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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种冷却板水管连接装置及冷却板水管连接方法-CN202310785173.8在审
  • 蔡虹;魏祥红;邵东 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2023-06-29 - 2023-09-29 - F16L43/00
  • 本发明公开了一种冷却板水管连接装置及冷却板水管连接方法，冷却板水管连接装置包括进水管和返水管；进水管具有第一端和第二端，第一端和第二端分别设置为进水口和出水口；返水管具端部一和端部二，端部一和端部二分别设置为返水口和排水口；出水口与冷却板上的入水口连接，返水口与冷却板上的回水口连接；进水口和排水口上分别连接进水软管和返水软管；第一端与冷却板移动方向平行，端部二与冷却板移动方向平行；本发明通过冷却板水管连接装置的使用，实现水流铜管与水流管道的转接，使得水流管道呈水平状态，消除水流管道受到的扭矩了，延长水流管道和冷却板设备的使用寿命。
  • 一种冷却水管连接装置方法
  • [实用新型]晶圆装配同心调节工具-CN202320485172.7有效
  • 赵明山;魏祥红 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2023-03-14 - 2023-09-12 - H01L21/68
  • 本实用新型提供晶圆装配同心调节工具，包括设置在机械手上调节多个晶圆同心的调节机构，调节机构包括多个可固定晶圆的固定组件、设置在机械手上并连接固定组件的调节组件、以及可将多个固定组件上晶圆进行同心操作的同心组件，调节组件驱动固定组件在机械手上进行移动；固定组件包括设置在调节组件上且相互平行的多个固定块、以及设置在固定块上端面上开设固定槽内的固定件，固定槽的底壁上开设有贯通口；同心组件包括可设置在固定槽内的限制盘、以及一根可穿过多个限制盘端面开设限定孔的限定杆；本实用新型可以便捷的调节每层固定块的位置，避免了机械手在晶圆传输过程中的位置不准确带来的良品率问题，提高了生产效率，降低了生产成本。
  • 装配同心调节工具
  • [实用新型]Nozzle头喷嘴的专用拆卸工具-CN202320532065.5有效
  • 赵明山;魏祥红;邵东 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2023-03-14 - 2023-07-21 - B25B27/00
  • 本实用新型提供Nozzle头喷嘴的专用拆卸工具，包括通过安装块设置在喷胶机上的喷嘴、以及对喷嘴进行拆卸的拆卸装置，安装块侧面设置有外螺纹，拆卸装置包括一端开设拆卸槽的拆卸杆，拆卸杆远离拆卸槽的一端上可拆卸安装有转动组件；拆卸槽的槽壁上开设有与外螺纹相匹配的内螺纹，且拆卸槽的底壁开设有供喷嘴穿入的防护槽；本实用新型可以便捷地对Nozzle喷嘴进行更换或维修，并避免了对Nozzle喷嘴造成损坏，提高了对Nozzle喷嘴拆卸安装的效率。
  • nozzle喷嘴专用拆卸工具
  • [发明专利]一种利用金属锡进行加热的热盘-CN202310192023.6在审
  • 蔡虹;王向东 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2023-03-02 - 2023-05-12 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种利用金属锡进行加热的热盘，包括由上至下依次设置的均热层、储热层、加热层和隔热层，所述均热层、储热层、加热层和隔热层依次叠加且通过螺栓固定；所述储热层包括中空的铜盘和填充在所述铜盘空腔中的金属锡，加热层对储热层加热时，金属锡由固态熔化成液态。当热盘的温度超过了锡的熔点时，利用锡的低熔点，可以形成锡的金属液体，达到类似液体的蓄热效果，同时因为液体的流动性，进而使储热层各位点的温度更加均匀。在热盘上安装多个传感器，实现对储热层多个位点进行温度监测，避免出现局部温度过高将硅片烤坏的风险。
  • 一种利用金属进行加热
  • [实用新型]一种便于高度调节的热板pin针安装结构-CN202223430690.3有效
  • 张一帆;李存富;尚宇 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2022-12-21 - 2023-04-07 - G03F7/38
  • 本实用新型提供一种便于高度调节的热板pin针安装结构，包括设置在涂胶显影机上的升降组件、设置在升降组件上的顶板、以及通过固定机构固定于顶板上端面上的pin针本体，顶板上端面至少开设三个呈圆周阵列排列的固定机构包括固定孔、顶端设置固定块且杆身与固定孔螺纹连接的固定螺杆、以及设置在固定块上端面上的固定组件，固定块呈六棱柱结构，且固定块上端面开设可供pin针本体穿入的卡紧槽；固定组件设置在卡紧槽内，并可将pin针本体底端固定于卡紧槽内；本实用新型可以便捷的对pin针本体的高度进行调节，提高了对pin针本体高度调节的效率，避免了pin针本体在调节高度时出现损坏。
