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[发明专利]一种半导体器件及其制备方法-CN201910931434.6有效
发明人： 刘一剑 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供半导体器件及其制备方法，该方法包括以下步骤：提供衬底，在衬底上形成第一介电层；刻蚀第一介电层，在第一介电层中形成与衬底的表面具有预定夹角的倾斜的沟槽；在第一介电层和沟槽的开口处快速沉积第二介电层以在沟槽的内部形成空气隙。由于在沟槽内形成了空气隙，由此增加了空气介质的占比，即增加了低k介质的占比，由此能够大大降低半导体器件的RC延迟，提高半导体器件的电信号传输速率，由此降低系统的功耗，改善半导体器件的使用环境，提高半导体器件的使用寿命。该空气隙的形成方式比传统工艺步骤简洁有效。
一种半导体器件及其制备方法

[实用新型]基于X波段的低驱动电压的串联接触式射频MEMS开关-CN202223039721.2有效
发明人：宋戈;冯辉;李明月;陈达;刘一剑 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： H01H1/06 文献下载
摘要：本实用新型属于射频MEMS开关技术领域，公开了一种基于X波段的低驱动电压的串联接触式射频MEMS开关。其中，为了解决高驱动电压与可靠性之间的矛盾，本实用新型设计了一种具有五段式弹簧弯曲结构的可移动电极，其等效弹簧系数较小，该可移动电极在保证射频性能的情况下有效地减小了驱动电压。此外，为了抑制趋肤效应影响，本实用新型优化了可移动电极的中心梁结构，在中心梁上增加了触点且合理设计了内外触点的宽度，在提升S参数性能的同时在一定程度上抑制了趋肤效应。由于本实用新型射频MEMS开关是基于微带线结构的射频MEMS开关，因此与共面波导结构相比，易于集成，且制造过程简单。
基于波段驱动电压串联接触射频 mems 开关

[发明专利]一种纳米材料体声波谐振器及其制备方法-CN201910836139.2有效
发明人： 刘一剑 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种纳米结构体声波谐振器及其与CMOS器件片内集成的制备方法，所述谐振器包括：介质层、设置在所述介质层中的纳米结构；以及设置在所述介质层中的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极围绕所述纳米结构两侧；其中，所述第一电极内部设置有第一空腔，所述第二电极内部设置有第二空腔。上述谐振器及其制备方法可以在一个单一的器件中形成一个具有双空腔的集成NEMS器件，在上述谐振器及其制备方法中不再需要形成牺牲层，从而使得工艺简单、成本非常低廉。
一种纳米材料声波谐振器及其制备方法

[发明专利]一种铜互连结构及其制备方法-CN201910803851.2有效
发明人：孟昭生;刘一剑;刘佑铭 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L23/50 文献下载
摘要：本发明提供一种铜互连可靠性的结构及其制备方法，本发明采用与铜互连结构的晶体结构相同或相似的金属材料，比如FCC或HCP晶体结构的金属材料，作为中间金属层和/或盖帽金属层，同时，在FCC或HCP晶体结构的金属材料的基础上，进一步选择热膨胀系数与铜相近的金属材料作为中间金属层和/或盖帽金属层，降低了铜互连结构的电迁移和应力迁移失效，提高了器件的可靠性。
一种互连结构及其制备方法

[发明专利]半导体器件的制作方法、半导体器件及其处理装置-CN201910762354.2有效
发明人： 刘一剑;平延磊 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件的制作方法，所述方法至少包含以下步骤：提供半导体衬底；在所述半导体衬底上形成晶体管；在所述半导体衬底和所述晶体管上形成缓冲层薄膜；对所述缓冲层薄膜进行紫外线照射和臭氧等离子体联合处理；以及在所述缓冲层上形成应力薄膜层。采用上述方法，使用氧化性等离子体联合处理的方法可以去除SiOx缓冲层中的H元素，同时，对于无法被紫外线照射方法去除的H元素，氧化性等离子体可以将其氧化成OH‑固定在缓冲层薄膜内，这样就避免了H元素被释放出来造成的沟道缺陷。还提供了由上述联合方法制备的半导体器件及其处理装置。
半导体器件制作方法及其处理装置

[发明专利]化学成分梯度分布的应力薄膜、半导体器件及其形成方法-CN201910362262.5有效
发明人： 刘一剑 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种化学成分梯度分布的应力薄膜的形成方法、半导体器件及其形成方法，所述方法至少包含以下步骤：在半导体衬底上形成晶体管；以及在所述半导体衬底上形成应力薄膜层；其中，在形成所述应力薄膜层的过程中调节生长氛围气体中O、N和H的含量使得最终得到的所述应力薄膜层具有沿厚度方向梯度分布的化学成分。通过在形成应力薄膜层的过程中调节生长氛围气体中O、N和H的含量使得最终得到的应力薄膜层具有沿厚度方向梯度分布的化学成分，从而使得衬底与应力薄膜层的界面之间的应力变化较为平缓，应力薄膜层与衬底之间的结合力增加，避免了在应力薄膜层中形成缺陷或应力薄膜层从衬底上脱落，进一步加强了器件的可靠性。
化学成分梯度分布应力薄膜半导体器件及其形成方法

