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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN201810716004.8有效
发明人： 东博之;大塚贵久;篠原和義;中泽贵士;藤本诚也;道木裕一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本公开涉及基板处理方法和基板处理装置，使晶圆的中心部到周缘部为止的蚀刻量的面内均匀性提高。实施方式所涉及的基板处理方法包括低温溶解工序和蚀刻工序。在低温溶解工序中，使氧溶解于冷却至比室温低的规定温度的碱性水溶液中。在蚀刻工序中，向基板供给溶解了氧的碱性水溶液来对基板进行蚀刻。
处理方法装置

[发明专利]基板液处理方法和基板液处理装置-CN201710543742.2有效
发明人：小佐井一树;大塚贵久;篠原和義;铃木启之;八谷洋介;东博之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板液处理方法和基板液处理装置。能够稳定地抑制水痕等微少微粒的产生。基板处理方法包括以下步骤：向旋转的基板供给处理液的步骤(S12、S13)；在供给处理液的步骤(S12、S13)之后，向旋转的基板的中心部供给冲洗液来在基板上形成冲洗液的液膜的步骤(S14)。具有在形成冲洗液的液膜的步骤(S14)之前、在处理液的液膜中断了的基板的周缘部形成处理液的液膜的步骤(S13)。
基板液处理方法装置

[发明专利]基片处理装置和基片处理方法-CN202210534474.9在审
发明人： 东博之;中村彻;筱原和义;中庄谷孝仁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供能够使多个液处理模块之间的液处理的温度偏差降低的基片处理装置和基片处理方法。本发明的一个方式的基片处理装置包括多个液处理模块。多个液处理模块在水平方向和垂直方向中的至少一个方向上排列配置，用于向基片供给处理液来进行液处理。液处理模块具有液处理单元、热源区域和风扇。液处理单元用于对基片进行液处理。热源区域在液处理单元的下方具有热源。风扇用于对热源区域进行冷却。
处理装置方法

[发明专利]基片处理装置和基片处理方法-CN201910875980.2在审
发明人： 东博之;穴本笃史;大塚贵久;筱原和义;小宫洋司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供基片处理装置和基片处理方法。本发明的基片处理装置包括循环管线、过滤器、加热部、供给管线和冷却部。循环管线使处理液循环。过滤器设置在循环管线，用于从处理液中除去异物。加热部设置在循环管线中比过滤器靠下游侧处，用于加热处理液。供给管线在比过滤器和加热部靠下游侧处与循环管线连接，将处理液供给到基片。冷却部设置在循环管线中比过滤器、加热部以及循环管线与供给管线的连接点靠下游侧处，用于冷却处理液。本发明能够抑制在加热了处理液的情况下过滤器的除去性能降低。
处理装置方法

[发明专利]基片液处理装置、处理液供给方法和存储介质-CN201810551247.0在审
发明人：福田孝佑;中岛干雄;筱原和义;东博之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基片液处理装置、处理液供给方法和存储介质。当使用低表面张力的处理液时，防止来自喷嘴的处理液供给停止后的液体下落，定量地控制开闭阀关闭期间的处理液流量，并且减小处理液的消耗量。控制部(4)在从将处理液以第一流量从喷嘴(40)向基片(W)供给的状态起停止供给来自喷嘴的处理液时，使开闭阀(716)从打开状态转变为关闭状态，并且进行将比第一流量小的第二流量作为流量目标值给予流量控制机构(715)的停止控制，最晚至开闭阀开始从打开状态向关闭状态转变之前。
处理液处理液供给喷嘴开闭阀液处理装置存储介质流量控制机构处理液流量关闭期间停止供给停止控制状态转变消耗量减小

[发明专利]通过外部模块对移动通信终端内部信息的采集-CN03154005.8有效
发明人： 东博之 -专利权人：恩益禧电子股份有限公司
申请日： 2003-08-13 - 公布日： 2004-03-24 - 主分类号： H04Q7/32 文献下载
摘要：提供了促进了对移动通信终端的内部状态进行收集的一种外部模块和一种移动通信终端。在移动通信终端被使用时，在移动通信终端中安装了外部模块，外部模块包括：内部信息收集单元，与移动通信终端进行通信，以收集与移动通信终端的内部状态相关的信息；以及存储器，用于存储由内部信息收集单元所收集的信息。移动通信终端具有内部状态获取单元，用于获取移动通信终端的内部状态信息，并将此内部状态信息提供给外部模块。
通过外部模块移动通信终端内部信息采集

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