  • 一种便于高度调节pin安装结构
  • [实用新型]一种热板用的硅片承载装置-CN202222953716.6有效
  • 唐正隆;蔡虹 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2022-11-07 - 2023-02-10 - H01L21/683
  • 本实用新型提供一种热板用的硅片承载装置，包括支撑组件、设于支撑组件上的加热板、以及设于支撑组件上并贯穿加热板的顶起机构，顶起机构包括至少三根呈圆周阵列贯穿于加热板上的顶针、设于支撑组件内且输出端连接顶针底端的升降组件、以及套设于顶针顶端上且可导电的硅胶套，多根顶针中至少一根具有导电性能；顶针内部开设有真空通道，且多根顶针底端连接吸附装置；本实用新型可以稳定的对硅片本体进行升降，并实现了对硅片本体的静电释放。
  • 一种热板用硅片承载装置
  • [实用新型]一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置-CN202222952746.5有效
  • 袁良照 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2022-11-07 - 2023-01-13 - B08B17/00
  • 本实用新型提供一种用于晶圆涂胶显影系统防尘装置，包括涂胶显影设备、设于涂胶显影设备一侧开设工作槽开口位置的防护门、以及设于工作槽内对晶圆加工的涂胶显影模块，工作槽内且临近防护门的位置设置有防尘机构，防尘机构包括设于工作槽内可在工作槽开口位置形成空气气幕的防尘组件；防尘组件包括顶侧通过安装件设于工作槽内临近涂胶显影设备顶端槽壁上且底侧侧面开设喷气孔朝向工作槽开口位置的气动喷头；本实用新型可以避免外部颗粒进入到设备内部，提高了晶圆生产的良品率。
  • 一种用于涂胶显影系统防尘装置
  • [实用新型]一种涂胶真空旋转单元-CN202222953709.6有效
  • 赵明山 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2022-11-07 - 2023-01-13 - G03F7/16
  • 本实用新型提供一种涂胶真空旋转单元，包括旋转电机、以及通过密封机构设于所述旋转电机输出轴上的晶圆旋转平台，所述密封机构包括设于所述输出轴上的限制筒、设于所述晶圆旋转平台下端端面中心位置上的连接筒、以及设于所述限制筒上的密封组件，所述连接筒通过下端面开设的连接槽套设于限制筒上；所述密封组件包括套设于限制筒侧面开设环形槽内的永磁体、套设于限制筒筒身位于所述永磁体上方开设密封槽内的密封圈、以及注入到环形槽和密封槽内的磁性液体；本实用新型可以避免旋转电机与晶圆旋转平台装配后出现晶圆旋转平台表面倾斜水平和真空失效的问题出现。
  • 一种涂胶真空旋转单元
  • [实用新型]超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪-CN202222783417.2有效
  • 徐政伟;李存富;尚宇 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2022-10-21 - 2023-01-06 - G01B7/16
  • 本实用新型公开了超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，包括安装在晶圆传送叉手上的石英片、布置在石英片上的若干个应变片、设置在石英片上的采集电路板、为采集电路供电的电源以及为电源充电与为采集电路板传送数据的若干个数据接口与充电触点，所述采集电路板上集成有对于应变片进行平衡调整以及对应变片采集信号差分运放处理的电路，本实用新型涉及晶圆传送叉手运行数据采集技术领域。该超薄柔性晶圆传送叉手形变震动采集记录仪，能够简便地安装在晶圆传送叉手上，同时能够有效排除在对于晶圆传送叉手运行数据检测时其他因素的干扰，在设备的实际运行状态，连续精准地记录晶圆传送叉手的形变震动及加减速度曲线。
  • 超薄柔性传送叉手形变震动采集记录仪
  • [发明专利]一种具有自动调平功能的智能硅片盒-CN202211222604.1在审
  • 蔡虹 - 合肥开悦半导体科技有限公司
  • 2022-10-08 - 2022-12-30 - H01L21/673
  • 本发明公开了一种具有自动调平功能的智能硅片盒，包括设有空腔的盒体、设置在所述盒体的空腔内的若干组硅片插槽、设置在所述盒体外的用于检测所述盒体内硅片数量和位置的激光检测组件，以及设置在盒体底部的用于调节所述盒体水平度的调平组件。本硅片用于硅片的存储，同时具有调平、计数和位置检测功能硅片插在硅片插槽中，每个硅片插槽存储一个硅片，硅片插槽呈U形，以保证硅片稳定存储，盒体部设置的调平组件于调节盒体的水平度，进而间接调整硅片的水平度，避免机械臂与硅片碰撞，提升抓取准确度。设置在盒体外的激光检测组件在移动过程中对盒体内的硅片进行计数，同时确定硅片的位置，便于机械手快速抓取。
  • 一种具有自动功能智能硅片
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