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[发明专利]用于晶圆载置的真空吸盘系统-CN202010919971.1在审
发明人： 刘远航;马旭;赵德文;王江涛 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆载置的真空吸盘系统，包括用于吸附并保持晶圆的吸盘、第一密封腔室、第二密封腔室、第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀；吸盘通过管路依次连接第一密封腔室、第一电磁阀、第二密封腔室和第二电磁阀，第一密封腔室连接负压源从而为吸盘提供持续的吸附力并将从吸盘吸引的气体与液体、固体颗粒分离，第二密封腔室分别连接负压源和正压源以在第二密封腔室连通负压源并且第一电磁阀导通时从第一密封腔室吸引液体和/或固体颗粒以及在第二密封腔室连通正压源并且第二电磁阀导通时将其中的液体和/或固体颗粒排出；第二密封腔室的气路端口和负压源之间连接第三电磁阀。
用于晶圆载置真空吸盘系统

[发明专利]一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法-CN201810074312.5有效
发明人：王波;吴言功;乔政;韩睿;刘远航;刘玉涛;张鹏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G05B19/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法，所述方法步骤如下：一、分析超精密机床加工过程中温度变化造成的影响，当温度变化引起辊筒尺寸变化的范围在微米量级，同时要求的辊筒模具微结构闭合节距误差非常小时，则通过对加工程序进行优化以减小微结构闭合节距误差；二、根据加工的辊筒模具直径尺寸与微结构数目及温度变化范围选定多分法需要分区的数目；三、根据步骤二选定的分割次数计算有/无余数时各微结构的角度位置，写出其通项公式并对余数进行处理；四、根据步骤三中计算得到的微结构空间角度分布编写加工程序，实现多分法加工。本发明对提高微结构辊筒模具加工质量、制造超大尺寸光学转印膜片等具有重要意义。
一种减小模具精密机床加工微结构闭合误差方法

[实用新型]一种高度集成化的减薄设备-CN202021058155.8有效
发明人：赵德文;刘远航;路新春;李长坤;吴云龙 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开涉及一种高度集成化的减薄设备，包括：设备前端模块，设置在所述减薄设备的前端；磨削模块，设置在所述减薄设备的末端；抛光模块，设置在所述设备前端模块与所述磨削模块之间；所述抛光模块包括用于对化学机械抛光后的基板进行后处理的后处理单元，所述后处理单元包括沿所述减薄设备的宽度方向相邻设置的水平刷洗装置和单腔清洗装置。本公开通过将磨削、化学机械抛光和清洗干燥工艺相结合，提供了一种加工基板的最为经济有效的技术路线，结构紧凑、集成度高，可为超高密度的半导体堆叠制程提供技术保障，是半导体高密度封装发展等的重要组成。
一种高度集成化设备

[外观设计]型材（竖框）-CN202030294371.1有效
发明人：万小龙;刘远航 -专利权人：浙江雷拓家居有限公司
申请日： 2020-06-11 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： 25-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：型材（竖框）。2.本外观设计产品的用途：用于门窗型材。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品为细长物品，其长度采用省略画法。
型材竖框

[实用新型]一种过滤电镀液中金刚石微粉的板框压滤机-CN201922362531.6有效
发明人：尹鸿;杜伟燕;刘远航;李岩坤;黄涛涛;杨和亮;陈航;董林 -专利权人：杨凌美畅新材料股份有限公司;杨凌美畅科技有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： B01D25/21 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种过滤电镀液中金刚石微粉的板框压滤机，涉及板框压滤机技术领域，具体一种过滤电镀液中金刚石微粉的板框压滤机，包括进料口、过滤板组、液压机构、机架、导料槽、耐高压气动隔膜泵、出料口和板框，所述机架的顶部固定安装有板框，所述板框的内部固定安装有过滤板组。该过滤电镀液中金刚石微粉的板框压滤机，造价低，体积小，结构合理，实用性强，操作简单，过滤精度高，能够快速有效的对镀液和金刚石微粉进行分离，而且分离出来的镀液和金刚石微粉便于收集，减少镀液和金刚石微粉的流失，在过滤不同类型的金刚石微粉时，只需要更换滤芯板组即可，且过滤板组可以重复利用。
一种过滤电镀金刚石压滤

