽上部分分隔为至少两个体积相同的分隔空间和一个孤立空间的分隔组件，至少两个分隔空间和孤立空间通过储液槽下部分贯通；出液机构包括密封设于储液槽开口位置的盖板、多个底端贯穿与盖板上且分别与分隔空间和孤立空间一一对应贯通的出液组件、以及设于盖板上监测储液槽内液深的监测组件；本发明减少了管路的布置，减少了罐子的数量，实现了集成度更高、成本更低和安全性更高。
一种涂胶显影 hmds 出口药液

[实用新型]一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置-CN202122823859.0有效
发明人：唐正隆;王正辉;任硕;吴星华;汪丽静 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，包括固线机构和感应机构，所述感应机构包括固定螺管、固定板、支撑柱以及光电传感器，所述光电传感器通过支撑柱固定于所述固定板上，所述固定板开设有通线通孔和操作槽，所述固定板螺纹连接于所述固定螺管内部，所述固定螺管螺纹连接于所述手臂的第一承载槽内的其中一个安装通孔内；所述固线机构包括至少一个固线滑块，所述固线滑块设置于所述手臂背面的滑槽内，所述光电传感器的导线通过通线通孔并穿过固线滑块。采用上述结构的一种适用于兼容多种尺寸晶圆传送手臂的感应装置，可以感应不同尺寸晶圆的有无，便于后期机械臂的控制，且结构简单，安装便捷。
一种适用于兼容多种尺寸传送手臂感应装置

[实用新型]一种用于传送装置上的晶圆检测装置-CN202122823860.3有效
发明人：唐正隆;王正辉;吴星华 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于传送装置上的晶圆检测装置，包括发射接收机构和反射机构，所述发射接收机构包括光电传感器、固定臂以及连接合页，所述光电传感器固定于所述固定臂的一端，所述固定臂的另一端通过连接合页固定于所述传送装置的支架上；所述反射机构包括固定框和反射镜，所述反射镜固定于所述固定框的中部，所述固定框一侧固定有与所述传送装置顶端固定连接的固定板，所述固定框的两端开设有定位槽，固定于所述传送装置侧面的定位导向件插设于所述定位槽内。采用上述结构的一种用于传送装置上的晶圆检测装置，便于安装和检修，可检测多种晶圆。
一种用于传送装置检测

[实用新型]一种晶圆传输装置用定位工装-CN202122116026.0有效
发明人：唐正隆;王正辉;吴星华;储长流;张立 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆传输装置用定位工装，包括固定盘以及若干圆周对称分布于所述固定盘上的定位块，所述定位块包括固定板、移动板以及固定螺钉，所述固定板一端设置有卡台，所述固定板另一端设置有插槽，所述移动板一端插入到所述插槽内并通过固定螺钉固定，所述移动板另一端设置定位凸起。采用上述结构的一种晶圆传输装置用定位工装，适用于多种尺寸的晶圆固定，定位可靠，提高了传输装置的兼容性，降低设备成本。
一种传输装置定位工装

[实用新型]一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂-CN202122115936.7有效
发明人：唐正隆;王正辉;吴星华;储长流;张立 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，包括臂体，所述臂体的安装端设置有安装孔，所述臂体的承载端开设有第一承载槽、第二承载槽以及调节槽，所述第一承载槽、所述第二承载槽以及所述调节槽同心设置，所述调节槽的中部设置有升降吸附固定机构，所述调节槽内对称设置有调节承载机构。采用上述结构的一种可兼容多种尺寸晶圆传送手臂，适用于多种尺寸的晶圆传送，结构简单，定位可靠，提高了设备的兼容性。
一种兼容多种尺寸传送手臂

[实用新型]一种适用于多种型号晶圆的感应装置-CN202122115813.3有效
发明人：唐正隆;王正辉;吴星华;储长流;张立 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于多种型号晶圆的感应装置，包括晶圆承载板、发射接收机构、固定支架以及反射机构，发射接收机构包括三个透明检测型光电传感器；固定支架包括连接板、L型增高杆以及T型固定板，T型固定板与L型增高杆顶部固定连接，L型增高杆底部与连接板固定连接，连接板固定于晶圆承重板上；反射机构包括三个反射镜以及固定于反射镜下方的定位磁板，其中两个定位磁板设置于承载板对称开设的两个固定槽内，另外一个定位磁板插设于晶圆承载板的插槽内，三个反射镜与三个透明检测型光电传感器相对设置。采用上述结构的一种适用于多种型号晶圆的感应装置，传感器器位置可调，同时采用透明检测型光电传感器，便于使用不同尺寸和型号的晶圆。
一种适用于多种型号感应装置

