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[实用新型]具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备-CN202022255656.1有效
发明人： 刘远航;马旭;王江涛;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有柔性连轴器的晶圆对中机构、传输装置及减薄设备，其中，晶圆对中机构包括一固定台、一旋转驱动机构、一柔性连轴器、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件通过柔性连轴器与位于其下方的旋转驱动机构固定连接。
具有柔性连轴机构传输装置设备

[实用新型]晶圆磨削主轴组件-CN202021540320.3有效
发明人：路新春;刘远航;赵德文;王江涛 -专利权人：华海清科（北京）科技有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： B24B41/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆磨削主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和左右倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨、沿滑轨竖直移动的滑块和调节板，所述调节板贴合连接所述滑块的外侧面和所述翼板的侧面，其中，所述滑块的外侧面平行于所述翼板的侧面；所述左右倾斜机构包括上部调节螺栓、下部调节螺栓和转动轴；所述转动轴垂直地贯穿翼板正面插入滑块，使得主轴座可连同主轴整体绕转动轴转动以调节倾斜角度，并由上部调节螺栓和下部调节螺栓固定。
磨削主轴组件

[实用新型]可倾斜的晶圆磨削主轴组件-CN202021541511.1有效
发明人： 刘远航;赵德文;王江涛;韩理文 -专利权人：华海清科（北京）科技有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可倾斜的晶圆磨削主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和前后倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨和沿滑轨竖直移动的滑块；所述翼板经由螺栓固定至所述滑块；所述前后倾斜机构包括上部垫板和下部垫板，所述上部垫板和下部垫板分别向下地和向上地插入滑块与翼板之间以通过调整所述上部垫板和/或下部垫板插入的距离调节主轴座的前后倾斜的角度，其中，所述上部垫板和下部垫板中的至少一个为楔形板。
倾斜磨削主轴组件

[外观设计]工程造价工具箱-CN202030798884.6有效
发明人： 刘远航 -专利权人： 刘远航
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： 03-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：工程造价工具箱。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于工程造价工具箱。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.请求保护的外观设计包含色彩。
工程造价工具箱

[发明专利]一种基板减薄加工的清洗装置及清洗方法-CN201910959847.5在审
发明人：赵德文;刘远航;李长坤;路新春 -专利权人：清华大学
申请日： 2019-10-10 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板减薄加工的清洗装置及清洗方法，该清洗装置包括第一清洗单元、第二清洗单元及承载部，所述第一清洗单元及第二清洗单元设置于承载部并随承载部整体移动以完成吸盘工作台和/或保持于所述吸盘工作台的基板的清洗。
一种基板减薄加工清洗装置方法

[发明专利]一种保持环-CN201910901132.4在审
发明人：赵德文;刘远航;孟松林 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种保持环，包括第一环形部及第二环形部，所述第一环形部由金属材料制成，所述第二环形部由非金属材料制成，所述第一环形部的至少一面与第二环形部紧贴固定。
一种保持

[发明专利]基于智能家居的整体柜全自动生产系统及其生产方法-CN202011356572.5在审
发明人：苏晓鹏;李洋;刘远航 -专利权人：浙江雷拓家居有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： B27M1/08 文献下载
摘要：本发明公开了基于智能家居的整体柜全自动生产系统及其生产方法，包括板材切割打磨机构、板材封边机构、板材钻孔机构、板材喷漆机构和板材组装机构，整体柜板材通过板材切割打磨机构切割打磨后，由输送带输送至所述板材封边机构进行封边，本发明涉及智能家居技术领域。该基于智能家居的整体柜全自动生产系统及其生产方法，可实现对板材的双面进行同时喷漆，并在喷漆后实现均匀烘干，同时对由限位块、限位槽、第一电动推杆以及橡胶垫组成的夹持机构进行转动，可实现防止板材的夹持部出现喷漆死角从而影响喷漆效果的问题，无需人员对板材进行翻转，且采用电加热管的自动烘干可加快了板材的喷漆效率以及保证了喷漆质量。
基于智能家居整体全自动生产系统及其方法

[发明专利]一种晶圆装载杯-CN202010398119.4有效
发明人：赵德文;孟松林;温世乾;刘远航 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆装载杯，其包括：杯体，用于支撑承载头，包括圆环形的侧壁和圆盘状的底部，所述底部配置有贯穿的定位孔；托盘，设置于所述杯体的侧壁中以接收晶圆；连接件，其由圆盘状的盘部和轴部构成，所述盘部同轴连接于所述托盘的底部并且具有与所述定位孔竖直对齐的贯穿的安装孔；驱动装置，其与所述连接件的轴部连接以驱动所述托盘竖直移动；以及导向杆，其由顶端部和主体部构成，所述顶端部搭载于所述连接件的顶面，所述主体部穿过所述连接件的盘部的安装孔并可滑动地延伸穿过所述杯体的底部的定位孔；所述导向杆滑动连接于所述连接件的盘部的安装孔，所述导向杆与所述连接件的轴部平行。
一种装载