[发明专利]一种新型双功能基混合模式有机聚合物整体柱、其制备方法和其应用-CN202010752257.8在审
发明人：崔超;姬伯梁;包方;管立;于璐;宋伟;史俊华;余新华;乔礼;魏钢;崔敏;张世兰;黄继勇;何霞;许琦;刘远航;赵毓群;张琪;王飞;刘宇;刘姝言;赵雅娴;王峰;刘绍伟 -专利权人：河南省农产品质量安全检测中心（河南省绿色食品发展中心）
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： B01J20/26 文献下载
摘要：本发明涉及液相色谱毛细管整体柱制备领域，具体涉及一种新型双功能基混合模式有机聚合物整体柱、其制备方法和其应用，聚合物整体柱是由双功能基单体以及内壁乙烯基化修饰的毛细管在毛细管内共聚而成；其一功能基单体为具有极强的亲水性和π‑π相互作用的N,N,N‑三甲基乙烯基苯甲氯化铵；另一功能基单体为具有优异反向色谱保留性能的4‑乙烯基联苯；其中，乙烯基化修饰的溶液为以甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧硅烷为溶质、以甲醇为溶剂的溶液。本发明具有丰富多孔结构，渗透性好，兼具反相、亲水色谱分离性能，可在不同色谱模式下实现多种物质的分离，具有很高的应用价值，为新型混合模式有机聚合物电色谱整体柱的发展提供新思路。
一种新型功能混合模式有机聚合物整体制备方法应用

[发明专利]晶圆对心装置-CN202010749056.2有效
发明人：赵德文;刘远航;王江涛;李长坤 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种晶圆对心装置，包括：晶圆支撑轮组，其包括相对设置的第一晶圆支撑轮组和第二晶圆支撑轮组，和对心支架，其包括相对设置的第一对心支架和第二对心支架；所述第一对心支架和第二对心支架各自包括一对卡爪，每个卡爪包括卡爪支撑面，所述卡爪支撑面设置在所述卡爪的靠近晶圆一侧的端部上；所述卡爪进一步包括卡爪凸台，所述卡爪凸台设置在所述卡爪支撑面的远离晶圆一侧的末端上并且包括面向晶圆一侧的端面，并且所述滚轮包括滚轮轴肩支撑面，其在所述卡爪支撑面未对所述晶圆形成支撑时支撑所述晶圆，所述滚轮轴肩支撑面设置为斜坡形态，其坡度大于等于5°且小于等于20°。
对心装置

[发明专利]主轴组件-CN202010749918.1在审
发明人： 刘远航;赵德文;付永旭 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B24B41/04 文献下载
摘要：本发明公开一种主轴组件，用于基板磨削设备，基板磨削设备包括工作台，主轴组件包括主轴、第一部件和第二部件，第一部件用于连接到工作台，第二部件用于可拆卸地连接到第一部件，在主轴组件安装到工作台时，第一部件和第二部件围绕主轴设置，将主轴保持在位，第一部件能确定主轴在工作台中的位姿，在第二部件从第一部件拆卸时，主轴能从第一部件沿主轴的径向移除。
主轴组件

[发明专利]用于晶圆磨削的可倾斜的主轴组件-CN202010749039.9在审
发明人： 刘远航;赵德文;王江涛 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆磨削的可倾斜的主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和前后倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨和沿滑轨竖直移动的滑块；所述翼板经由螺栓固定至所述滑块；所述前后倾斜机构包括上部垫板和下部垫板，所述上部垫板和下部垫板分别向下地和向上地插入滑块与翼板之间以通过调整所述上部垫板和/或下部垫板插入的距离调节主轴座的前后倾斜的角度，其中，所述上部垫板和下部垫板中的至少一个为楔形板。
用于磨削倾斜主轴组件

[发明专利]一种用于化学机械抛光承载头的驱动装置-CN201911014962.1有效
发明人：李长坤;刘远航;赵德文;路新春;曹自立 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光承载头的驱动装置，包括电机、驱动轴、气动组件和外壳，所述电机和气动组件配置于所述外壳内，所述驱动轴从所述外壳底部伸出以将所述电机和气动组件的作用传递至承载头，所述外壳外表面配置有至少一个光学传感器单元。
一种用于化学机械抛光承载驱动装置

