专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]超结器件的制造方法-CN202210411907.1在审
  • 赵东艳;王于波;陈燕宁;田俊;付振;张泉;肖超;尹强 - 北京芯可鉴科技有限公司;北京智芯微电子科技有限公司
  • 2022-04-19 - 2022-05-17 - H01L21/336
  • 本发明实施例提供一种超结器件的制造方法,属于芯片技术领域。所述超结器件的制造方法包括:在半导体衬底上,采用多次外延生长技术,分层制作第一导电类外延层;以及在每层第一导电类外延层上,制作并填充第二导电类型区,形成第一导电类型区与所述第二导电类型区交替排列的结构。把多次外延和深沟槽单次外延填充两种工艺相结合制作超结器件,在器件结构上对比多次外延工艺能够获得浓度分布均匀的P柱,对比深沟槽单次外延填充工艺能够获得较好的沟槽深度均一性及避免了P柱空洞;在器件性能上对比两种工艺能够获得更符合设计要求的击穿电压同时又能保证击穿电压有良好的均一性。
  • 器件制造方法

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