[实用新型]一种具有单腔清洗装置的减薄设备-CN202021058152.4有效
发明人：路新春;赵德文;刘远航;李长坤;王同庆;许振杰;王剑;肖莹 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本公开涉及一种具有单腔清洗装置的减薄设备，包括：设备前端模块，用于实现基板的进出，设备前端模块设置在减薄设备的前端；磨削模块，用于对基板进行磨削，磨削包括粗磨削和/或精磨削，磨削模块设置在减薄设备的末端；抛光模块，用于在完成磨削之后利用能够根据基板的厚度分布分区调节加载压力的承载头对基板进行化学机械抛光，抛光模块设置在设备前端模块与磨削模块之间；抛光模块包括清洗干燥一体的单腔清洗装置，单腔清洗装置包括承载部、流体供给部、挡板部和流体收集腔。本公开可实现对基板的超精密的平整化加工，并提高平整化后的基板清洁度，可为超高密度的半导体堆叠制程提供技术保障，是半导体高密度封装发展的重要组成。
一种具有清洗装置设备

[实用新型]一种用于化学机械抛光的承载头及晶圆承载装置-CN201922437347.3有效
发明人：赵德文;刘远航;孟松林 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：一种用于化学机械抛光的承载头，其特征在于，包括配置于所述承载头顶部的用于将承载头装配至驱动单元的法兰盘，所述法兰盘具有定位销，所述定位销的主体由金属材料制成并且其部分或全部表面设置有避免产生磨损的非金属结构。
一种用于化学机械抛光承载装置

[实用新型]一种磨削工作台和晶圆减薄设备-CN202020850326.4有效
发明人： 刘远航;王江涛;赵德文;李长坤;路新春 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磨削工作台和晶圆减薄设备，包括：用于承载晶圆吸盘的安装板、转盘、气浮支撑结构和驱动机构，安装板固定在转盘上，转盘包括主体部和从主体部的边缘向下向外延伸形成的环状边缘部，气浮支撑结构在其上部的内侧具有用于间隙包围转盘的边缘部的环状凹槽。
一种磨削工作台晶圆减薄设备

[实用新型]一种具有化学机械抛光单元的基板减薄设备-CN202021059514.1有效
发明人：路新春;赵德文;刘远航;万明军;王同庆;郭振宇;许振杰 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本公开涉及一种具有化学机械抛光单元的基板减薄设备，其包括：实现基板的进出的设备前端模块、对基板进行磨削的磨削模块和抛光模块，抛光模块包括化学机械抛光单元，化学机械抛光单元包括一存片部、一抛光盘、一粘接在抛光盘上的抛光垫、两个吸附基板并带动基板旋转的承载头、一修整抛光垫的修整器以及一向抛光垫表面提供抛光液的供液部。本公开通过将磨削、如超精密磨削和化学机械抛光工艺相结合，提供了一种加工基板的最为经济有效的技术路线，提高了基板的厚度均匀性，利用两个承载头提高了生产效率，可为超高密度的半导体堆叠制程提供技术保障，是半导体高密度封装发展等的重要组成。
一种具有化学机械抛光单元基板减薄设备

[实用新型]一种磨削主轴刚度的测试装置-CN202021193055.6有效
发明人：韩理文;王江涛;刘远航;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G01M5/00 文献下载
摘要：一种磨削主轴刚度的测试装置，所述测试装置包括：测试台，其顶部设置有贯通的限位部，待测试磨削主轴设置于所述限位部；固定组件，其同轴连接于所述磨削主轴的外周侧并搭接于所述限位部；所述固定组件配置有气浮结构，所述气浮结构与所述测试台的顶面相对，通入所述气浮结构的气体承托所述磨削主轴；轴向刚度检测组件，其设置于所述测试台并位于磨削主轴的上侧，以测量磨削主轴的轴向刚度；径向刚度检测组件，其设置于所述测试台并位于磨削主轴的侧面，以测量磨削主轴的径向刚度。
一种磨削主轴刚度测试装置

[实用新型]一种晶圆装载杯-CN202020778162.9有效
发明人：赵德文;孟松林;温世乾;刘远航 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆装载杯，其包括：杯体，用于支撑承载头，包括圆环形的侧壁和圆盘状的底部，所述底部配置有贯穿的定位孔；托盘，设置于所述杯体的侧壁中以接收晶圆；连接件，其由圆盘状的盘部和轴部构成，所述盘部同轴连接于所述托盘的底部并且具有与所述定位孔竖直对齐的贯穿的安装孔；驱动装置，其与所述连接件的轴部连接以驱动所述托盘竖直移动；以及导向杆，其由顶端部和主体部构成，所述顶端部搭载于所述连接件的顶面，所述主体部穿过所述连接件的盘部的安装孔并可滑动地延伸穿过所述杯体的底部的定位孔；所述导向杆滑动连接于所述连接件的盘部的安装孔。
一种装载

[发明专利]储气库往复式压缩机活塞杆过渡圆角仿真优化方法-CN202010943425.1在审
发明人： 刘远航;马增辉;赵勇 -专利权人：克拉玛依市高精石油机械有限公司
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本申请涉及一种储气库往复式压缩机活塞杆过渡圆角仿真优化方法，包括通过三维建模软件中建立或修改活塞及活塞杆基础三维模型；通过有限元分析软件设定活塞及活塞杆材料，进行网格划分和边界条件设置；对活塞杆基础模型进行结构静力学分析、疲劳分析和热分析，得出活塞杆易断裂处的不同过渡圆角半径的最大拉力、压力应力值、最小安全系数及应力分布云图；对活塞杆模型进行修改，对比各条件下的应力分布云图和安全系数，以应力均匀的模型作为最终优化结果。本申请在建立或修改三维模型时，保留模型的圆角倒角，提高了仿真模型的精度；本发明方法中对活塞杆的材料、结构和约束条件进行优化设计，方便进一步加工和安装操作。
储气库往复压缩机活塞杆过渡仿真优化方法