[发明专利]一种化学机械抛光装置-CN201911015128.4有效
发明人：李长坤;刘远航;赵德文;路新春;曹自立 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学机械抛光装置，包括：转盘，用于使抛光垫与其一起旋转；承载头，其配置有保持环以接收基板并将基板加载于所述抛光垫；承载头驱动装置，该驱动装置包括电机、驱动轴、气动组件、外壳和控制单元。所述电机和气动组件配置于所述外壳内，所述驱动轴从所述外壳底部伸出以将所述电机和气动组件的作用传递至承载头，所述外壳外表面配置有光学传感器单元及用于致动该光学传感器单元的导杆，所述光学传感器单元可随所述导杆在所述外壳表面移动或移动至所述外壳下方，并且所述光学传感器单元具有至少一个可调节角度的摄像头或多个朝不同方向设置的摄像头以获取化学机械抛光装置不同作业区域和零部件的图像信息。
一种化学机械抛光装置

[发明专利]用于控制晶圆磨削面形的磨削设备-CN202010748253.2在审
发明人：王江涛;刘远航;赵德文;路新春;马旭 -专利权人：华海清科（北京）科技有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： B24B19/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于控制晶圆磨削面形的磨削设备，包括：工作台，用于支承多个吸盘转台；吸盘转台，用于保持晶圆并带动晶圆旋转；测量单元，用于测量晶圆厚度以获取晶圆的磨削面形；以及，用于调节所述吸盘转台的角度调节装置，其与所述吸盘转台连接以在至少两个方向上调节所述吸盘转台的倾斜角度从而调整晶圆的磨削面形。本发明能够实现晶圆磨削面形的准确控制，提高了晶圆的加工效果和制造品质，从而为超高密度的半导体堆叠制程提供技术保障。
用于控制磨削设备

[发明专利]用于超精密磨削的单自由度可调的主轴组件-CN202010748709.5在审
发明人：王江涛;路新春;刘远航;赵德文 -专利权人：华海清科（北京）科技有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： B24B41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于超精密磨削的单自由度可调的主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和左右倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨、沿滑轨竖直移动的滑块和调节板，所述调节板贴合连接所述滑块的外侧面和所述翼板的侧面，其中，所述滑块的外侧面平行于所述翼板的侧面；所述左右倾斜机构包括上部调节螺栓、下部调节螺栓和转动轴；所述转动轴垂直地贯穿翼板正面插入滑块，使得主轴座可连同主轴整体绕转动轴转动以调节倾斜角度，并由上部调节螺栓和下部调节螺栓固定。
用于精密磨削自由度可调主轴组件

[发明专利]一种晶圆厚度测量装置和磨削机台-CN201911009316.6有效
发明人： 刘远航;赵德文;付永旭;孟松林;路新春 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆厚度测量装置和磨削机台，测量装置包括：主体结构、可升降的悬挂结构和光学传感器组件，悬挂结构挂载在主体结构下部，主体结构下部可滑动地设置于悬挂结构的环形槽内，主体结构具有第一通孔和用于向环形槽内充入第一流体的第一流体管路，悬挂结构具有位于第一通孔下方的第二通孔和连通第二通孔的第二流体管路，光学传感器组件穿过第一通孔并部分伸入第二通孔内，通过第一流体管路向环形槽内通入第一流体时悬挂结构上升至第一位置，第一流体管路和第二流体管路均关断时悬挂结构下降至第二位置，第二流体管路通过第二通孔向晶圆表面喷射第二流体时推起悬挂结构至第一位置和第二位置之间的中间位置。
一种厚度测量装置磨削机台

[发明专利]一种晶圆厚度测量装置和磨削机台-CN201911009313.2有效
发明人：赵德文;刘远航;付永旭;王江涛;路新春 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： B24B49/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆厚度测量装置和磨削机台，测量装置包括：主体结构、可升降的悬挂结构和光学传感器组件，悬挂结构挂载在主体结构下部，主体结构下部可滑动地设置于悬挂结构的槽内，主体结构内设有通向主体结构与悬挂结构的交接处的第一流体管路用于向该槽内充入第一流体以提升该悬挂结构，主体结构设有贯穿其上、下表面的用于容置光学传感器组件的第一通孔，悬挂结构的槽底部在第一通孔下方设有第二通孔以通过由光学传感器组件输出的光路，悬挂结构内设有第二流体管路以实现由主体结构底面、光学传感器组件底面、槽内面和第二通孔形成的腔室内充满第二流体。能够有效提高晶圆厚度测量的准确性和精度。
一种厚度测量装置磨削机台