[实用新型]一种半导体测试装置有效

专利信息
申请号: 202320342787.4 申请日: 2023-02-28
公开(公告)号: CN219434980U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 周忠华 申请(专利权)人: 上海伟测半导体科技股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R1/44
代理公司: 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 代理人: 李小明
地址: 201201 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 测试 装置
【说明书】:

实用新型揭示了一种半导体测试装置,包括工作模块和高温切常温的降温模块,高温切常温的降温模块包括电源、多个导体、第一半导体和第二半导体;多个导体串联在电源的两端;第一半导体与第二半导体交替设置在多个导体之间,每一个第一半导体与第二半导体联结成热电偶,产生冷端与热端,冷端连接至工作模块,并在接通电源后,对工作模块进行降温。本实用新型能够提高设备生产效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试设备维护领域,特别是涉及一种半导体测试装置。

背景技术

目前测试工艺多呈现常温和高温测试需求,从而增加了两种温度模式切换的频率,现有的自动分选机高温切换成常温作业时,机台自然降温,其工作原理是:机台是靠车间环境温度进行冷却降温,这种自然冷却方式耗时长,生产效率低,这种降温方式也间接导致人员的效率损失。另外,现有的常高温自动分选机不具备自身制冷系统,若增加大型制冷系统装置,费用高昂,增加了测试成本,因此这种自然冷却的降温方式严重影响了设备生产效率。

为此,针对现有技术所存在设备生产效率低的问题,需要设计一种半导体测试装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于,提出一种半导体测试装置,能够提高设备生产效率。

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种半导体测试装置,包括工作模块和高温切常温的降温模块,所述高温切常温的降温模块包括电源、多个导体、第一半导体和第二半导体;

多个所述导体串联在所述电源的两端;所述第一半导体与所述第二半导体交替设置在多个所述导体之间,每一个所述第一半导体与所述第二半导体联结成热电偶,产生冷端与热端,所述冷端连接至所述工作模块,并在接通所述电源后,对所述工作模块进行降温。

进一步的,还包括至少两个绝缘装置,所述绝缘装置设置在所述冷端与热端,并与所述导体相连。

进一步的,所述绝缘装置包括绝缘陶瓷片。

进一步的,所述第一半导体材料为N型半导体材料。

进一步的,所述第一半导体设置为多个。

进一步的,所述第二半导体材料为P型半导体材料。

进一步的,所述第二半导体设置为多个。

进一步的,所述电源包括直流电源。

进一步的,所述导体包括金属导体。

通过上述技术方案,本实用新型具有如下有益效果:

通过高温切常温的降温模块的设置,以及高温切常温的降温模块包括电源、多个导体、第一半导体和第二半导体。多个导体串联在电源的两端;第一半导体与第二半导体交替设置在多个导体之间,每一个第一半导体与第二半导体联结成热电偶,产生冷端与热端,冷端连接至工作模块,并在接通电源后,对工作模块进行降温。能够减少温度切换时的时间浪费,也无需增加大型制冷系统装置,避免费用高昂以及测试成本的增加,还能够提高设备生产效率。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中半导体测试装置的示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的一种半导体测试装置进行更详细的描述,其中表示了本实用新型的优选实施例,应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型,而仍然实现本实用新型的有利效果。因此,下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道,而并不作为对本实用新型的限制。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书,本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

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