[发明专利]基于X波段的串联接触式射频MEMS开关及其制作方法-CN202211429912.1有效
发明人：宋戈;冯辉;李明月;陈达;刘一剑 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明属于射频MEMS开关技术领域，具体公开了一种基于X波段的串联接触式射频MEMS开关及其制作方法。其中，为了解决高驱动电压与可靠性之间的矛盾，本发明设计了一种具有五段式弹簧弯曲结构的可移动电极，其等效弹簧系数较小，因而该可移动电极在保证射频性能的情况下能够有效地减小驱动电压。此外，为了抑制趋肤效应的影响，本发明优化了可移动电极的中心梁结构，在中心梁上增加了触点且合理设计了内外触点的宽度，在提升S参数性能的同时，在一定程度上抑制了趋肤效应。由于本发明射频MEMS开关是基于微带线结构的射频MEMS开关，因此与共面波导结构相比，易于集成，且制造工艺简单。
基于波段串联接触射频 mems 开关及其制作方法

[实用新型]一种工程监理用路面平整度仪-CN202222904967.5有效
发明人： 刘一剑 -专利权人：广东汇峰建设管理有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工程监理用路面平整度仪，涉及路面平整度仪相关技术领域，包括车架，车架的底部固定安装有滚轮，车架的一端上表面固定安装有推板，车架的上表面中心处固定安装有检测仪，车架的一端固定安装有固定板，固定板的一端固定有电机，电机的动力输出轴固定安装有螺纹杆，螺纹杆的外侧壁螺纹连接有滑动块，滑动块的底部设有可拆卸的清扫胶。利用电机带动螺纹杆发生转动，从而使螺纹杆带动滑动块在固定板的底部进行滑动，从而使滑动块带动清扫胶对地面石子进行清扫，从而使路面平整度仪具有清理石子的功能，使平整度仪在检测时，路面的石子不会影响平整度仪的检测结果，从而提高了平整度仪的检测结果，方便平整度仪的使用。
一种工程监理路面平整

[发明专利]一种柔性电极的制备方法、柔性电极以及所述电极的使用方法-CN202110318480.6有效
发明人：陈达;牛浩然;刘一剑;宋戈;王鸿飞 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： A61B5/263 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性电极的制备方法、柔性电极以及所述柔性电极的使用方法。其中，柔性电极的制备方法包括如下步骤：I.基于柔性薄膜和水转印纸，制得柔性薄膜水转印纸；II.在柔性薄膜水转印纸的柔性薄膜表面设置一层金属电极层；III.将电极制作模具放置于金属电极层的表面，基于压花工艺完成对金属电极层以及柔性薄膜水转印纸整体的图案化构建，制得柔性电极；其中，本发明中柔性薄膜包括但不限于聚酰亚胺薄膜或聚脂薄膜。本发明述及的柔性电极的制备方法，基于上述压花工艺，使得电极制作成本大幅降低；另外，本发明通过压花工艺以及对电极制作模具的合理选择，可实现不同图形电极大面积的制备。
一种柔性电极制备方法以及使用方法

[实用新型]一种变截面转角定型模板-CN202220917194.1有效
发明人：肖云伟;佟艳清;齐燕清;刘一剑;吕诗辉;刘启;刘健;王庆龙;周峰;孟庆君;徐全基;赵梦 -专利权人：中国水利水电第十四工程局有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： E04G13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种变截面转角定型模板，包括：弧形面板、背楞、固定背楞、活动背楞；所述弧形面板一侧与背楞垂直固定连接，所述弧形面板一侧一端与固定背楞垂直固定连接，弧形面板同一侧另一端与活动背楞垂直固定连接，所述背楞的两端分别于固定背楞和活动背楞垂直固定连接，所述固定背楞和活动背楞之间互相平行。本实用新型的一种变截面转角定型模板解决了常规转角模板和无独立角模模板使用过程中运输、存储、安装困难等问题，提高了施工效率。
一种截面转角定型模板

[发明专利]一种仿生树根的电子纹身表皮电极-CN202210838007.5在审
发明人：刘庚;谢颖;任洁;刘颖;姚亮;刘一剑;陈达 -专利权人：北京智芯微电子科技有限公司;山东科技大学;国网思极紫光（青岛）微电子科技有限公司
申请日： 2022-07-16 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： A61B5/28 文献下载
摘要：本发明属于柔性电子技术领域，具体公开了一种仿生树根的电子纹身表皮电极，该电子纹身表皮电极图形采用仿生树根形状；其中，电子纹身表皮电极是由主电极、支电极以及导电纳米线组成；主电极、支电极以及导电纳米线分别占据了仿生树根的主根、支根和须根位置。本发明能够通过最少的金属电极面积获取最大的表皮电荷收集能力，同时通过复合碳纳米管的方式提高电极与皮肤之间的导电性能，解决了表皮电极在心电、肌电、脑电信号监测中的运动伪影与电极面积无法充分利用的技术问题。本发明述及的仿生树根的电子纹身表皮电极，能够光放应用于皮肤或者其他器官表面的电荷收集，例如心电、脑电、肌电等。
一种仿生树根电子纹身表皮电极

