[实用新型]一种半导体测试装置有效

专利信息
申请号: 202320342787.4 申请日: 2023-02-28
公开(公告)号: CN219434980U 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 周忠华 申请(专利权)人: 上海伟测半导体科技股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R1/44
代理公司: 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 代理人: 李小明
地址: 201201 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 测试 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体测试装置,其特征在于,包括工作模块和高温切常温的降温模块,所述高温切常温的降温模块包括电源、多个导体、第一半导体和第二半导体;

多个所述导体串联在所述电源的两端;所述第一半导体与所述第二半导体交替设置在多个所述导体之间,每一个所述第一半导体与所述第二半导体联结成热电偶,产生冷端与热端,所述冷端连接至所述工作模块,并在接通所述电源后,对所述工作模块进行降温。

2.如权利要求1所述的半导体测试装置,其特征在于,还包括至少两个绝缘装置,所述绝缘装置设置在所述冷端与热端,并与所述导体相连。

3.如权利要求2所述的半导体测试装置,其特征在于,所述绝缘装置包括绝缘陶瓷片。

4.如权利要求1所述的半导体测试装置,其特征在于,所述第一半导体材料为N型半导体材料。

5.如权利要求4所述的半导体测试装置,其特征在于,所述第一半导体设置为多个。

6.如权利要求1所述的半导体测试装置,其特征在于,所述第二半导体材料为P型半导体材料。

7.如权利要求6所述的半导体测试装置,其特征在于,所述第二半导体设置为多个。

8.如权利要求1所述的半导体测试装置,其特征在于,所述电源包括直流电源。

9.如权利要求1所述的半导体测试装置,其特征在于,所述导体包括金属导体。

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