[实用新型]化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉，其特征在于，包括：

炉体(10)，具有反应腔(11)，所述反应腔(11)具有弧形内壁；

进气装置(20)，所述进气装置(20)包括进气管路(21)和进气部(22)，所述进气管路(21)的一端具有出气口，所述出气口和所述反应腔(11)的底部连通，所述进气部(22)和所述进气管路(21)的另一端连通，所述出气口的方向朝向所述弧形内壁；

进料装置(30)，所述进料装置(30)和所述进气管路(21)连通，所述进气部(22)用于将所述进料装置(30)内的粉体材料吹入所述反应腔(11)的底部；

排气装置(40)，所述排气装置(40)包括气固分离器(41)和排气部(42)，所述排气部(42)和所述反应腔(11)的顶部连通，所述气固分离器(41)设置在所述反应腔(11)的顶部，且位于所述排气部(42)的进气口处，所述气固分离器(41)用于对进入所述反应腔(11)中的气体和粉体材料进行分离，所述排气部(42)用于排出所述气固分离器(41)分离完成后的气体；

出料装置(50)，所述出料装置(50)和所述反应腔(11)的底部连通，所述出料装置(50)用于收集所述气固分离器(41)分离完成后的粉体材料。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述进气部(22)包括前驱气管路(221)、载气管路(222)和气体混合器(223)，所述气体混合器(223)的一端和所述进气管路(21)的一端连通，所述气体混合器(223)的另一端和所述前驱气管路(221)、所述载气管路(222)均连通。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述进气装置(20)还包括反吹气管路(23)，所述反吹气管路(23)和所述出料装置(50)连通，所述反吹气管路(23)用于对进入所述出料装置(50)的小颗粒粉体材料进行反吹。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述进料装置(30)包括进料仓(31)和设置在所述进料仓(31)的出料口的导料结构(32)，所述进料仓(31)用于容纳粉体材料，所述导料结构(32)用于控制所述进料仓(31)内粉体材料的导料速率。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述导料结构(32)包括导料轮(321)、第一下料导轮(322)、第二下料导轮(323)、第一驱动部、第二驱动部和第三驱动部，所述第一下料导轮(322)和所述第二下料导轮(323)并排设置，且位于所述导料轮(321)的下方，所述导料轮(321)的直径大于所述第一下料导轮(322)和所述第二下料导轮(323)的直径，所述第一驱动部和所述导料轮(321)驱动连接，所述第二驱动部和所述第一下料导轮(322)驱动连接，所述第三驱动部和所述第二下料导轮(323)驱动连接。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述第一下料导轮(322)和所述第二下料导轮(323)的转向方向相反，所述第一下料导轮(322)的转动方向背离所述第二下料导轮(323)。

7.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述排气部(42)包括排气管路(421)、网式过滤器(422)、第一冷却系统(423)、棉式过滤器(424)和真空泵(425)，所述排气管路(421)一端和所述反应腔(11)的顶部连通，所述排气管路(421)另一端和外部系统连通，所述气固分离器(41)位于所述排气管路(421)的进气口处，所述网式过滤器(422)安装在所述排气管路(421)的进气口处，所述第一冷却系统(423)包裹住所述排气管路(421)的外壁，所述棉式过滤器(424)设置在所述排气管路(421)内，所述棉式过滤器(424)用于对所述第一冷却系统(423)冷却后的气体进行过滤，所述真空泵(425)和所述排气管路(421)的另一端连通，所述真空泵(425)用于对所述反应腔(11)抽真空。