[发明专利]一种基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法-CN202210755539.2在审
发明人：刘庚;李敏;任洁;金明松;刘颖;姚亮;刘一剑;陈达 -专利权人：北京智芯微电子科技有限公司;山东科技大学;国网思极紫光（青岛）微电子科技有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H05K1/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于掺杂液态金属的梯度式刚柔互联方法，以解决刚性和柔性系统固有的杨氏模量不匹配，使得刚柔混合系统在剧烈且重复的形变条件下恶化了刚性和柔性互联界面的结合力，进而导致系统的机械稳定性急剧下降的问题。针对上述问题，本发明掺杂了一种新的液态金属和使用了一种新的方法，该液态金属具有高电导率、良好的重复性和附着力，新的方法能使液态金属与芯片管脚之间具有可靠的接口，本发明方法具有高电导率、良好的附着力，显著增强了液态金属的浸润性以及能图案化到多种衬底上。本发明方法使得液态金属与芯片管脚之间具有可靠的接口，同时很好保持了刚柔混合电子系统的电学性能。
一种基于掺杂液态金属梯度式刚柔互联方法

[实用新型]一种柔性应变可拉伸传感器以及智能手套-CN202220203076.4有效
发明人：陈达;郭秋泉;刘一剑;齐竹竹;李扬;杨丽娜 -专利权人：江苏新澄瑞材料科技有限公司;山东科技大学
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种柔性应变可拉伸传感器以及智能手套，以解决现有硬质刚性传感器制作成本过高，穿戴舒适性、贴合性较差，对人手动作阻碍性较高等问题。本实用新型中柔性应变可拉伸传感器基于碳纳米管制作而成，其具有高稳定和超灵敏的优点，智能手套采用上述柔性应变可拉伸传感器，并通过改变传感器的外部结构，增加了传感器自身的响应度，使得传感信号的特征得到了较大增强，使得手势识别更加细致和精确；另外，由传感器同一端部进行引线，避免了引线复杂问题，降低了运动过程中导线位移对传感信号造成的干扰。本实用新型还改进了导线与柔性传感器之间的刚柔互连的问题，避免了导线在手指运动中对柔性传感器上的导电敏感材料分布造成影响。
一种柔性应变拉伸传感器以及智能手套

[发明专利]一种柔性应变可拉伸传感器以及智能手套-CN202210087971.9在审
发明人：陈达;郭秋泉;刘一剑;齐竹竹;李扬;杨丽娜 -专利权人：江苏新澄瑞材料科技有限公司;山东科技大学
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性应变可拉伸传感器以及智能手套，以解决现有硬质刚性传感器制作成本过高，穿戴舒适性、贴合性较差，对人手动作阻碍性较高等问题。本发明中柔性应变可拉伸传感器基于碳纳米管制作而成，其具有高稳定和超灵敏的优点，智能手套采用上述柔性应变可拉伸传感器，并通过改变传感器的外部结构，增加了传感器自身的响应度，使得传感信号的特征得到了较大增强，使得手势识别更加细致和精确；另外，由传感器同一端部进行引线，避免了引线复杂问题，降低了运动过程中导线位移对传感信号造成的干扰。本发明还改进了导线与柔性传感器之间的刚柔互连的问题，避免了导线在手指运动中对柔性传感器上的导电敏感材料分布造成影响。
一种柔性应变拉伸传感器以及智能手套

[发明专利]一种柔性电极的加工方法-CN202111035305.2有效
发明人：杜小振;赵鸿雁;刘一剑;贺明;陈达;牛浩然;李敏 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性电极的加工方法，其采用的加工设备包括机架、柔性薄膜辊安装支架、柔性薄膜水转印纸成型装置、导电油墨喷涂装置、压花成型装置以及牵引装置；柔性薄膜辊安装支架、柔性薄膜水转印纸成型装置、导电油墨喷涂装置、压花成型装置以及牵引装置均设置于机架上，且沿着柔性电极的加工方向由后向前依次布置；其中柔性薄膜辊安装支架上安装柔性薄膜辊并缠绕柔性薄膜，牵引装置与柔性薄膜的一端相连。在柔性薄膜运行过程中，柔性薄膜水转印纸成型装置、导电油墨喷涂装置、压花成型装置分别用于完成柔性薄膜水转印纸成型、导电油墨喷涂以及压花成型操作，利于提高柔性电极的生产效率，因而能够实现柔性电极的大面积制备，降低生产成本。
一种柔性电极加工方法

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