[实用新型]一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂-CN202022811393.8有效
发明人：唐正隆;王正辉;吴星华;储长流 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，所述夹持臂的弧形内侧两端和中部均设有夹持头；所述夹持臂的外侧设有环形分布的第一减重带、第二减重带和第三减重带，所述第一减重带、所述第二减重带和所述第三减重带均以所述夹持臂的中心线为中心对称分布，所述第三减重带设置于所述本体后端的固定部，所述第一减重带、所述第二减重带和第三减重带纵向两端的外沿形成平滑的曲线结构。本实用新型采用上述结构的一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。
一种消除共振涂胶显影传送手臂

[实用新型]一种晶圆生产用中继模块的机械手-CN202022811411.2有效
发明人：唐正隆;吴星华;任硕;刘同同 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆生产用中继模块的机械手，包括一体对称结构的本体，所述本体中心的固定孔外侧设有均匀分布的减重槽，所述本体的外沿设有呈正六边形分布的条形支撑部，所述支撑部设置于所述减重槽的外侧，且二者的中心位于同一条直线上，所述支撑部之间通过平滑的曲线结构连接；所述支撑部的外沿和中部分别设有位于同一个圆上的第一吸盘、位于同一个圆上的第二吸盘，所述第一吸盘下方的凸台高度高于所述第二吸盘的凸台高度。本实用新型采用上述结构的一种晶圆生产用中继模块的机械手，提高稳定性，增加使用效率，节约成本。
一种生产中继模块机械手

[实用新型]一种高效型晶圆传送臂-CN202022811449.X有效
发明人：唐正隆;王向东;吴星华;任硕 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效型晶圆传送臂，包括均匀分布在同一圆形上的传送主体，所述传送主体为近L型的一体结构，并包括固定部和支撑部，所述支撑部包括分别与所述固定部连接的第一支撑部、第二支撑部，所述第二支撑部向外倾斜于所述第一支撑部；所述第一支撑部前端水平触头的长度长于所述第二支撑部末端水平触头的长度，所述触头上吸盘的内侧均设有传感器。本实用新型采用上述结构的一种高效型晶圆传送臂，结构简单，可以实现多种类型晶圆的传送，操作方便。
一种高效型晶圆传送

[实用新型]一种多功能型晶圆传送手臂-CN202022811966.7有效
发明人：唐正隆;吴星华;任硕;汪丽静 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能型晶圆传送手臂，包括本体，所述本体的前端设有圆弧形夹持臂，其后端设有固定部，所述夹持臂末端的两侧设有与所述固定部连接的向内凹的弧形凹槽，所述夹持臂的宽度不大于所述固定部的宽度，所述夹持臂宽边的两侧设有对称设置的平端；所述固定部的中部设有第一减重槽，所述夹持臂的后端设有与所述固定部连接的第二减重槽，所述夹持臂的弧形结构前端的下方设有环形延长板，所述延长板、所述夹持臂的两端和中部均设有夹持头。本实用新型采用上述结构的一种多功能型晶圆传送手臂，结构简单，操作方便，实现多种类型晶圆的传送。
一种多功能型晶圆传送手臂

[实用新型]一种平边晶圆的主传送手臂-CN202022811446.6有效
发明人：唐正隆;王向东;王正辉;吴星华 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平边晶圆的主传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，其后端的固定部上对称设置有减重槽，所述夹持臂内部弧形结构的两端和中部均设有连接夹持头的卡槽，所述夹持头为一体的弧形结构，其内侧的中部设有水平置物部，所述置物部的等腰梯形结构两腰为向内凹陷的弧形结构；所述夹持头的内侧设有向内凹陷的弧形凹槽，所述凹槽中部通过导向槽与所述置物部连接，所述凹槽外侧切线的竖直夹角小于导向槽外侧切线的竖直夹角。本实用新型采用上述结构的一种平边晶圆的主传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。
一种平边晶圆传送手臂